Tescan3型扫描电子显微镜操作规程_第1页
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文档简介

6Tescan3型扫描电子显微镜操作规程1N阀门2开启并确认稳压电流：220v。ON位，等待计算机完成启动。程序，后翻开VEGA程序，确认用户、语言、密码，等待软件进入系统。系统自动进展硬件、软件自检。VEGA中的[PUMP]，抽真空开头。10^-5torr后，[HV]接通电镜高压，开头观看样品和照像。2、更换样品手动调整样品台，使其回到初始位置。单击窗口中的[泄真空]N流2N0.1刻度左右。2室门，更换样品。10^-5torr[HV]开启高压。BSE探头已摇出。3、样品观看和物相、成分分析BI〔束》autogunheating〔30kv〔75±5〕μA；20kv(100±5)A，进展观看。像清楚度至最正确。依据放大倍数，选择适宜的扫描速度采集图像并存储WD15mm左右，手动调整样品台高度，直至清楚为止〔空载时，物镜极靴与样品3mBSE8m。BI，检测计数率。能谱分析时，要依据样品性质，选择适宜的电镜加速电压，设置采谱时间，EDS的时间常数，调整束流使能谱计数率CPS为适当值〔一般，总数率=采样时间*计数率，总数率的值大于25万。EDS的定性分析，不能完全依靠自动，要人为参与，检查结果的正确性。4、关机在图像中，点击鼠标右键，选菜单中的最小化按钮，使SEM回到最小放大倍数，BI调到10，样品台降至最低位置〔手动调整，将BSE探头摇出，然后再切断高压按钮。稍开N阀，通入2N2.3min后，开头泄真空，取出样品，单击VEGA中的[PUMP]VEGA。switchoffandexit，SEM操作界面。正常关闭电脑主机。SEMONOFF。N2

阀门。拔下电源插头。5、安全操作留意事项，不能有油渍或挥发性气体放出，避开污染电镜。样品放置或移动时，必需确保不会碰触各种探头。镜。〔10^-5torr〕操作者不观看样品或离开岗位时，确定切断高压。退出SEM分析软件时，确定使系统真空到达要求，保持绿条提示才关闭软件。为防止该套系统电脑主机受病毒侵害，数据导出时，只U盘。粗粉体可以直接撒在试样座的双面碳导电胶上，用干净轻吹去粘结不结实的颗粒，样品量必需少。关机前确定放大倍数最小，BI值为10。BSE探头是否摇出，样品台降到最低。BSE探头摇进时，逐步上升样品台，防止与物镜碰撞。镜极靴的距离。能谱的工作距离规定为15mm左右。右击窗口，自动调焦〔倍数越大越接近实际的工作距离。高倍数调焦距，低倍数照图。性使用。一般的能谱电压设置为20kv〔复合材料的能谱电压为10kv15kv；30kv。越平滑。大视野模式和背散射不需要调焦。autogunheating autoguncentering电子枪的对准；autocolumncentering镜筒的对准。BSE显示的凹凸明暗图像不是样品外部形貌，而是元素差异〔原子序数越高，亮度越亮；SE元素成分无关。〔10%以上的realtime〔100±5〕%为适宜范围

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