电子气体化学品应用与安全培训课件

电子气体化学品应用与安全

电子气体化学品应用与安全1本节内容一、气体输送系统二、化学品输送系统三、气体化学品监测系统四、工艺安全管理及事故案例分析五、个人防护用品（PPE）及应急反应六、厂务运行管理实务本节内容2一、气体输送系统1、半导体厂常用气体分类及其输送方式一、气体输送系统1、半导体厂常用气体分类及其输送方式3气体输送系统2、气柜的作用：⑴、实现对工艺设备的连续供气：采用双瓶切换系统；⑵、安全地输送工艺气体至工艺设备：①、对工艺设备的安全考虑：压力调节、气体净化、吹扫；②、对操作人员的安全考虑：柜体隔离、排风系统、报警系统、紧急切断、全自动控制系统；③、对环境的安全考虑：工艺生产要求、气体的不同性质、当前项目预算、将来项目扩展需求。3、气柜使用中常见问题及注意事项：⑴、调压时不准或者不稳：原因是减压阀具有机械滞后性，工作使用中可将调压阀调至比所需压力低一些，气体输送系统2、气柜的作用：⑴、实现对工艺设备的连续供气：采4气体输送系统然后再等一会看压力是否稳定在所需压力。⑵、日常工作如需操作气柜，只需开窗操作，只有在换瓶时才开门!⑶、换钢瓶时需要至少2个人共同操作，一个人操作，另一个人需要确认每一步是否正确、规范。⑷气源、气瓶的配管要用塑料管或者尼龙管，这样发生燃烧事故时可烧掉从而切断气源，降低危险性。⑸、气柜上的过流保护开关参数不可调，安装时必须垂直安装。⑹、SiH等易燃气体的钢瓶最好配置AutoGuard（钢瓶接口保护器），以防止在换钢瓶时发生事故。⑺、对于在我们管线分布上有潜在泄露点的地方，比如焊接点等连接点，要配置带抽风的罩子，这样可以更好的对人员和设备进行保护。气体输送系统然后再等一会看压力是否稳定在所需压力。5气体输送系统⑻、气柜最好配置双瓶切换，这样可以一侧气瓶用尽，另一侧自动供气，这样可以实现对工艺设备的连续供气。⑼、不同特气对减压阀的选型也会有不同的要求，对于阀门的选型也是需要注意的地方。比如如果我们有阀门坏了，需要更换，就需要注意更换阀门的型号。⑽、过流保护开关是个非常有必要安装的部件，作用就是气体流量异常变大的时候可以把气体停掉，一般正帆都会建议客户安装过流保护开关。气体输送系统⑻、气柜最好配置双瓶切换，这样可以一侧气瓶用尽，6二、化学品输送系统1、化学品在半导体工艺中的作用：清洗芯片上的杂质、微粒子；刻蚀芯片图案；显影芯片图案；研磨芯片；清洗制程设备零配件2、常用化学品性质和分类：⑴、酸性：腐蚀性：HSO、HCL、HNO、HF、HPO毒性：HF、Acetone二、化学品输送系统1、化学品在半导体工艺中的作用：7化学品输送系统⑵、碱性：NHOH、KOH、Developer⑶、有机溶剂：IPA、光阻液EKC、EBR、HMDS⑷、氧化性：HSO、HO⑸、悬浮液（Slurry）：Oxlde（SS-25）、Tungsten（W-2000）3、化学品输送系统操作安全⑴、化学系统运行需要的证照与认证操作人员的安全管理非常重要，所有操作人员应具备以下资质：

压力容器操作许可证危险化学品操作许可证叉车操作许可证（如有使用）化学品输送系统⑵、碱性：NHOH、KOH、Develope8化学品输送系统⑵、熟知化学品安全技术说明书（MSDS/CSDS）操作人员可以从中学习到化学品的特性，毒性，危害性，中毒预防措施，紧急事故处理等。⑶、化学品系统的PPE使用如酸桶更换作业时需使用的PPE：全面式呼吸器、防酸手套、防化服、安全鞋。4、化学品输送管道材质：酸碱类：内管PFA，外管CPVC溶剂类：工艺管线SUS316EP，或外管SUS304+PFA内管方式化学品输送系统⑵、熟知化学品安全技术说明书（MSDS/CSD9三、气体化学品监测系统1、气体化学品监控系统关键部件三、气体化学品监测系统1、气体化学品监控系统关键部件10气体化学品监测系统气体化学品监测系统11气体化学品监测系统2、气体监控系统设计⑴、必须监测气体种类自然气体（如SiH4），可燃性气体（如CH4/H2）、毒性气体（如PH3/AsH3）、腐蚀性气体（如HCL/HBR）、氧化性气体（如O2/CL2）、惰性气体密闭区域（安装O2探头）⑵、侦测器安装①、侦测器取样管长度规定：烷类气体和氢气取样管最长30米，氨气取样管最长10米，HCL等酸类气体取样管最长5米②、侦测器安装高度要求：距地面1.7米左右，方便操作和观察气体化学品监测系统2、气体监控系统设计12气体化学品监测系统③、侦测器取样点位置规定：特气设备释放源壳体排风，特气相对密度小于或等于0.75时，取样点同时放置在释放源上方和厂方最高点易积气处；特气相对密度大于0.75时，取样点设置在释放源下方距地面高度0.5米处④、侦测器安装环境要求：环境温度0至40℃，环境湿度20%至80%RH，远离强电干扰⑶、侦测器探头选型①、每种特气原则上采用对应气体探头②、同类型气体混合排放采用毒性最强特气探头③、混合气体侦测，采用最先到达报警浓度值特气探头④、特殊化学品泄露侦测，根据空气反应决定特气探头气体化学品监测系统③、侦测器取样点位置规定：13气体化学品监测系统⑷、GDS逻辑控制气体化学品监测系统⑷、GDS逻辑控制14气体化学品监测系统⑸、基于数据总线网络架构基于POE网络通信环形网络架构3、工作人员更换阀门时的操作注意事项：①、更换一个阀门时如果太紧不能强行拆卸，可以把上方或者下方阀门的螺丝拧松一点，再拧需要更换的阀门就比较容易。②、用两个扳手拧阀门螺丝时两个扳手的夹角不能太大，而且最好用一只手两个扳手一块用力。③、换垫片时要换干净的手套，每次换阀门都要换垫片。④、拧紧螺丝的时候用手拧紧后再用扳手拧1/8圈就可以，不能使太大劲去拧，容易使垫片变形。气体化学品监测系统⑸、基于数据总线网络架构15四、工艺安全管理及事故案例分析工艺安全管理（PSM）：通过执行工程标准、最大实践、工艺设计、系统操作和维护程序，以最大限度地降低或消除化工过程运行时造成的人员伤亡、财产损失和环境破坏。工艺安全管理的14个要素：工艺安全信息（PSI），工艺危害分析，变更管理，开工前安全检查（ORI），操作规程，培训，机械完整性（MI），动火作业许可证，承包商，应急准备和响应，事件调查，商业机密，符合性审查，员工参与四、工艺安全管理及事故案例分析工艺安全管理（PSM）：通过执16五、个人防护用品（PPE）及应急反应1、PPE：主要用于保护雇员免受由于接触化学辐射、电动设备、人力设备、机械设备或在一些危险工作场所而引起的严重的工伤或疾病。2、PPE的等级和分类五、个人防护用品（PPE）及应急反应1、PPE：17个人防护用品（PPE）及应急反应个人防护用品（PPE）及应急反应18个人防护用品（PPE）及应急反应3、使用PPE时应注意事项！①、脱衣服时，需抓紧衣服内侧脱下；②、防护衣最好为一次性使用，若多次使用需要清洗时，洗过之后不可晒干，需晾干；③、A级防护衣需定期做气密性检查；⑤、穿A级防护衣时，穿戴者最好携带通讯工具和小刀。4、启动应急反应的六个关键：①、应急人员组织：分工明确，职能清晰，要求需清楚；小组成员要固定，并有培训计划。②、应急器材设备的准备及使用：须列出物资清单及负责人；器材使用有效个人防护用品（PPE）及应急反应3、使用PPE时应注意事项！19个人防护用品（PPE）及应急反应及安全检查。③、人员疏散：逃生通道及集结点安全；广播明确指示；疏散路线人员布点指挥，确保安全有序离开危险区域；人员清点。④、流程节点的沟通：汇报现场状况须掌握要点；现场指挥须条理清晰；所有处置措施有效到位；进现场人员必须先进性防护装备及器材的使用有效及安全检查。⑤、人员培训及协调：应急处置技能训练；体能训练；各应急小组的协调及沟通；工业安全知识培训。⑥、危险区域的隔离及管制：危险区域、影响区域及安全区域的划分；危险区域明显及有效的隔离；进出危险区域的人员记录及管制。个人防护用品（PPE）及应急反应及安全检查。20六、厂务运行管理实务电子气体化学品系统的1、操作安全管理2、日常管理3、用量管理4、设备管理六、厂务运行管理实务电子气体化学品系统的21

电子气体化学品应用与安全

电子气体化学品应用与安全22本节内容一、气体输送系统二、化学品输送系统三、气体化学品监测系统四、工艺安全管理及事故案例分析五、个人防护用品（PPE）及应急反应六、厂务运行管理实务本节内容23一、气体输送系统1、半导体厂常用气体分类及其输送方式一、气体输送系统1、半导体厂常用气体分类及其输送方式24气体输送系统2、气柜的作用：⑴、实现对工艺设备的连续供气：采用双瓶切换系统；⑵、安全地输送工艺气体至工艺设备：①、对工艺设备的安全考虑：压力调节、气体净化、吹扫；②、对操作人员的安全考虑：柜体隔离、排风系统、报警系统、紧急切断、全自动控制系统；③、对环境的安全考虑：工艺生产要求、气体的不同性质、当前项目预算、将来项目扩展需求。3、气柜使用中常见问题及注意事项：⑴、调压时不准或者不稳：原因是减压阀具有机械滞后性，工作使用中可将调压阀调至比所需压力低一些，气体输送系统2、气柜的作用：⑴、实现对工艺设备的连续供气：采25气体输送系统然后再等一会看压力是否稳定在所需压力。⑵、日常工作如需操作气柜，只需开窗操作，只有在换瓶时才开门!⑶、换钢瓶时需要至少2个人共同操作，一个人操作，另一个人需要确认每一步是否正确、规范。⑷气源、气瓶的配管要用塑料管或者尼龙管，这样发生燃烧事故时可烧掉从而切断气源，降低危险性。⑸、气柜上的过流保护开关参数不可调，安装时必须垂直安装。⑹、SiH等易燃气体的钢瓶最好配置AutoGuard（钢瓶接口保护器），以防止在换钢瓶时发生事故。⑺、对于在我们管线分布上有潜在泄露点的地方，比如焊接点等连接点，要配置带抽风的罩子，这样可以更好的对人员和设备进行保护。气体输送系统然后再等一会看压力是否稳定在所需压力。26气体输送系统⑻、气柜最好配置双瓶切换，这样可以一侧气瓶用尽，另一侧自动供气，这样可以实现对工艺设备的连续供气。⑼、不同特气对减压阀的选型也会有不同的要求，对于阀门的选型也是需要注意的地方。比如如果我们有阀门坏了，需要更换，就需要注意更换阀门的型号。⑽、过流保护开关是个非常有必要安装的部件，作用就是气体流量异常变大的时候可以把气体停掉，一般正帆都会建议客户安装过流保护开关。气体输送系统⑻、气柜最好配置双瓶切换，这样可以一侧气瓶用尽，27二、化学品输送系统1、化学品在半导体工艺中的作用：清洗芯片上的杂质、微粒子；刻蚀芯片图案；显影芯片图案；研磨芯片；清洗制程设备零配件2、常用化学品性质和分类：⑴、酸性：腐蚀性：HSO、HCL、HNO、HF、HPO毒性：HF、Acetone二、化学品输送系统1、化学品在半导体工艺中的作用：28化学品输送系统⑵、碱性：NHOH、KOH、Developer⑶、有机溶剂：IPA、光阻液EKC、EBR、HMDS⑷、氧化性：HSO、HO⑸、悬浮液（Slurry）：Oxlde（SS-25）、Tungsten（W-2000）3、化学品输送系统操作安全⑴、化学系统运行需要的证照与认证操作人员的安全管理非常重要，所有操作人员应具备以下资质：

压力容器操作许可证危险化学品操作许可证叉车操作许可证（如有使用）化学品输送系统⑵、碱性：NHOH、KOH、Develope29化学品输送系统⑵、熟知化学品安全技术说明书（MSDS/CSDS）操作人员可以从中学习到化学品的特性，毒性，危害性，中毒预防措施，紧急事故处理等。⑶、化学品系统的PPE使用如酸桶更换作业时需使用的PPE：全面式呼吸器、防酸手套、防化服、安全鞋。4、化学品输送管道材质：酸碱类：内管PFA，外管CPVC溶剂类：工艺管线SUS316EP，或外管SUS304+PFA内管方式化学品输送系统⑵、熟知化学品安全技术说明书（MSDS/CSD30三、气体化学品监测系统1、气体化学品监控系统关键部件三、气体化学品监测系统1、气体化学品监控系统关键部件31气体化学品监测系统气体化学品监测系统32气体化学品监测系统2、气体监控系统设计⑴、必须监测气体种类自然气体（如SiH4），可燃性气体（如CH4/H2）、毒性气体（如PH3/AsH3）、腐蚀性气体（如HCL/HBR）、氧化性气体（如O2/CL2）、惰性气体密闭区域（安装O2探头）⑵、侦测器安装①、侦测器取样管长度规定：烷类气体和氢气取样管最长30米，氨气取样管最长10米，HCL等酸类气体取样管最长5米②、侦测器安装高度要求：距地面1.7米左右，方便操作和观察气体化学品监测系统2、气体监控系统设计33气体化学品监测系统③、侦测器取样点位置规定：特气设备释放源壳体排风，特气相对密度小于或等于0.75时，取样点同时放置在释放源上方和厂方最高点易积气处；特气相对密度大于0.75时，取样点设置在释放源下方距地面高度0.5米处④、侦测器安装环境要求：环境温度0至40℃，环境湿度20%至80%RH，远离强电干扰⑶、侦测器探头选型①、每种特气原则上采用对应气体探头②、同类型气体混合排放采用毒性最强特气探头③、混合气体侦测，采用最先到达报警浓度值特气探头④、特殊化学品泄露侦测，根据空气反应决定特气探头气体化学品监测系统③、侦测器取样点位置规定：34气体化学品监测系统⑷、GDS逻辑控制气体化学品监测系统⑷、GDS逻辑控制35气体化学品监测系统⑸、基于数据总线网络架构基于POE网络通信环形网络架构3、工作人员更换阀门时的操作注意事项：①、更换一个阀门时如果太紧不能强行拆卸，可以把上方或者下方阀门的螺丝拧松一点，再拧需要更换的阀门就比较容易。②、用两个扳手拧阀门螺丝时两个扳手的夹角不能太大，而且最好用一只手两个扳手一块用力。③、换垫片时要换干净的手套，每次换阀门都要换垫片。④、拧紧螺丝的时候用手拧紧后再用扳手拧1/8圈就可以，不能使太大劲去拧，容易使垫片变形。气体化学品监测系统⑸、基于数据总线网络架构36四、工艺安全管理及事故案例分析工艺安全管理（PSM）：通过执行工程标准、最大实践、工艺设计、系统操作和维护程序，以最大限度地降低或消除化工过程运行时造成的人员伤亡、财产损失和环境破坏。工艺安全管理的14个要素：工艺安全信息（PSI），工艺危害分析，变更管理，开工前安全检查（ORI），操作规程，培训，机械完整性（MI），动火作业许可证，承包商，应急准备和响应，事件调查，商业机密，符合性审查，员工参与四、工艺安全管理及事故案例分析工艺安全管理（PSM）：通过执37五、个人防护用品（PPE）及应急反应1、PPE：主要用于保护雇员免受由于接触