标准解读

《GB/T 20510-2006 氧化铟锡靶材》这一国家标准主要规定了氧化铟锡（ITO）靶材的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存等内容，旨在确保ITO靶材的质量可控性与一致性，适用于平面显示器、太阳能电池及其他电子器件制造中使用的ITO靶材。

该标准具体涵盖了以下几个核心方面：

  1. 定义与分类：明确了ITO靶材的基本概念，以及按照化学组成、物理形态或应用需求进行的分类方法。

  2. 技术要求：详细规定了ITO靶材应满足的化学成分、物理性能（如密度、晶粒度）、结构特性（如致密度、氧含量）、形貌及尺寸公差等指标。特别强调了铟与氧的比例控制，以保证良好的导电性和透光性平衡。

  3. 试验方法：描述了对ITO靶材进行检测和分析的具体实验手段，包括但不限于X射线荧光光谱法测定化学成分、扫描电镜观察微观结构、密度测量、电阻率测试等，确保各项性能指标可被准确评估。

  4. 检验规则：制定了产品出厂前的检验程序，包括抽样方案、合格判定准则及不合格品处理办法，确保每批产品的质量符合标准要求。

  5. 标志、包装、运输、贮存：规范了ITO靶材在成品阶段的标识信息内容、包装材料与方式、运输条件及储存环境，以防产品在流转过程中受损，保持其性能稳定。


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  • 2006-09-26 颁布
  • 2007-02-01 实施
©正版授权
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ICS77.150.60H62中华人民共和国国家标准GB/T20510—2006氧化钩锡靶材Indium-tinoxidetarget2006-09-26发布2007-02-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会

GB/T20510—2006前本标准是根据我国氧化钢锡靶材的生产实践,参考德国贺利氏（Heraeus)、美国Umicore公司氧化细锡靶材产品标准制定的。本标准附录A为规范性附录本标准由中国有色金属工业协会提出本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口并负责解释本标准由株洲治炼集团有限责任公司负责起草。本标准主要起草人：钟鸣、彭小苏、陈卫飞、陈敬阳、李晨辉、谭仪文本标准首次制定。

GB/T20510—2006氧化铟锡靶材范围本标准规定了氧化钢锡(简称ITO)靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和财存本标准适用于氧化铟锡靶材。规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勒误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB/T351金属材料电阻系数测量方法GB/T1250极限数伯的表示方法和判定方法GB/T5163可渗性烧结金属材料密度的测定GB/T8170数值修约规则GB/T16535-1996，工程陶瓷线膨胀系数试验方法术语和定义下列术语和定义适用于本标准表观密度4pparentdensily每单位体积物质的质量。3.2相对密度relativedensity物质的密度与参照物的密度的比值。本标准中是指氧化钢锡靶材的表观密度与理论密度之比（本标准中氧化铟锡靶材当In.O,：SnO.=90：10时,理论密度为7.15g/cm)。3.3失氧率deoxygenationcoefficient氧化铟锡靶材脱氧的百分率。3.4电阻率resislivity在单位长度上通过试样横截面积的电阻。是衡量物质导电性能好坏的一个物理量·以字母·表示.单位为n·mm/m。在数值上等于长1m.截面积为1mm的导体,在温度20℃时的电阻值.3.5线膨胀系数Iinearcxpansivity在指定温度范围内，氧化钢锡靶材在单位温度下相对伸长量的平均值。用式(1)表示

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