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文档简介

准分子激光器的泵浦方式课程：激光安全与防护主讲教师：祁春野教学目标

了解准分子激光器的泵浦方式。由于激光上能级寿命很短，为了实现粒子数反转，要求泵浦脉冲上升时间短。因此，对于工作于短波段紫外激光器的准分子系统要实现有效的泵浦，不仅要求有大的泵浦功率，而且要求有快的上升时间。为了满足对泵浦源的要求，人们采取了很多泵浦方式，常用的方式有下面两种：准分子激光器的泵浦方式

一、电子束泵浦用电子枪产生高能量、快上升时间的电子束脉冲，将电子束射向准分子区，对激活介质进行激发。用电子束泵浦又可分为三种形式：①横向泵浦，其电子束进行方向与激光光轴方向垂直。这种方式结构简单、体积小，其缺点是电子束能量利用率低。准分子激光器的泵浦方式②纵向泵浦，其电子束方向与激光光轴平行。纵向泵浦能量利用率得到改善，但需要增加用来对电子束导向的庞大的聚束磁场。③同轴电子束泵浦，组成电子枪的阴极和阳极做成两个不同直径的圆筒，阴极外筒均匀地向内筒阳极发射电子并穿过阳极簿箔(用铝箔或钡箔做成)向中心轴会聚。阳极筒内充满激活介质，光轴与阳极筒、阴极筒同轴。这种方式能有效地利用电子束能量。准分子激光器的泵浦方式电子束泵浦的优点是产生的泵浦脉冲上升时间快，单脉冲能量大，可大面积泵浦。缺点是要求庞大的电子束源，结构复杂，造价高，制造难度大。特别是作为阳极的箔片，它吸收电子束能量而发热常被击穿，造成真空室漏气，因此不利高重复率工作。准分子激光器的泵浦方式

二、快速放电泵浦快速放电泵浦方式多采用所谓布鲁姆莱(Blumlein)电路。它具有体积小、结构简单、可高重频工作等优点，得到广泛应用。为了提高放电的稳定性，可采用电子束控制放电泵浦系统。激发激活粒子主要靠快速放电，电子束只控制放电，使放电均匀、可靠。这种电路对电子束的功率要求低，可减小体积。但与其他快速放电方法相比，这类泵浦方法的缺点是结构复杂，成本高。为了获得更大体积的均匀放电，还可采用预电离技术。准分子激光器的泵浦方式

根据准分子激光具有的以上特性，很快引起了人们利用高能量、高功率、高重复率等特点应用于激光加工、激光医疗中，并取得一系列不俗的进展。

准分子激光器的泵浦方式课程小结本小节主要讲述了准分子激光器的泵浦方式。作

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