真空设备操作维护保养规程

提高产品质量，改进环境绩效，预防和削减事故发生。范围：本规程适用于真空泵及真空系统的使用和维护保养操作规程旋片泵操作规程型号：2X－70几何抽速：70L/S；极限压力：1帕；泵转速：450转/分；电机：Y132L-4 功率：5.5KW；电机转速：1440转/分；配用三角带；B/1600：4根；冷却水消耗量：480L/H；口径：进气90mm 排气60mm。起动前的预备，以削减起动力矩。检查各局部有无松动现象，电机转向是否同泵的要求符合。检查油箱内的油位是否在视镜的两条油标线之间。对于长期未工作的泵，起动前应连续起动电机，检查是否机敏。检查冷却水是否正常〔0.2－0.3MPa〕、润滑油是否正常。起动翻开冷却水阀。合上电源的开关，起动电机。停车停泵时应先关断进气口阀门，翻开放弃阀法对泵放气。留意事项1502-3个月换油一次，如使用条件不好，真空度下降，可以缩短换油时间。应经常保持泵及泵房的枯燥清洁。40℃，即泵温不超40℃。润滑油应符合要求，否则达不到所要求的真空度。入停车后泵温要下降至5℃以下时，泵内冷却水必需除净。罗茨真空泵操作规程性能标准极限压力：0.6帕；160mm/100mm配用电机：3KW起动前预备检查冷却水管是否畅通无阻〔管路上水压表水压≤0.2MPa〕。3～4个齿高度为宜。电机侧1/3～1/21/3～1/2之间。吸入气体有腐蚀性，必需实行中和措施。检查电机转向是否同泵体上的箭头全都。起动起动前级泵。翻开本泵的进气阀门。翻开冷却水阀门，当容器压力到达工艺规定压力时，起动本泵。泵运转时应平稳，转子不得有冲击声。泵的轴封处不得有漏油现象。或其它特别现象，应马上停泵检查。停泵增大或罗茨泵，导致前级泵缺油，并有可能污染被抽环境。停顿本泵并关闭排气阀门。停顿前级泵。关闭冷却水进水阀。留意事项应经常保持使用环境清洁干净。不清洁时，应准时更换。润滑油应符合要求，否则达不到所要求的真空度。集中泵操作规程性能标准型号：KT600 600表示吸气口径；抽气速率：≥16000L/S；极限真空：6.5X10-5Pa；加热功率：9KW；装油量：6-7L(ks-3)；进口/出口：600/150。起动前预备检查冷却水管是否畅通无阻〔管路上水压表水压≤0.2～0.3MPa〕；(2)起动前，高真空阀门应处于关闭位置。起动起动前级泵，抽出集中泵内的气体。接通冷却水〔留意：急冷水套在集中泵停机时才能通水〕。60min，翻开高真空阀门，集中泵可以进入正常工作状态。停机关闭高真空阀门；切断集中泵加热其电源，停顿加热。60℃关闭管道阀门。停顿对集中泵供水。留意事项40℃，否则应马上检查处理。假设集中泵在正常运行中突然停电停水，应依据以下步骤处理：马上关闭高真空阀和前级阀；快速抽出加热器；马上接通急冷水路，并向集中泵底部淋水；泵正常工作时，如性能突然变坏，应检查加热器是否损坏。泵在长期工作后，性能假设下降，应拆泵检查油量及泵油氧化状况，酌情加油或换集中泵专用油80~100℃其无松动安全牢靠。一般状况下，泵体应保持真空状态，以免大气进入泵内造成集中泵油的氧化。分子泵操作规程性能标准TYFB-1600抽气速率：1600〔L/S〕8×10-8/＜5×10-7电机转数：24000〔rpm〕1(L/min)真空镀膜机操作规程开停机挨次：水压表水压≤0.2－0.3MPa〕，〔气压表气0.4－0.6MPa〕。开机：〔225Hz时分子泵方能正常工作〕。密封圈，关炉门。开主抽泵、开粗抽阀门。至真空度到400Pa时〔此时罗茨泵转子为静止状态〕。开前级阀。启动罗茨泵，至真空度到6.7Pa时，关预抽阀、开前级阀、关罗茨泵，开精抽阀。7.5×10-3Pa时开头镀膜。运行工艺流程镀膜：〔清洗时间有不同工艺而定〕。关闭离子清洗真空度恢复至本底真空〔7.5×10-3Pa〕。调整气体开头镀膜，〔按工艺要求镀膜〕。关机翻开放气阀。放气完毕。翻开箱体大门。取出工件装入工件。关闭放气阀。重复上述过程。设备维护3.5.2.1日常保养〔开启磁控靶前，检查靶水开关，每次开炉门后，用酒精摖拭门胶条，并用吸尘器清理真空室内部。〕检查循环水路各接口，保证无渗漏。5－250C350C。进水压力为2.5kg/cm3－3.0kg/cm3检查水流量开关是否正常工作。，保证无压缩空气外漏。检查气泵和储气罐、放掉内部的冷凝水。设备运转时检查机械泵、罗茨泵、集中泵有无过热和异响。象。检查门密封条有无伤痕。用吸尘器认真清洁炉体内部。视污染状况更换观看窗保护片。检查机械泵油位是否正常。1/2－1/3油杯高度即可。检查分子泵油池油量，保证油池油量处于油标上下限之间。检查溅射靶与罐体之间的绝缘度，绝缘电阻大于200MΩ为合格。检查转架绝缘度；绝缘电阻大于200MΩ为合格。留意记录隔日真空，养成良好的习惯，便于准时觉察设备的问题。3.5.2.2定期维护下面的工作应每周进展一次：检查水路系统内各水表，阀门等出接口有无渗漏。水分。使用压缩空气清洁机械泵外部，防止灰尘过厚影响散热。以压缩空气和吸尘器清洁炉体内部。清洁观看窗玻璃。检察各电源线是否有松动、发热现象。检查循环水各阀门接口有无渗漏。3.5.2.3下面的工作应每月一次：以压缩空气和吸尘器较为彻底的清洁炉体内部，内衬。检查罗茨泵泵油状况，如觉察油质变色，変烯，乳化等状况，应马上换油。清理机械泵口过滤网。检查各靶材消耗状况。每更换一次靶材，用特斯拉计测量靶磁场强度。〔留神强！！〕。下面工作应三个月进展一次以压缩空气清洁循环水路、设备冷却水套。更换机械泵油〔1000小时〕。更换机械泵油过滤器。机下面的工作应六月一次：将全部屏蔽板拆出清洗，彻底清洗炉体内部，个别膜层较厚局部，可用抛光布轮或砂轮抛光清理。将高阀翻开，检查清洗阀板下面。清洗抽气主管道。清洗充气阀过滤器。更换转动轴封。更换前门密封圈。更换炉体加热器密封圈。下面的工作应一年进展一次：更换机械泵排气过滤网。PLC电池电量。更换分子泵润滑油〔或者每4000小时〕。大修：视设备工作状况，每两至三年大修一次，彻底清理炉体，更换全部真空系统密封圈，检修全套设备大修完成后的设备性能应当接近全设备。。维护保养检修。必要时也应对系统、管道、阀门和电动机等加以清理洗、检修。泵不用时，应用橡皮塞把进气口塞好，以免赃物和硬质东西落入泵内。0.1MP～0.2MPa之间，出水温度≤4℃。0.4Mpa～0.5Mpa之间。每次开机前，要检查保护气的气瓶容量，以免气体充缺乏，更换气瓶。经常检查设备各种仪表，保证完好；依据规定对仪表进展校验。套内的循环水放掉。充入的保护性气体，纯度不应小于99.99%。把油放干净。油。本设备不允许使用易燃易爆和具有腐蚀性气体作为保护气体。类用油的抹布擦拭。设备的整机电压要保证在350V～420V范围内，三相要平衡。膜防止漏气。以上各局部及法兰连接处不允许长期使用真空封泥密封。各局部的螺栓定期检查，如觉察松动，准时拧紧。题。设备的使用环境，在相对湿度85%以下，温度在10℃～40℃。在拆修设备时各部分不许用重锤敲击，密封面、密封槽不许划伤。设备在工作时，操作人员不得长时间离岗。运行中的问题与对策问题 缘由油蒸汽返流至真空管路或系统中油蒸汽压不对真空管路或系统内返油 停泵时，油返流截流阀板上的密封件损坏抽气管路底部密封件腐蚀或损坏缺油抽气口与排气口错误连接供油管线堵塞油泵消灭问题系统工作时温度过高 油泵中外来物堵塞环境温度到达或超过油蒸汽压油蒸汽压低于指标工作气体温度过高O型密封圈损坏废气在泵四周泄漏 外表密封垫损坏外表密封垫损坏1.油量过多烟尘或油雾过重 阀开启网损坏1.油在肮脏工艺过程中受到污染

解决方法清洗泵后换符合要求的油清洗泵后换符合要求的油检查并更换截流阀更换截流阀板更换抽气管路，修理密封件加油抽气管线与抽气口连接断开泵连接，清洗并更换符合要求的油修理或更换油泵清理油泵降低环境温度并留意空气流通更换符合要求的泵油更改工艺或加冷却系统更换型密封圈更换油箱外表密封垫更换泵体外表密封垫削减油量关闭气镇阀更换滤油网更换泵油或清洗油颜色变深或浑浊

油不适宜油缺乏

清洗后用规定的泵油加注足量泵油停泵时系统中消灭空气特别噪音

真空漏率过大惰性保护气体缺乏系统泄漏密封阀损坏连接件损坏缺油油泵磨损或损坏叶片损坏排气阀板上无滤网电机轴承消灭问题

修理泄漏处，或更换泵油放射性气体时必需加足量保护气体1.修理部件2.修理密封阀更换连接件加油修理或更换油泵拆下油泵，更换叶片加滤网修理电机问题缘由解决方法1.出油口密封圈磨损1.更换密封圈2.油封损坏或安装错误2.更换油封，检查进油管线泵油消耗过多油套损坏或腐蚀进油口或出油口泄漏更换油套O型圈5.泵体与油封间垫片泄漏5.更换垫片1.泵粘死1.拆泵修理2.泵油粘度过高12℃或换油3.油泵磨损或外来物集聚3.更换损坏件或清理泵不能启动4.电机电压不符4.更换电机5.连线错误5.检查并修理线路6.电机出错6.更换电机1.气镇阀开启1.关闭气镇阀2.抽气管太细2.更换适宜直径的抽气管3.排气管直径小于排气口直径3.更换适宜直径的排气管4.真空系统有泄漏处4.修理系统漏点5.系统主阀问题5.修理主阀泵达不到油不适宜油被污染或油量太少供油管堵塞使用符合规定的油换油或加油拆开泵体修理9.轴上油封损坏9.更换油封10.挡板安装错误10.拆下正确安装11.排气阀破损11.更换排气阀12.真空计损坏12.修理真空计1.抽气与排气管直径太小或管长度1.更换成符合要求管线太长2.油被污染更换泵油更换主阀排气速度太低主阀破损进气口滤网被堵塞清洗滤网更换成要求泵油5.泵油不对6.修理泄漏处6.真空系统泄漏7.更换成满足要求泵1、机操作系统：2、真空度：3、工件转动系统：4、烘烤系统：5、磁控靶：6、弧源：

泵指标低于系统要求安全标准在设备的使用中，要严格执行设备的操作规程，杜绝违规操作。制度，如有问题必需与电工或电气工程师取得联系。在运行中，假设消灭故障，要依据正确的挨次进展停机，断掉电源，处理故障。