标准解读

《GB/T 20510-2017 氧化铟锡靶材》相比于《GB/T 20510-2006 氧化铟锡靶材》，主要在以下几个方面进行了更新与调整：

  1. 技术指标的修订：新标准对氧化铟锡靶材的化学成分、物理性能以及微观结构等方面提出了更严格或细化的要求，以适应近年来电子元器件对ITO靶材更高性能的需求。

  2. 检测方法的改进：为了提高检测精度和效率，2017版标准引入了新的检测技术和方法，对原有的一些检测项目进行了优化或新增了一些检测项目，确保靶材质量控制的准确性和可靠性。

  3. 分类与命名规则：对氧化铟锡靶材的分类和命名规则进行了调整，使之更加科学合理，便于行业内的统一识别和交流。

  4. 生产及应用指导：增加了对生产过程中的工艺控制、质量管理和环境保护等方面的指导性建议，旨在促进产业的可持续发展。

  5. 标准的适用范围：可能根据行业发展和市场需求，对标准的适用范围进行了适当扩展或明确，以覆盖更多类型的ITO靶材产品及其应用场景。

  6. 术语和定义：对部分专业术语进行了更新或补充解释，以适应技术进步和行业共识的变化，提升标准的可读性和实用性。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2017-10-14 颁布
  • 2018-05-01 实施
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文档简介

ICS7715060

H62..

中华人民共和国国家标准

GB/T20510—2017

代替

GB/T20510—2006

氧化铟锡靶材

Indium-tinoxidetarget

2017-10-14发布2018-05-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T20510—2017

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准代替氧化铟锡靶材与相比主要变动如下

GB/T20510—2006《》。GB/T20510—2006,:

删除了失氧率的要求

———“”;

对氧化铟锡靶材的化学成分进行了修改删除了对杂质元素锌钙镁量的控制增加了杂质

———,、、,

铬铊量的控制

、;

修改了相对密度的含量范围

———;

增加了表面粗糙度

———“”;

增加了组织均匀性

———“”;

修改了组批的方式

———;

删除了标准附录失氧率的测定

———“”。

本标准由中国有色金属工业协会提出

。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口

(SAC/TC243)。

本标准负责起草单位株洲冶炼集团股份有限公司

:。

本标准参加起草单位中国船舶重工集团公司第研究所北京冶科纳米科技有限公司

:725、。

本标准主要起草人谭仪文黄剑彭小苏郗雨林孙振德梅方胜崔晓芳张士察

:、、、、、、、。

本标准所代替标准的历次版本发布情况为

:

———GB/T20510—2006。

Ⅰ

GB/T20510—2017

氧化铟锡靶材

1范围

本标准规定了氧化铟锡简称靶材的要求试验方法检验规则及标志包装运输与贮存质

(ITO)、、、、、

量证明书订货单或合同内容等

、()。

本标准适用于以金属铟锡为原料生产的氧化铟锡靶材用于制作透明导电膜

99.99%、,。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

金属材料电阻系数测量方法

GB/T351

烧结金属材料不包括硬质合金可渗性烧结金属材料密度含油率和开孔率的

GB/T5163()、

测定

数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T8170

金属显微组织检验方法

GB/T13298

精细陶瓷线热膨胀系数试验方法顶杆法

GB/T16535

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

表观密度density

每单位体积物质的质量

。

32

.

相对密度relativedensity

物质的密度与参照物的密度的比值

。

注在本标准中氧化铟锡靶材的相对密度为靶材表观密度与理论密度的比值氧化铟锡靶材当质量百分比

:。

时理论密度以3计算

In2O3∶SnO2=90∶10,7.155g/cm。

33

.

开尔文电桥Kelvinbridge

开尔文电桥是一种利用电位比较的方法进行测量的仪器具有很高的灵敏度和准确性在电测技

,,,

术和自动控制测量应用极为广泛而开尔文电桥又是惠斯通电桥的变形在测量小阻值电阻通常欧

。,(<1)

时具有相当高的准确度适于测量-5低阻值电阻

,

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