标准解读

《GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆》这一国家标准主要针对用于半导体制造过程中的光刻工艺的石英玻璃晶圆制定了详细的技术要求和测试方法。该标准适用于直径为150mm、200mm及300mm的石英玻璃晶圆，旨在确保这些材料的质量满足半导体行业对高精度与高性能的需求。

根据文件内容，对于光刻用石英玻璃晶圆的规定涵盖了外观质量、尺寸公差、表面粗糙度等多个方面。例如，在外观上要求晶圆无裂纹、气泡等缺陷；尺寸方面，则明确了直径偏差、厚度均匀性以及总厚度变化（TTV）的具体数值限制；此外，还规定了关于平面度、弯曲度等方面的严格指标。为了保证产品的光学性能，标准中也列出了折射率分布、透射比等参数的要求。


如需获取更多详尽信息，请直接参考下方经官方授权发布的权威标准文档。

....

查看全部

  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2017-09-07 颁布
  • 2018-08-01 实施
©正版授权
GB/T 34177-2017光刻用石英玻璃晶圆_第1页
GB/T 34177-2017光刻用石英玻璃晶圆_第2页
GB/T 34177-2017光刻用石英玻璃晶圆_第3页
免费预览已结束，剩余13页可下载查看

下载本文档

GB/T 34177-2017光刻用石英玻璃晶圆-免费下载试读页

文档简介

ICS8104030

Q35..

中华人民共和国国家标准

GB/T34177—2017

光刻用石英玻璃晶圆

Quartzglasswaferforlithography

2017-09-07发布2018-08-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T34177—2017

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由中国建筑材料联合会提出

。

本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会归口

(SAC/TC447)。

本标准起草单位中国建材检验认证集团股份有限公司中建材衢州金格兰石英有限公司长沙韶

:、、

光铬版有限公司中国建筑材料科学研究总院国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心

、、。

本标准主要起草人吴洁王京侠王友军李弋舟花宁刘焕敏肖颂华聂兰舰张浩运杨晓会

:、、、、、、、、、、

杨学东孔敏张应语

、、。

Ⅰ

GB/T34177—2017

光刻用石英玻璃晶圆

1范围

本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆以下简称石英玻璃晶圆的术语和定义分类要求试验方法

()、、、、

检验规则及标志包装运输和贮存

、、。

本标准适用于半导体集成电路光通讯微机电系统光电器件和发光二极管等光

、、(MEMS)、(LED)

刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

石英玻璃化学成分分析方法

GB/T3284—2015

透明石英玻璃气泡气线试验方法

GB/T5949、

氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法

GB/T32189

光学石英玻璃

JC/T185

石英玻璃制品内应力检验方法

JC/T655

石英玻璃术语

JC/T2205

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

JC/T2205。

31

.

总厚度变化totalthicknessvariationTTV

;

石英玻璃晶圆厚度的最大值和最小值间的差

。

32

.

平整度flatness

石英玻璃晶圆一个表面为理想平面时例如石英玻璃晶圆一个表面由真空吸盘吸附在一个理想

,,、

平坦的吸盘上其另一表面相对于规定的基准面的偏差以测量范围内总的示值读数表示

,,(TIR)。

33

.

弯曲度bow

自由无夹持的石英玻璃晶圆中位面的中心点与中位面基准平面间的偏离

。

注中位面基准平面是由指定的圆周上的三个等距离点决定的平面该圆周的直径小于石英玻璃晶圆标称直径

:,。

34

.

翘曲度warp

自由

人人文库> 全部分类> 行业资料 > 各类标准

温馨提示

  • 1. 本站所提供的标准文本仅供个人学习、研究之用，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或网络传播等，侵权必究。
  • 2. 本站所提供的标准均为PDF格式电子版文本（可阅读打印），因数字商品的特殊性，一经售出，不提供退换货服务。
  • 3. 标准文档要求电子版与印刷版保持一致，所以下载的文档中可能包含空白页，非文档质量问题。

最新文档

评论

0/150

提交评论