-6CVI法及先驱有机聚合物转化法课件

第6章CVI&polymerprecursorderivedCMC化学气相渗透法(CVI)及先驱有机聚合物转化法第6章CVI&polymerprecursorder1

化学气相渗透法（CVI）

先驱有机聚合物转化法本章内容化学气相渗透法（CVI）本章内容2烧结会对纤维产生不利影响：高温造成纤维性能退化，引起f/m界面反应压力（热压、热等静压）损伤纤维表面新工艺原理：不通过烧结形成陶瓷基体，而是在较低温度下将有机先驱体（气体、液体）转化为无机陶瓷基体.化学气相渗透先驱有机聚合物转化低于烧结温度，一般1100~1500℃烧结会对纤维产生不利影响：新工艺原理：化学气相渗透先驱有机聚3I.化学气相渗透法化学气相渗透（ChemicalVaporInfiltration，CVI）CVI源自化学气相沉积（CVD）技术，都是通过气相间化学反应，产生固体产物.区别：CVD—产物沉积于基体表面CVI—使气体通过孔隙渗入多孔基体内部，反应后沉积CVI研究始于1960s1964出现CVI制CMC专利1970sCVI用于实验室制备CMC1970s开始商业应用于C/C复材1980sCVI用于航天及国防领域fiberI.化学气相渗透法化学气相渗透（ChemicalVapo4源气通过扩散或由压力差形成的定向流动送至预成型体周围.

源气通过预成型体的孔隙向其内部渗透.气态先驱体被吸附于预成型体孔隙内（纤维周围）.气态先驱体在孔隙内壁发生化学反应，形成固体产物，沉积于孔隙壁上，同时产生气态副产物；固体产物中的原子经表面扩散进入晶格，使孔壁表面增厚.气态副产物从孔隙壁解吸，扩散于载气中，随之从系统排出.1.原理及分类（1）CVI一般原理气态先驱体（一种/多种）与载气（不反应）的混合气源气通过扩散或由压力差形成的定向流动送至预成型体周围.1.5CVI法制备的纤维CMC断面SEM照片CVI法制备的纤维CMC断面SEM照片6（2）CVI技术分类等温CVI（均热法）预成型体置于均热的炉内，反应气体环绕其周围.炉内没有强制气体流动，先驱体输送及气态副产物排出全靠扩散.技术特点：对工件几何形状无限制可同时容纳多件工件生产成本较低表面先沉积，易堵塞气体通道周期长，有时要中途机械加工工件致密度低，存在密度梯度适用于薄壁制件后反应区先反应区（2）CVI技术分类等温CVI（均热法）预成型体置7温度梯度CVI（热梯度法）预成型体置于不均匀的温度场中（一般使工件内部温度高于表面温度），反应气体由工件外部向其内部渗透，在高温区先反应沉积，逐渐转移至低温区.技术特点：不易堵塞，无需中途加工沉积速率较快工件密度较高工艺周期仍较长工件各部位均匀性较差不适合复杂形状工件无法同时生产多件工件温度气流方向高低后反应区先反应区温度梯度CVI（热梯度法）预成型体置于不均匀的温度8压力梯度CVI（均热-压力流法）在工件两端存在显著压力差，使源气在压力差驱使下从工件一端输送至另一端，并在穿过工件过程中发生反应沉积.技术特点：即使在沉积后期，孔隙很细的情况下，气体在压力作用下仍能进入仍不能解决工件表面结皮堵塞孔隙的问题压力气流方向适用于厚壁且形状简单的制件低高先反应区后反应区压力梯度CVI（均热-压力流法）在工件两端存在显著9温度梯度-强制流动CVI（热梯度-压力流法）工件同时承受温度梯度和压力梯度，反应气体在压力驱使下穿过工件冷端到达工件热端发生反应沉积，并排出气态副产物.技术特点：可使工件迅速均匀致密化沉积装置较为复杂压力气流方向特别适用于大尺寸、规则形状工件，对工件厚度无限制.温度后反应区先反应区高低低高温度梯度-强制流动CVI（热梯度-压力流法）工件同10将预成型体放入通冷却水的石墨架托中；在预成型体上部施加高温，发生反应，沉积固体，下部未反应；上部在预成型体孔隙中沉积的固体与纤维复合，渐致密化，使高温区下移，反应区域随之下移；预成型体孔隙全部由沉积出的固体（形成陶瓷基体）所填充.将预成型体放入通冷却水的石墨架托中；11该技术由美国橡树岭国家实验室（ORNL）开发CVI管纤维预成型体（Preform）该技术由美国橡树岭国家实验室（ORNL）开发CVI管纤维预成12其它CVI法制备的CMC制品其它CVI法制备的CMC制品13脉冲CVI（脉冲流法）周期性地充气和抽空，先充入源气，当气态先驱体发生反应并在预成型体中沉积后，对设备抽真空，使生成的气态副产物排出，然后再充入源气，如此循环.技术特点：渗透速率高

工件密度梯度小设备更为复杂

源气消耗量大微波CVI以微波为加热源，使工件内外均匀升温，效率较高；且气态先驱体的反应活性可提高，加速反应.脉冲CVI（脉冲流法）周期性地充气和抽空，先充入源14（3）CVI技术特点适用面广：能用于多种陶瓷基体的形成，可形成高纯度的单一基体，或几种混合基体，制成大尺寸和复杂形状的工件.工艺温度低：可在较低的反应温度下形成高熔点的陶瓷基体.对纤维机械损伤小：CVI过程中基本不需对预成型体施加压力，故纤维基本不承受机械应力；调节f/m界面还可减小热应力.净成型：工件在CVI工艺前后形状和尺寸基本不变，后期机械加工量少.多孔性：CVI制备的CMC一般有5%~20%的残留孔隙，无法制备完全致密的CMC.（3）CVI技术特点适用面广：能用于多种陶瓷基体的形成，可15先驱体化学性质要求：前驱体须为气态，或在操作温度下能够气化，并能以气态输送到达发生反应的基底上；气态先驱体应有足够稳定性，在输送过程中不产生非气态副产物，堵塞气流通道；

气态先驱体到达基底表面时，在基底表面温度下应能发生反应，将固体产物沉积于基底表面；反应产生的固体沉积物的化学成分、化学计量及微观结构应符合对组合和结构的设计；固体产物构成CMC基体，气态副产物易于从反应器中排出.2.CVI工艺设计（1）先驱体的选择先驱体化学性质要求：2.CVI工艺设计（1）先驱体的选择16典型的先驱体转化反应一般规律：需形成碳化物，首选金属氯化物和CH4为先驱体需形成氧化物，首选金属氯化物和CO2为先驱体需形成氮化物，首选金属氯化物和NH3为先驱体典型的先驱体转化反应一般规律：需形成碳化物，首选金属氯化物和17（2）纤维选择及预制件要求相比于热压等工艺，CVI工艺对纤维损伤小，但：

CVI工艺过程中，纤维仍要承受1000℃以上的高温，且持续时间长（几十至上千小时）；

CVI工作气氛有可能对纤维有害（HCl、CO2、H2O、HF等）.对纤维损伤的评估，以及对工艺参数的调节等是重要课题.目前应用最多的纤维为碳纤维（Nicalon），其它陶瓷纤维如SiC纤维（SCS）、Al2O3纤维（Nextel）等的应用也越来越多.（2）纤维选择及预制件要求相比于热压等工艺，CVI工18

CVI预制件要求：具有合适的孔隙结构，保证气态先驱体能通过孔隙到达工件的每个部位，并能反应沉积；在CVI工艺环境及整个工艺过程中保持几何形状不变；

能够承受反应器内夹具的机械锁紧力.夹具的要求：夹具须能够固定工件、保持工件几何形状，并且不能阻碍反应气体流动，并要能承受工作温度和气氛（多采用石墨或高温合金）.CVI预制件要求：夹具的要求：19（3）纤维/基体的界面控制目的：增加CMC在使用中的吸能机制，提高强韧性方法：对纤维、预制件进行涂层热解碳涂层热解碳涂层作用：弱化界面防止化学损伤相比于对纤维进行涂层，对编织好的预成型件进行涂层保护，可使涂层工艺简化，并避免编织过程中对涂层的损伤.（3）纤维/基体的界面控制目的：增加CMC在使用中的吸能机20以CVI法制备的SiC基复合材料（纤维为C、SiC）：密度：为Ti合金的40%~60%，超耐热合金的25%~50%韧性：从室温~1400℃，KIC≥30MPa·m1/2

强度：拉伸强度：Cf/SiC达350MPa，1400℃下略有下降弯曲强度：Cf/SiC为300MPa，SiCf/SiC达500MPa高温下均有所上升（最高至700MPa）3.CVI法制备CMC性能以CVI法制备的SiC基复合材料（纤维为C、SiC）：3.21II.先驱有机聚合物转化法1.原理及特点以有机单体反应形成的聚合物为先驱体，通过热解转化为无机物，通过热处理形成陶瓷材料.（1）一般原理采用该方法制备的陶瓷称为“聚合物转化陶瓷”PolymerDerivedCeramicsPDCsPColombo,GMera,RRiedel,etal.Polymer-DerivedCeramics:40YearsofResearchandInnovationinAdvancedCeramicsJ.Am.Ceram.Soc.,93[7]1805–1837(2010)II.先驱有机聚合物转化法1.原理及特点以有机单22以氯化有机硅化合物为先驱体的反应：(CH3)3SiCl,(CH3)2SiCl2,CH3SiHCl2,CH3SiCl3,单体聚合150~300℃聚合物聚合物-陶瓷转化600~800℃无定形陶瓷体结晶化陶瓷体结晶1000~1600℃以氯化有机硅化合物为先驱体的反应：(CH3)3SiCl,(23（2）特点

具有可设计性：可通过对有机聚合物组成、结构的设计来实现对陶瓷及其复合材料的设计.

可实现理想的复合：可在不同工艺阶段加以控制，获得所需的复合性.良好的工艺性：可采用塑料或树脂基复材的成型工艺，且加工性好.

烧结温度低：远低于同种陶瓷粉体的烧结温度，减轻了对纤维的损伤，减小了热应力.（2）特点具有可设计性：24（3）对先驱体的要求

可操作性：常温下为液体，或可溶、可熔，在工艺过程中具有适当的流动性.

室温下性质稳定：长期存放不发生交联变性，对环境不敏感.陶瓷转化率高：从有机聚合物中裂解产生的陶瓷比例高（≥50%，最好80%以上）.

单体成本低，聚合工艺简单、产率高.裂解产物和副产物无毒害，污染小.（3）对先驱体的要求可操作性：25应用最早、最多的先驱体聚合物：聚碳硅烷（PCS）、聚硅氮烷（PSZ）2.先驱体材料（1）聚碳硅烷（PCS）聚碳硅烷先驱体是由Si、C、H等元素形成的高摩尔质量、多支链的有机硅聚合物.主要结构单元：或应用最早、最多的先驱体聚合物：2.先驱体材料（1）聚碳硅烷26特点：流变性和热稳定性好分子中含有一定的化学反应活性基团聚合物中杂质少合成成本低陶瓷收率高特点：27聚碳硅烷PCS可由氯化硅烷等原料，经脱氯反应、开环聚合、硅氢化反应等多种方法获得.PCS裂解、转化为无机物各阶段200~350℃：低分子量物质蒸发200~500℃：去氢及去氢缩合反应550~850℃：开始形成无定形网络结构850~1050℃：形成无定形网络反应结束1050~1300℃：出现β-SiC结晶、C和α-SiO21300~1600℃：α-SiC晶粒长大PCS无机物晶化聚碳硅烷PCS可由氯化硅烷等原料，经脱氯反应、开环聚28（2）聚硅氮烷（PSZ）聚硅氮烷是是一类分子主链由Si、N原子交替排列组成的聚合物.主要结构单元：或特点：室温下呈液态，粘度低含有多种活性基团，易于交联固化（2）聚硅氮烷（PSZ）聚硅氮烷是是一类分子主链由S29200~1500℃：密度线性增大（中间有两处陡峰）550~800℃：除去有机链，形成无定形陶瓷1200~1300℃：微观结构变化，体积大幅收缩（62%），裂解完成.PSZ裂解转化过程中的主要变化聚硅氮烷PSZ可由氨解或氨解聚合、开环聚合、脱氨/缩合聚合、脱氢偶合/脱氢环化等等方法制得.无定形SiCxNy200~1500℃：密度线性增大（中间有两处陡峰）PSZ裂30（3）其他先驱体聚合物甲基硅烷甲基乙烯基硅烷甲基硅氧烷亚甲基硅烷甲基硅氮烷乙烯基硅氮烷苯乙烯基硅氮烷环甲基硅氮烷硼硅氮烷（3）其他先驱体聚合物甲基硅烷甲基乙烯基硅烷甲基硅氧烷亚甲基313.制备工艺3.制备工艺32（1）制备颗粒强韧化CMC将聚合物先驱体与陶瓷粉料混合，以普通陶瓷成型工艺制成坯体，经交联固化、裂解后，获得CMC（较多孔，可进一步致密化）.混料成型交联固化裂解成品致密化

不需有机粘结剂，简化工艺

先驱体与陶瓷粉体分散性好，工艺灵活性高

可通过先驱体设计来调节陶瓷微观结构和性能半成品可机械加工优点：（1）制备颗粒强韧化CMC将聚合物先驱体与陶瓷粉料混33（2）料浆浸渍-热压烧结法与料浆浸渍及热压烧结法类似，区别仅在于在陶瓷粉料配置的料浆中加入聚合物先驱体，在坯体热压烧结前完成裂解.工艺过程及主要特点均与料浆浸渍及热压烧结法类似，特有优点有：聚合物先驱体可用作有机粘结剂，提高纤维布工艺性能裂解产生的纳米颗粒可促进烧结（2）料浆浸渍-热压烧结法与料浆浸渍及热压烧结法类似34纤维（3）聚合物浸渍-裂解法（PIP）聚合物浸渍-裂解法：PolymerImpregnatePyrolysis，PIP聚合物先驱体溶液交联固化浸渍铺层/缠绕裂解成品再浸渍PIP法主要缺陷：制品致密度不高体积变化大反复浸渍工艺周期长原料成本高改进措施：粉末浸渍纤维（3）聚合物浸渍-裂解法（PIP）聚合物浸渍-裂解法：P35工艺原理示意图工艺原理示意图36湿法铺层工艺过程湿法铺层工艺过程37-6CVI法及先驱有机聚合物转化法课件38-6CVI法及先驱有机聚合物转化法课件39第6章CVI&polymerprecursorderivedCMC化学气相渗透法(CVI)及先驱有机聚合物转化法第6章CVI&polymerprecursorder40

化学气相渗透法（CVI）

先驱有机聚合物转化法本章内容化学气相渗透法（CVI）本章内容41烧结会对纤维产生不利影响：高温造成纤维性能退化，引起f/m界面反应压力（热压、热等静压）损伤纤维表面新工艺原理：不通过烧结形成陶瓷基体，而是在较低温度下将有机先驱体（气体、液体）转化为无机陶瓷基体.化学气相渗透先驱有机聚合物转化低于烧结温度，一般1100~1500℃烧结会对纤维产生不利影响：新工艺原理：化学气相渗透先驱有机聚42I.化学气相渗透法化学气相渗透（ChemicalVaporInfiltration，CVI）CVI源自化学气相沉积（CVD）技术，都是通过气相间化学反应，产生固体产物.区别：CVD—产物沉积于基体表面CVI—使气体通过孔隙渗入多孔基体内部，反应后沉积CVI研究始于1960s1964出现CVI制CMC专利1970sCVI用于实验室制备CMC1970s开始商业应用于C/C复材1980sCVI用于航天及国防领域fiberI.化学气相渗透法化学气相渗透（ChemicalVapo43源气通过扩散或由压力差形成的定向流动送至预成型体周围.

源气通过预成型体的孔隙向其内部渗透.气态先驱体被吸附于预成型体孔隙内（纤维周围）.气态先驱体在孔隙内壁发生化学反应，形成固体产物，沉积于孔隙壁上，同时产生气态副产物；固体产物中的原子经表面扩散进入晶格，使孔壁表面增厚.气态副产物从孔隙壁解吸，扩散于载气中，随之从系统排出.1.原理及分类（1）CVI一般原理气态先驱体（一种/多种）与载气（不反应）的混合气源气通过扩散或由压力差形成的定向流动送至预成型体周围.1.44CVI法制备的纤维CMC断面SEM照片CVI法制备的纤维CMC断面SEM照片45（2）CVI技术分类等温CVI（均热法）预成型体置于均热的炉内，反应气体环绕其周围.炉内没有强制气体流动，先驱体输送及气态副产物排出全靠扩散.技术特点：对工件几何形状无限制可同时容纳多件工件生产成本较低表面先沉积，易堵塞气体通道周期长，有时要中途机械加工工件致密度低，存在密度梯度适用于薄壁制件后反应区先反应区（2）CVI技术分类等温CVI（均热法）预成型体置46温度梯度CVI（热梯度法）预成型体置于不均匀的温度场中（一般使工件内部温度高于表面温度），反应气体由工件外部向其内部渗透，在高温区先反应沉积，逐渐转移至低温区.技术特点：不易堵塞，无需中途加工沉积速率较快工件密度较高工艺周期仍较长工件各部位均匀性较差不适合复杂形状工件无法同时生产多件工件温度气流方向高低后反应区先反应区温度梯度CVI（热梯度法）预成型体置于不均匀的温度47压力梯度CVI（均热-压力流法）在工件两端存在显著压力差，使源气在压力差驱使下从工件一端输送至另一端，并在穿过工件过程中发生反应沉积.技术特点：即使在沉积后期，孔隙很细的情况下，气体在压力作用下仍能进入仍不能解决工件表面结皮堵塞孔隙的问题压力气流方向适用于厚壁且形状简单的制件低高先反应区后反应区压力梯度CVI（均热-压力流法）在工件两端存在显著48温度梯度-强制流动CVI（热梯度-压力流法）工件同时承受温度梯度和压力梯度，反应气体在压力驱使下穿过工件冷端到达工件热端发生反应沉积，并排出气态副产物.技术特点：可使工件迅速均匀致密化沉积装置较为复杂压力气流方向特别适用于大尺寸、规则形状工件，对工件厚度无限制.温度后反应区先反应区高低低高温度梯度-强制流动CVI（热梯度-压力流法）工件同49将预成型体放入通冷却水的石墨架托中；在预成型体上部施加高温，发生反应，沉积固体，下部未反应；上部在预成型体孔隙中沉积的固体与纤维复合，渐致密化，使高温区下移，反应区域随之下移；预成型体孔隙全部由沉积出的固体（形成陶瓷基体）所填充.将预成型体放入通冷却水的石墨架托中；50该技术由美国橡树岭国家实验室（ORNL）开发CVI管纤维预成型体（Preform）该技术由美国橡树岭国家实验室（ORNL）开发CVI管纤维预成51其它CVI法制备的CMC制品其它CVI法制备的CMC制品52脉冲CVI（脉冲流法）周期性地充气和抽空，先充入源气，当气态先驱体发生反应并在预成型体中沉积后，对设备抽真空，使生成的气态副产物排出，然后再充入源气，如此循环.技术特点：渗透速率高

工件密度梯度小设备更为复杂

源气消耗量大微波CVI以微波为加热源，使工件内外均匀升温，效率较高；且气态先驱体的反应活性可提高，加速反应.脉冲CVI（脉冲流法）周期性地充气和抽空，先充入源53（3）CVI技术特点适用面广：能用于多种陶瓷基体的形成，可形成高纯度的单一基体，或几种混合基体，制成大尺寸和复杂形状的工件.工艺温度低：可在较低的反应温度下形成高熔点的陶瓷基体.对纤维机械损伤小：CVI过程中基本不需对预成型体施加压力，故纤维基本不承受机械应力；调节f/m界面还可减小热应力.净成型：工件在CVI工艺前后形状和尺寸基本不变，后期机械加工量少.多孔性：CVI制备的CMC一般有5%~20%的残留孔隙，无法制备完全致密的CMC.（3）CVI技术特点适用面广：能用于多种陶瓷基体的形成，可54先驱体化学性质要求：前驱体须为气态，或在操作温度下能够气化，并能以气态输送到达发生反应的基底上；气态先驱体应有足够稳定性，在输送过程中不产生非气态副产物，堵塞气流通道；

气态先驱体到达基底表面时，在基底表面温度下应能发生反应，将固体产物沉积于基底表面；反应产生的固体沉积物的化学成分、化学计量及微观结构应符合对组合和结构的设计；固体产物构成CMC基体，气态副产物易于从反应器中排出.2.CVI工艺设计（1）先驱体的选择先驱体化学性质要求：2.CVI工艺设计（1）先驱体的选择55典型的先驱体转化反应一般规律：需形成碳化物，首选金属氯化物和CH4为先驱体需形成氧化物，首选金属氯化物和CO2为先驱体需形成氮化物，首选金属氯化物和NH3为先驱体典型的先驱体转化反应一般规律：需形成碳化物，首选金属氯化物和56（2）纤维选择及预制件要求相比于热压等工艺，CVI工艺对纤维损伤小，但：

CVI工艺过程中，纤维仍要承受1000℃以上的高温，且持续时间长（几十至上千小时）；

CVI工作气氛有可能对纤维有害（HCl、CO2、H2O、HF等）.对纤维损伤的评估，以及对工艺参数的调节等是重要课题.目前应用最多的纤维为碳纤维（Nicalon），其它陶瓷纤维如SiC纤维（SCS）、Al2O3纤维（Nextel）等的应用也越来越多.（2）纤维选择及预制件要求相比于热压等工艺，CVI工57

CVI预制件要求：具有合适的孔隙结构，保证气态先驱体能通过孔隙到达工件的每个部位，并能反应沉积；在CVI工艺环境及整个工艺过程中保持几何形状不变；

能够承受反应器内夹具的机械锁紧力.夹具的要求：夹具须能够固定工件、保持工件几何形状，并且不能阻碍反应气体流动，并要能承受工作温度和气氛（多采用石墨或高温合金）.CVI预制件要求：夹具的要求：58（3）纤维/基体的界面控制目的：增加CMC在使用中的吸能机制，提高强韧性方法：对纤维、预制件进行涂层热解碳涂层热解碳涂层作用：弱化界面防止化学损伤相比于对纤维进行涂层，对编织好的预成型件进行涂层保护，可使涂层工艺简化，并避免编织过程中对涂层的损伤.（3）纤维/基体的界面控制目的：增加CMC在使用中的吸能机59以CVI法制备的SiC基复合材料（纤维为C、SiC）：密度：为Ti合金的40%~60%，超耐热合金的25%~50%韧性：从室温~1400℃，KIC≥30MPa·m1/2

强度：拉伸强度：Cf/SiC达350MPa，1400℃下略有下降弯曲强度：Cf/SiC为300MPa，SiCf/SiC达500MPa高温下均有所上升（最高至700MPa）3.CVI法制备CMC性能以CVI法制备的SiC基复合材料（纤维为C、SiC）：3.60II.先驱有机聚合物转化法1.原理及特点以有机单体反应形成的聚合物为先驱体，通过热解转化为无机物，通过热处理形成陶瓷材料.（1）一般原理采用该方法制备的陶瓷称为“聚合物转化陶瓷”PolymerDerivedCeramicsPDCsPColombo,GMera,RRiedel,etal.Polymer-DerivedCeramics:40YearsofResearchandInnovationinAdvancedCeramicsJ.Am.Ceram.Soc.,93[7]1805–1837(2010)II.先驱有机聚合物转化法1.原理及特点以有机单61以氯化有机硅化合物为先驱体的反应：(CH3)3SiCl,(CH3)2SiCl2,CH3SiHCl2,CH3SiCl3,单体聚合150~300℃聚合物聚合物-陶瓷转化600~800℃无定形陶瓷体结晶化陶瓷体结晶1000~1600℃以氯化有机硅化合物为先驱体的反应：(CH3)3SiCl,(62（2）特点

具有可设计性：可通过对有机聚合物组成、结构的设计来实现对陶瓷及其复合材料的设计.

可实现理想的复合：可在不同工艺阶段加以控制，获得所需的复合性.良好的工艺性：可采用塑料或树脂基复材的成型工艺，且加工性好.

烧结温度低：远低于同种陶瓷粉体的烧结温度，减轻了对纤维的损伤，减小了热应力.（2）特点具有可设计性：63（3）对先驱体的要求

可操作性：常温下为液体，或可溶、可熔，在工艺过程中具有适当的流动性.

室温下性质稳定：长期存放不发生交联变性，对环境不敏感.陶瓷转化率高：从有机聚合物中裂解产生的陶瓷比例高（≥50%，最好80%以上）.

单体成本低，聚合工艺简单、产率高.裂解产物和副产物无毒害，污染小.（3）对先驱体的要求可操作性：64应用最早、最多的先驱体聚合物：聚碳硅烷（PCS）、聚硅氮烷（PSZ）2.先驱体材料（1）聚碳硅烷（PCS）聚碳硅烷先驱体是由Si、C、H等元素形成的高摩尔质量、多支链的有机硅聚合物.主要结构单元：或应用最早、最多的先驱体聚合物：2.先驱体材料（1）聚碳硅烷65特点：流变性和热稳定性好分子中含有一定的化学反应活性基团聚合物中杂质少合成成本低陶瓷收率高特点：66聚碳硅烷PCS可由氯化硅烷等原料，经脱氯反应、开环聚合、硅氢化反应等多种方法获得.PCS裂解、转化为无机物各阶段200~350℃：低分子量物质蒸发200~500℃：去氢及去氢缩合反应550~850℃：开始形