技术协议涂胶-显影一体机2c1d

涂胶-显影技术协议甲方：西安微电子技术乙方：沈阳芯源微电子设备1、设备名称：涂胶2、设备数量：13、设备型号：KS-S300-4、设备性能设备适用范设备适用于TSV晶圆级先进封装中8英寸和12英寸晶圆、玻璃片、晶圆与设备基本功设备可兼容8英寸（200mm）和12英寸（300mm）晶圆、玻璃片、晶圆与212FOUP8Cassette32个为涂胶腔室，用于负性光刻胶的涂覆；具备FOUP及Cassette中晶圆状态扫描功能，能够识别插斜、缺失等问题，设备能够在操作界面显示每一片晶圆的具置；MES系统实自动调用程序进行加工，如果不是当站产品，设备进行提示，并实时显示在PBO等涂胶各腔室均具备IPA、ADP增黏、EBR洗边、BSR背洗、工艺腔室自动功能；/配置过滤装置对进入工艺腔室的N2particle0.1μm以下，particle0.2μm以下，且Buffer除气设备对厂务水装有浮子流量计、厂务来气装有气压表，均有功能。接并实现将数据反馈到工控机中，可在操作屏实时查看。水、气流量可通过流机台正面按照SEMISII标准进行规划设计，配有双屏：1.Robot区域、各涂胶腔室显影腔室各配置1台机进行实时画面并实时显示在屏；2.操作配有触摸屏具备翘曲片作业能力，不需要更换部件，即可满足最大翘曲度Windows操作系统的图形化控制软件软件具有工艺编程设备控制硬件自我故障功能工艺操作方便快捷；基于IPC控制系统Tcp/ip连接服务器，上传数据需要支持半导体设备标准通讯SECS/GEM设备的log功能：设备有自动记录任何操作信息、信息功能，并可设1s/2s等。数据以文档形式记录，便于查找和存档，并USB接口导配置要上料、下料单配置12英寸FOUPLOADPORT数量2能够兼容8英寸CASSETTE，128AdaptorAdaptor；晶圆传片方式为机械自动传送，机械品牌为机械采用真空吸附方式进行传片机械采用进流伺服马达进行运动控制，马达品牌为机械具有T（360度转动、R（前行和后退、Z（上和下）的运动能具备FOUP中晶圆数量的能力配置对射式传感器，用于检测晶圆出片盒前是否有错位、叠片、斜晶圆预对准单涂胶单221每个涂胶腔室均配置2套负胶供胶系统、滴胶系统，1套用于黏度13000cp~16000cpKINGSEMI11500cp~4000cp1~120μm每个涂胶腔室均具备工艺室自动功能IPA功能ADP涂覆功能、1套；7个喷嘴：1个IPA喷嘴、1ADP喷嘴、2个光刻EBR喷嘴配置在洗边臂上；设备robot区域、涂胶腔体区域需要有FFU0.3μm及采用废液桶进行废液排放，废液桶具有液位检测功能以及废液桶功涂胶过程中，chuck有实时真空检测功能，如过程中发现有真空异常，需及警，并立即停止作业。冷热板单6个热板，2热板、冷板采用机械pin配置数字温度控制器，对加热温度进行设定和控制，控温方式为设备温度具有实时功能，可以设定超温保护具有超温功能，若设备超温，立即停机，停止继续加热超温后，自动升起机械pin针，防止过烘烤，从而防止对圆片及光刻超温并升起pin针后，可自动调节机械手在30s内取走晶圆down机或断电时，pinUPS带动，自动升起，防止过显影单121~30μm正性光刻胶、1~120μm2套显影液罐和显影喷嘴：1套用于碱性显影液、1套用于有机显影DIW；配置1个BSR液罐和2个BSR喷嘴：液罐用于BSR有机液、喷嘴分别用于有机液和DIW；3套：1套用于碱性显影管路、1套用于有机显影管路、1显影方式：喷淋式3000rpm，精度±1rpm显影过程中，chuck有实时真空检测功能，如过程中发现有真空异常，可及警，并立即停止作业；配置显影液A/B罐自动供给系统，当机台内显影液不足时，如检测A罐B罐供液，可保证连续供液。同时能够将显影液从机台外部原料桶中自动供给到机台显影液罐A中；及排放，废液桶具有液位检测功能以及废液桶功能。集成控制软件具备机台参数实时功能工艺过程中的重要数据可通过软件记录故障；软件能够对重要部件进行统计管理，当达到使用时可提示UPS（15min下，设备。警报系机台警报系统包含蜂鸣器及指示灯，用户可以根据需要选择的处理方式，可以对历史进行查询。指示灯意义：红灯：技术参基本参负胶：涂胶片内均匀性：≤5%（最大-最小）/（2平均值）100%；（小）/（2单片平均值总和的平均值正胶：CD开口片内均匀性：≤3%（最大-最小）/（2平均值CD开口片间均匀性：≤5%（单片平均值的最大-单片平均值的最小）/（2单片平均值总和的平均值）100%；负胶：CD开口片内均匀性：≤5%（最大-最小）/（2平均值CD开口片间均匀性：≤8%（单片平均值的最大-单片平均值的最小）/（2单片平均值总和的平均值）100%；1μm光刻胶：CD开口片内均匀性：≤1.5%（最大-最小）/（2CD开口片间均匀性：≤3%（单片平均值的最大-单片平均值的最小）/（2单片平均值总和的平均值）100%；15~25涂胶WPH指单个涂胶腔室每小时可涂胶的片数，其中走完进料————涂胶——烘烤——112英寸晶圆涂覆负胶soldermaskA/B混合胶(16000cp40μm)为例。涂胶WPH：16片（IAADP：100；HP：240；OT：90；HP：300；显影WPH指单个显影腔室每小时可显影的片数，其中走完进料————显影——出料整个流程算显影112英寸晶圆显影AZ系列正胶(400cp，12μm)为例。显影WPH：11破片设备upUptime≥95%（总时间-障时间）/100%设备表现平均故障间隔时间平均修复时间MTTR：≤4hrs动力条件设备尺寸：2630×2300×2400mm（W×D×H围，上限400+400*7%V，下限400-400*10%V，50HZ(有特殊电源制式时，其它重点要乙方提供设备操作和维修工具5、安全保设备提供和安全互锁功能，保证和设备的安全，对某些有潜在灾等、运动部件、电压、气压差等。对于有互锁限制的操作，只有当互锁可能碰撞)，同警通知用户，用户可以根据需要选择重试工艺、继续工艺或紧急情况发生时，可以通过EMO回路紧急停止设备，减少设备。EMO按钮为黄色背景红色蘑菇头形状，在设备明显位置。当按下任意一个按钮时，EMO回路就会切断机台供电。在断电情况下，系统主电源会自动关断，恢设备的高温、高压、强腐蚀部分都贴有提醒标记；设备高温部件均需要6、备件及资料要随机免费附件（不包含机器自带的标准配置备件112128134512厂家468厂家471序号182339445真空电封363721（光盘）合同签订后2乙方向甲方提供签署盖章的设备安装资料，包括水、电、7、其它要设备所有零部件和各种仪表的计量单位全部采用国际单位标准（SI标准观，好。配电设计规范GB50054-2011》和《通用用电设备配电设计规范GB50055-2011》等国家强制性；8、包装要包装箱采用木箱包装，防水膜进行全包覆，并符合ISO14001环保包装可满足长途、防潮、防震、防尘、防装卸包装外部标志清楚，包装木箱坚固可靠，符合的要求9、交货期限及地1号西安微电子技术10、服务要乙方负责设备的包装、（至甲方指定地点、机台的安装（设备主机安装，辅机/附件安装及设备主机与设备辅机/附件之间的安装）及试，甲方负责设备的、安装前的保管及设备的移入就位11、安装培1030日内具备生；乙方对甲方技术提供免费技术培训学习培训工作由乙方安排资深工程师组织进行，所有培训过程中所涉及的工具等必要物品由乙方提供；12、设备试机和验设备验收时所用工具和特殊耗材由乙方提前说明并在验收时自带CD开口片内均匀性：≤3%；CD开口片间均匀性：≤5%；CD开口片内均匀性：≤5%；CD开口片间均匀性：≤8%；1μmCD开口片内均匀性：≤3%；CD开口片间均匀性：≤5%；CD开口片内均匀性：≤5%；CD开口片间均匀性：≤8%；1μmCD制精度：≤115~25℃范围内49个点；2.4片数据1312个月，质保期内免费保修，维修；机台安装版本的软件，提供设备所需软件的免费升级服务乙方配备驻厂工程师（驻厂时间为1年），驻厂在收到甲方信息后4小时内响应，并制定相应方案，4中遇到的各种问题。驻厂工程师后，保证支持，设备发生故障后，4小时内响应