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文档简介
产品简介-----铸锭/拉晶太阳能电池铸锭工艺流程图去头尾入料清洗开方铸锭出料倒角测试清洗线切产品简介-----铸锭/拉晶设备产能数量备注铸锭炉73.5T/Y20台GTi/KR/ALD开方机216T/Y7台HCT/MB/NTC线切机240万片/年2台MB/HCT/NTC设备工艺表产品简介-----太阳能电池种类:主要产品包括4、5、6英寸的单晶硅和多晶硅太阳能电池。工作原理:太阳能电池是一个由光能转为电能的半导体装置,从工作原理上来讲,太阳能电池是一个大面积的二极管,当太阳光入射到电池表面时,晶体硅材料吸收光能而产生电一空穴对,电子和空穴分别向P-N结的结区运动,由结区电场分离从而分别进入电池的N型处(负极)和P型处(正极)。此时,如果太阳能电池如与一负载连接,将产生回路并向负载供电。
产品简介-----组件种类:主要产品包括单晶硅和多晶硅组件,单块组件功率从1峰瓦到240峰瓦的多种规格系列。工作原理:太阳能电池组件是将多片晶体硅太阳能电池串联安装起来,并加装旁路二极管等器件,辅助完成对太阳能的转化、收集和储存功能。
工艺流程-----太阳能电池太阳能电池生产工艺流程图分类检测扩散前酸洗硅片受入制绒超声清洗烧结PECVD烘干丝网印刷磷扩散(PN)甩干去PSG(HF)等离子刻蚀出货包装设备产能数量备注扩散前清洗1200片/小时4台捷佳创/七星/瑞纳扩散炉500~600片/小时9~10台四十八所/七星/TYSTAR扩散后清洗1200片/小时4台捷佳创/七星/瑞纳刻蚀机300片/小时16台四十八所/致胜PECVD800~1300片/小时4台岛津/ROYSROLL/四十八所印刷机1200片/小时4台ASYS/BANNINI烧结1200片/小时4台DISPATCH工艺流程-----太阳能电池工艺设备表(100MWA)
工艺简介-----太阳能电池制绒:单晶硅的制绒工艺是通过NaOH和乙醇反应,在硅片上形成减反织构,增强电池对光线的吸收能力。多晶硅的制绒工艺是加入铬酸和氢氟酸,利用铬酸的强氧化性将切割后硅片上的污物清除,并产生SiO2和C2O3,达到在硅片上形成减反织构的目的。(制绒清洗机产能一般1200/片;杰佳创200RMB;瑞纳100万欧元;七星华创等)等离子化学气相沉积(PEVCD):PEVCD被使用来在硅片上沉积氮化硅材料,是在300-900℃的温度下通过化学反应产生Si3N4的过程。典型的化学反应为:SiH4+NH3→Si3N4+NH3+N2(板式PECVD日本岛津800片/小时;德国RORCEROLL1300片/小时;以上维护费30~40万/月;四十八所管式PECVD,8管,150片/管;基本无维护费;)丝网印刷:该工序是通过丝网印刷机将银浆或银铝浆等导电材料印刷在硅片上,作为太阳能电池电子导通的主要通道。(GERMANASYS;ITALYBANNINI;产能1200片/小时;$100万)烧结:该工序通过高温合金的过程,使硅片上的电极连接在一起。
(DISPATCH;$30万)其它:如清洗、扩散、刻蚀、去PSG(HF)等工艺与半导体芯片制造相似。刻蚀机:台湾致胜1200片/小时(干式泵);48所300~400片/小时(湿式泵)工艺流程-----组件太阳能组件生产工艺流程图最终检测中测划片层叠焊接接线装框装配接线盒层压铝边框打胶固化割边包装清洁入库生产环境及其它25兆瓦电池和组件线的动力用量电1φ220V或3φ380V17720KW(设备系数0.55)给水排水纯水100m3/h冷却水516m3/h排水52m3/h(设备系数0.55)气体氧气/氩气69.2m3/h/150m3/h
氮气760m3/h(设备系数0.5)压缩空气3500m3/h真空540m3/h排风热、一般排风100000m3/h酸碱排风60000m3/h有机排风30000m3/h动力质量主要原材料太阳能电池生产最主要的材料是单晶硅片或多晶硅片。其它辅料包括NaOH和乙醇(单晶硅)、铬酸和氢氟酸(多晶硅)、腐蚀济、氢氟酸、银浆或银铝浆、特气(SiH4、NH3、C2F6、CF4等)、大宗气体(氮气、氧气)等。目前技术为5寸片可达2.0~2.5瓦/片,按一条线产能25MW/年计算,100MW年需要硅片至少4000万片。组件以电池片作为基本材料,最主要的原材料是玻璃片。其它辅料包括
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