标准解读

《GB/T 37403-2019 薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)用四甲基氢氧化铵显影液》是一项国家标准,旨在规定用于薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)制造过程中作为显影剂的四甲基氢氧化铵溶液的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存条件。该标准适用于TFT-LCD行业中使用的四甲基氢氧化铵显影液的质量控制。

根据此标准,四甲基氢氧化铵显影液需满足特定纯度与浓度的要求,以确保其在半导体工艺中能够有效地去除光刻胶未曝光部分而不损害基底材料。此外,还定义了一系列测试方法来评估产品的质量特性,包括但不限于pH值测定、密度测量、金属离子含量分析等,这些测试有助于保证产品的一致性和可靠性。

对于检验规则,《GB/T 37403-2019》详细说明了抽样方案、判定规则等内容,确保每批出厂前的产品都经过严格检查,并符合既定标准。同时,标准也涵盖了关于如何正确标识产品信息、采用何种方式包装以保护化学品不受外界环境影响、以及在运输和储存期间应遵循的安全指南等方面的规定。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2019-05-10 颁布
  • 2019-09-01 实施
©正版授权
GB/T 37403-2019薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)用四甲基氢氧化铵显影液_第1页
GB/T 37403-2019薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)用四甲基氢氧化铵显影液_第2页
GB/T 37403-2019薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)用四甲基氢氧化铵显影液_第3页
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文档简介

ICS31030

L90.

中华人民共和国国家标准

GB/T37403—2019

薄膜晶体管液晶显示器TFT-LCD用

()

四甲基氢氧化铵显影液

Tetramethylammoniumhydroxidedeveloperforthinfilmtransistor-liquid

crstaldislaTFT-LCD

ypy()

2019-05-10发布2019-09-01实施

国家市场监督管理总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T37403—2019

目次

前言

…………………………Ⅰ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

技术要求

3…………………1

试验方法

4…………………3

检验规则

5…………………4

包装标志运输和贮存

6、、…………………5

附录规范性附录四甲基氢氧化铵的测定

A()…………6

附录规范性附录碳酸根离子的测定自动电位滴定法

B()…………10

附录规范性附录氯离子的测定离子色谱法

C()……………………13

附录规范性附录甲醇的测定顶空气相色谱法

D()…………………15

附录规范性附录金属离子的测定电感耦合等离子体质谱法

E()…………………18

附录规范性附录颗粒数的测定

F()……………………21

GB/T37403—2019

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任

。。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本标准起草单位杭州格林达化学有限公司中国电子技术标准化研究院

:、。

本标准主要起草人尹云舰陈玉英王香周利超裴会川曹可慰

:、、、、、。

GB/T37403—2019

薄膜晶体管液晶显示器TFT-LCD用

()

四甲基氢氧化铵显影液

1范围

本标准规定了薄膜晶体管液晶显示器用四甲基氢氧化铵显影液的技术要求试验方

(TFT-LCD)、

法检验规则及标志包装运输和贮存

、、、。

本标准适用于薄膜晶体管液晶显示器用四甲基氢氧化铵显影液

(TFT-LCD)。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

危险货物包装标志

GB190

包装储运图示标志

GB/T191

化学试剂标准滴定溶液的制备

GB/T601

化学试剂杂质测定用标准溶液的制备

GB/T602

化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备

GB/T603

化学试剂色度测定通用方法

GB/T605

化工产品采样总则

GB/T6678

液体化工产品采样通则

GB/T6680

分析实验室用水规格和试验方法

GB/T6682—2008

数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T8170

化学试剂电位滴定法通则

GB/T9725

电子级水

GB/T11446.1

电子级水中微粒的仪器测试方法

GB/T11446.9

化学品安全标签编写规定

GB15258

洁净厂房设计规范

GB50073—2013

四级杆电感耦合等离子体质谱仪标准规范

JJF1159—2006

3技术要求

31性状

.

无色透明液体浓度高时有滑腻感具有强碱性有腐蚀性高温下易分解易吸收空气中的二氧

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