静电气的概念与相应对策课件

◆教育内容1.

什么是静电气？

2.

带电的种类和MECHANISM

3.

带电例4.

ESD

MODEL5.

半导体基本内压和用语别电阻植

6.

静电气对策基本思想7.

Shieldingbag基本构造8.

静电气管理必须计策器9.

静电气计策的过去和今天10.静电气管理

Manual11.静电气管理处理

Flow12.温,湿度和静电气关系13.电烙铁电阻测定14.

静电气和COULOMB15.

导电MAT的构造16.

导电MAT

的作用

17.接地方法18.

等离子的原理19.

等离子的管理方法20.理想的作业工程2005.03.16静电气的概念和相应对策

MSC

OP2部1/33◆教育内容2005.03.16静电气的概念1･物体储蓄正(+)或者负(-)电荷的状态叫做

“帯电”状态.

物体静止时的电状态叫做“静電気”.･电有正电(+)和负电(-)2种.所有的物体都是由原子构成的.正（＋）带电状态原子的构造电子受到光,热等外部力量后,从原子核脱出成为自由移动的自由电子.ーーーーーー+5

ー自由电子1.什么是静电气？ーーーーーーー電子陽子+++++中性状态.静电气发生ーーーー+5

ーー负（-）带电状态2/33･物体储蓄正(+)或者负(-)电荷的状态叫做“帯电”状态22.带电的种类及MECHANISM(1)带电的种类;

①接触带电（FILM、纸）

②分离带电（脱作业服时,取掉LEVEL时

）

③摩擦带电（带电物的接近）(2)带电的MECHANISM

物質A＋－＋－＋－＋－＋－＋－＋－＋－物質B物質A物質B物質A＋＋－＋＋－＋－－＋－－＋－物質B＋＋－＋＋－＋－－＋－－＋－

－＋物質A＋－＋－＋－＋－＋－中性＋－＋－＋－物質B静电荷负电荷･与物质Ａ、Ｂ中性状态･接触,冲击时电子会移动･以电荷的移动带电中性静电气发生3/332.带电的种类及MECHANISM(1)带电的种类;33.帯电列POLYESTER空气ACRY硝子NYLON雲母

锡绢ALUMINIUM纸POLYURETHANEVINYLTEFLON木棉铜硬质橡胶NICKEL铜银硫黄NEONURETHANE4/33随着物质的不同,带电电荷的符号不同.－＋3.帯电列POLYESTER空气ACRY硝子NYLON雲母44.ESD

MODEL了解一下因ESD放电导致电子部品的热化及破坏.

第一,

因人体的接触制品被充电或放电.第二,

制品本身起KIEPEXITE作用，而充电或放电的情况.搬运过程或自动移送过程中容易发生摩擦起电的物质（PLASTIC种类）带电，会对电子部品的低电阻PIN等表面迅速放电而导致损伤的情况.第三，被电界充电的部品充电量变的情况.在带电物和部品之间的静电感应状态下，因带电物的突然性位置变化及静电感应急激变化而对绝缘及氧化层产生影响导致ShortCircuit的情况。第二，第三之例如右图，电子部品的金属（ICPIN）接近带电物时会发生静电感应.离带电物近的部分感应与带电五反极性的电荷，而离带电物远的部分会感应与带电物相同极性的电荷；在这个状态下一侧的PIN与基板接触时，与带电物同极性的电荷流入到接地而引起放电。然后，带电物远离（举起）时，与带电物反极性的电荷会引起放电的现象发生；因这种现象破坏的情况也有。ESD＝Electrostatic

Discharge,静电防电5/334.ESDMODEL了解一下因ESD放电导致电子部品的热化5●Surge导致LD破坏的Mechanism超过定额的强光出力进到激光出射面会破损成damage(COD发生).Laser

ChipLaser光出力

绝对最大定额COD破坏

定额

光出力Iop

驱动电流(A)COD:CatastrophicOpticalDamage6/33●Surge导致LD破坏的Mechanism超过定额的强光出6ⓐConductive(导电层):

～10*6[Ω/sq]ⓑStaticDissipative(静电层):10*7～10*10[Ω/sq]ⓒAnti-static(带电防止层):10*11～10*13[Ω/sq]半导体存在着承受外部冲击的耐电压.了解一下반半导体别耐电压.5.半导体静电内压和用语别电阻(1)半导体别静电内压(2)用语别电阻★

静电气30V也可能破坏部品.7/33ⓐConductive(导电层):～10*6[Ω/s7非导电体･金属･人･纤维･树脂･塑胶类ＧＮＤ（接地）加湿

等离子导电体6.静电气对策基本发状･第一种接地：静电气对策.･第三种接地：电子机器，计测器8/33非导电体･金属･人･纤维･树脂･塑胶类ＧＮＤ（接地）加湿8对静电敏感的电子部品或基板的搬运和保管时使用的ShieldingBag一般如下图3层构成的.那三层是：金属

Coating层,Polyester层,Polyethylene层.

金属层(表面电阻约10-2Ω/Sq)把发生的静电感应反应在100micro-sec以内，防止被保管部品受到破坏；

绝缘层构成的Polyester层不仅防止因静电气的直接放电受到的破坏，而且经常防止Bag最下面一层Polyethylene层的

Anti-Static物质是化学合成物引起的Bag内部摩擦产生的静电气.7.ShieldingBag的构造静电层Anti-Static

层9/33对静电敏感的电子部品或基板的搬运和保管时使用的Shieldi98.静电气管理必须计测器(1)测DEVICE等放电电荷量的CoulombMeter(2)

测人体的带电电位的人体电位计

(3)

测Work-Bench及带电状态的Work-BenchMonitor

(4)调查等离子的制电效果，离子Balance特性的大气离子Monitor

(CPM)

10/338.静电气管理必须计测器(1)测DEVICE等放电电荷109.静电气计测的过去和今天11/339.静电气计测的过去和今天11/331110.静电气管理菜单12/3310.静电气管理菜单12/3312

静电气测定

①表面电位

②电荷量判定满足管理规格时1.管理规格<测定值<耐电压时:ESDSystem再整备2.使用半导体

耐电压<测定值

时:

生产品检定.OK

NG●管理规格

①表面单位;30V以下②电荷量:1nC以下11.静电气管理处理Flow13/33静电气测定判定满足管理规格时1.管理规格<测定值<耐电13●作业者的带电防止对策人体也算是导体，所以接地会防止静电。但是一般作业者在一定的场所步行，作业等使他们继续带电，还因为静电感应所带电。用以下方法可以防止带电。

①着用带点防止作业鞋(导电鞋)

来防止人体带的静电气.

(但,导电鞋底在干净的状态下才起作用)

②作业者基本上在一定的位置作业时,利用静电环直接接地.此时，为了防止

漏电造成的触电，加安全电阻

(1MΩ)接地.

③因作业服等衣服带电时，着用实施带电防止处理加工的带电防止作业服

等。14/33●作业者的带电防止对策人体也算是导体，所以接地会防止静电。但14●人体静电气漏及CHECK方法制电鞋(导电鞋)CHECKERWristStrap(静电环)CHECKER15/33W/S(1毫欧姆电阻内装）人体静电气流人体静电气流制电鞋制电鞋电阻内装接地●人体静电气漏及CHECK方法制电鞋(导电鞋)CHECKE1512.温，湿度和静电气关系温，湿度是静电气的非常重要要素之一.

再说，如果正确管理温，湿度就会大量抑制静电气发生。大气的相对湿度是

60%以上的话，物体的导电性会提高，之所以基本上不会残留静电气；但是30%以下时，静电气会多量残留.16/3312.温，湿度和静电气关系温，湿度是静电气的非常重要要素之一1613.烙铁电阻CHECK方法(1)接地电阻(2)绝缘电阻绝缘电阻:10MΩ以上烙铁Concent17/33接地电阻:5Ω

以下烙铁Concent特别是对

LD端直接焊接的烙铁非常重要.实际因这个原因出的不良多发履历也有.★在加热状态下确认13.烙铁电阻CHECK方法(1)接地电阻(2)绝缘电阻绝缘1714.静电气和电荷量(Coulomb)静电气用另一种话来说是静止的电荷量.静止状态的电荷不是静止，而是相互之间的力在作用使电荷成静止状态；这种力叫做静电气力.表明静电气力的人是Coulomb，该法则叫做Coulomb法则이다.(1)Coulomb法则18/33(2)静电荷量(静电用量)两个电极板之间放有电体，加电压的话，因分极作用电极会存储静电气.

存储的静电荷量是Q=CV[C]

(C:静电用量,V:电位差)供应电压因充电显现的电压静电用量绝缘体14.静电气和电荷量(Coulomb)静电气用另一种话来18在下面认识一下测Coulomb的方法.测静电破坏的原因——放电电荷量时使用CoulombMeter.14.静电气和电荷量(Coulomb)(2)静电用量(Coulomb)的测定19/33在下面认识一下测Coulomb的方法.14.静电气和电荷量19●電荷量CHECK器사용방법20/33●電荷量CHECK器사용방법20/332015.导电Mat的构造了解一下我们常说的导电Mat的构造.2层构造(Static-Dissipative&Conductive)对静电气敏感的Device及人体和Mat间的

电位差一直维持

0Volt静电气危险开始保护。21/33静电层(Static-Dissipative)表面电阻:10(7)-10(10)ohm/sq导电层(Conductive)表面电阻:10(3)-10(6)ohm/sq15.导电Mat的构造了解一下我们常说的导电Mat的构造.221完全去掉物体上的静电荷，多用于半导体制造，电子部品制造等。作用大体上有

①把产生的静电气迅速转到GROUND、

②再也不让产生静电气,大致分为以上两种.+-++-----++--++---++-+安全电阻:通常使用

1MΩ+-+++++++++__________++为了维持导电Mat的原性能需要定期清扫.注意:不可用Wax等油膜形成的东西清扫.16.导电Mat的作用22/33完全去掉物体上的静电荷，多用于半导体制造，电子部品制造等。2217.接地方法23/3317.接地方法23/3323●导电Mat接地电阻,Mega，Ohm

CHECK方法24/33●导电Mat接地电阻,Mega，OhmCHECK方法242418.等离子的原理根据依高电压的KAOROA

放电发生离子.这种离子对带电物作用，把电荷中化.(1)原理(2)使用场所

:｢接地｣或者

｢加湿｣困难的带电物(塑胶类等).(3)代表性的等离子种类①PulseＤＣ方式：有加+的高电压电极针和加-的高电压电极针.

产生+,－各自的离子.定期清扫是非常重要的.

离子产生量多.

制电速度快.

②AC方式：

在一个的电极针上加交流高电压的方式.

生成+,－各自的离子针是同一的。

离子产生量少.制电速度慢.等离子产生的离子带电物体

等离子25/3318.等离子的原理根据依高电压的KAOROA放电发生离2519.等离子的管理方法设置了等离子后，觉得静电气对策很完全是一个误算。之前也说明过，等离子是产生强制电荷，所以没有去定期充分的管理的话反而会生成静电气.26/33★管理POINT;定期的清扫(周1回)及Balance调整非常重要使用时间带电电位(v)PulseDC

方式

不做清扫和Balance调整的情况.

等离子的例子做定期清扫和Balance调整的情况.

19.等离子的管理方法设置了等离子后，觉得静电气对策很完全是26●等离子CHECK器使用法27/33●等离子CHECK器使用法27/3327●静电气

CHECK器使用方法28/33●静电气CHECK器使用方法28/3328●表面电位计(静电气

CHECK机)测定范围测定此领域带电物测定领域表面电位计带电物测定领域表面电位计测定物充分大的时候测定物小的时候半导体DEVICE表面的带电电位等的面积很小（少），所以用一般的

HANDTYPE

直接测定表面电位很难得到正确的带电电位.(会比实际值小)29/33●表面电位计(静电气CHECK机)测定范围29피측정물의표면전위계과의거리●表面电位计(静电气

CHECK机)测定距离测定时随着与测定物的距离变化能看出来相当的DATA差。随着测定时，距离调整是非常重要的。静电气

check机测定物表示电位(v)측정물과표면전위계과의관계측정물과표면전위계과의관계测定物和表面电位计的关系测定物与表面电位计间的距离(x)30/33피측정물의표면전위계과의거리●表面电位计(静电气CH30●静电气CHECKSHEET31/33●静电气CHECKSHEET31/333120.理想的作业工程下图是制作电子部品的理想作业台例子。导电MAT导电盒子32/33导电椅子盖导电围裙도전트레이安全电阻1MΩ接地延长线接地静电气特别管理区域20.理想的作业工程下图是制作电子部品的理想作业台例子。导电3220.可参考的

internetsite

http://www.constap.co.kr/esd1.htm

/ESDEducation.htm

/products/conductive/index.htm

/esdchtlg.gif

http://shsc.co.kr/

http://constap.co.kr/esd1.htm

http://www.maxcone.co.kr/flattenpro.htm

33/3320.可参考的internetsite33/3333

◆教育内容1.

什么是静电气？

2.

带电的种类和MECHANISM

3.

带电例4.

ESD

MODEL5.

半导体基本内压和用语别电阻植

6.

静电气对策基本思想7.

Shieldingbag基本构造8.

静电气管理必须计策器9.

静电气计策的过去和今天10.静电气管理

Manual11.静电气管理处理

Flow12.温,湿度和静电气关系13.电烙铁电阻测定14.

静电气和COULOMB15.

导电MAT的构造16.

导电MAT

的作用

17.接地方法18.

等离子的原理19.

等离子的管理方法20.理想的作业工程2005.03.16静电气的概念和相应对策

MSC

OP2部1/33◆教育内容2005.03.16静电气的概念34･物体储蓄正(+)或者负(-)电荷的状态叫做

“帯电”状态.

物体静止时的电状态叫做“静電気”.･电有正电(+)和负电(-)2种.所有的物体都是由原子构成的.正（＋）带电状态原子的构造电子受到光,热等外部力量后,从原子核脱出成为自由移动的自由电子.ーーーーーー+5

ー自由电子1.什么是静电气？ーーーーーーー電子陽子+++++中性状态.静电气发生ーーーー+5

ーー负（-）带电状态2/33･物体储蓄正(+)或者负(-)电荷的状态叫做“帯电”状态352.带电的种类及MECHANISM(1)带电的种类;

①接触带电（FILM、纸）

②分离带电（脱作业服时,取掉LEVEL时

）

③摩擦带电（带电物的接近）(2)带电的MECHANISM

物質A＋－＋－＋－＋－＋－＋－＋－＋－物質B物質A物質B物質A＋＋－＋＋－＋－－＋－－＋－物質B＋＋－＋＋－＋－－＋－－＋－

－＋物質A＋－＋－＋－＋－＋－中性＋－＋－＋－物質B静电荷负电荷･与物质Ａ、Ｂ中性状态･接触,冲击时电子会移动･以电荷的移动带电中性静电气发生3/332.带电的种类及MECHANISM(1)带电的种类;363.帯电列POLYESTER空气ACRY硝子NYLON雲母

锡绢ALUMINIUM纸POLYURETHANEVINYLTEFLON木棉铜硬质橡胶NICKEL铜银硫黄NEONURETHANE4/33随着物质的不同,带电电荷的符号不同.－＋3.帯电列POLYESTER空气ACRY硝子NYLON雲母374.ESD

MODEL了解一下因ESD放电导致电子部品的热化及破坏.

第一,

因人体的接触制品被充电或放电.第二,

制品本身起KIEPEXITE作用，而充电或放电的情况.搬运过程或自动移送过程中容易发生摩擦起电的物质（PLASTIC种类）带电，会对电子部品的低电阻PIN等表面迅速放电而导致损伤的情况.第三，被电界充电的部品充电量变的情况.在带电物和部品之间的静电感应状态下，因带电物的突然性位置变化及静电感应急激变化而对绝缘及氧化层产生影响导致ShortCircuit的情况。第二，第三之例如右图，电子部品的金属（ICPIN）接近带电物时会发生静电感应.离带电物近的部分感应与带电五反极性的电荷，而离带电物远的部分会感应与带电物相同极性的电荷；在这个状态下一侧的PIN与基板接触时，与带电物同极性的电荷流入到接地而引起放电。然后，带电物远离（举起）时，与带电物反极性的电荷会引起放电的现象发生；因这种现象破坏的情况也有。ESD＝Electrostatic

Discharge,静电防电5/334.ESDMODEL了解一下因ESD放电导致电子部品的热化38●Surge导致LD破坏的Mechanism超过定额的强光出力进到激光出射面会破损成damage(COD发生).Laser

ChipLaser光出力

绝对最大定额COD破坏

定额

光出力Iop

驱动电流(A)COD:CatastrophicOpticalDamage6/33●Surge导致LD破坏的Mechanism超过定额的强光出39ⓐConductive(导电层):

～10*6[Ω/sq]ⓑStaticDissipative(静电层):10*7～10*10[Ω/sq]ⓒAnti-static(带电防止层):10*11～10*13[Ω/sq]半导体存在着承受外部冲击的耐电压.了解一下반半导体别耐电压.5.半导体静电内压和用语别电阻(1)半导体别静电内压(2)用语别电阻★

静电气30V也可能破坏部品.7/33ⓐConductive(导电层):～10*6[Ω/s40非导电体･金属･人･纤维･树脂･塑胶类ＧＮＤ（接地）加湿

等离子导电体6.静电气对策基本发状･第一种接地：静电气对策.･第三种接地：电子机器，计测器8/33非导电体･金属･人･纤维･树脂･塑胶类ＧＮＤ（接地）加湿41对静电敏感的电子部品或基板的搬运和保管时使用的ShieldingBag一般如下图3层构成的.那三层是：金属

Coating层,Polyester层,Polyethylene层.

金属层(表面电阻约10-2Ω/Sq)把发生的静电感应反应在100micro-sec以内，防止被保管部品受到破坏；

绝缘层构成的Polyester层不仅防止因静电气的直接放电受到的破坏，而且经常防止Bag最下面一层Polyethylene层的

Anti-Static物质是化学合成物引起的Bag内部摩擦产生的静电气.7.ShieldingBag的构造静电层Anti-Static

层9/33对静电敏感的电子部品或基板的搬运和保管时使用的Shieldi428.静电气管理必须计测器(1)测DEVICE等放电电荷量的CoulombMeter(2)

测人体的带电电位的人体电位计

(3)

测Work-Bench及带电状态的Work-BenchMonitor

(4)调查等离子的制电效果，离子Balance特性的大气离子Monitor

(CPM)

10/338.静电气管理必须计测器(1)测DEVICE等放电电荷439.静电气计测的过去和今天11/339.静电气计测的过去和今天11/334410.静电气管理菜单12/3310.静电气管理菜单12/3345

静电气测定

①表面电位

②电荷量判定满足管理规格时1.管理规格<测定值<耐电压时:ESDSystem再整备2.使用半导体

耐电压<测定值

时:

生产品检定.OK

NG●管理规格

①表面单位;30V以下②电荷量:1nC以下11.静电气管理处理Flow13/33静电气测定判定满足管理规格时1.管理规格<测定值<耐电46●作业者的带电防止对策人体也算是导体，所以接地会防止静电。但是一般作业者在一定的场所步行，作业等使他们继续带电，还因为静电感应所带电。用以下方法可以防止带电。

①着用带点防止作业鞋(导电鞋)

来防止人体带的静电气.

(但,导电鞋底在干净的状态下才起作用)

②作业者基本上在一定的位置作业时,利用静电环直接接地.此时，为了防止

漏电造成的触电，加安全电阻

(1MΩ)接地.

③因作业服等衣服带电时，着用实施带电防止处理加工的带电防止作业服

等。14/33●作业者的带电防止对策人体也算是导体，所以接地会防止静电。但47●人体静电气漏及CHECK方法制电鞋(导电鞋)CHECKERWristStrap(静电环)CHECKER15/33W/S(1毫欧姆电阻内装）人体静电气流人体静电气流制电鞋制电鞋电阻内装接地●人体静电气漏及CHECK方法制电鞋(导电鞋)CHECKE4812.温，湿度和静电气关系温，湿度是静电气的非常重要要素之一.

再说，如果正确管理温，湿度就会大量抑制静电气发生。大气的相对湿度是

60%以上的话，物体的导电性会提高，之所以基本上不会残留静电气；但是30%以下时，静电气会多量残留.16/3312.温，湿度和静电气关系温，湿度是静电气的非常重要要素之一4913.烙铁电阻CHECK方法(1)接地电阻(2)绝缘电阻绝缘电阻:10MΩ以上烙铁Concent17/33接地电阻:5Ω

以下烙铁Concent特别是对

LD端直接焊接的烙铁非常重要.实际因这个原因出的不良多发履历也有.★在加热状态下确认13.烙铁电阻CHECK方法(1)接地电阻(2)绝缘电阻绝缘5014.静电气和电荷量(Coulomb)静电气用另一种话来说是静止的电荷量.静止状态的电荷不是静止，而是相互之间的力在作用使电荷成静止状态；这种力叫做静电气力.表明静电气力的人是Coulomb，该法则叫做Coulomb法则이다.(1)Coulomb法则18/33(2)静电荷量(静电用量)两个电极板之间放有电体，加电压的话，因分极作用电极会存储静电气.

存储的静电荷量是Q=CV[C]

(C:静电用量,V:电位差)供应电压因充电显现的电压静电用量绝缘体14.静电气和电荷量(Coulomb)静电气用另一种话来51在下面认识一下测Coulomb的方法.测静电破坏的原因——放电电荷量时使用CoulombMeter.14.静电气和电荷量(Coulomb)(2)静电用量(Coulomb)的测定19/33在下面认识一下测Coulomb的方法.14.静电气和电荷量52●電荷量CHECK器사용방법20/33●電荷量CHECK器사용방법20/335315.导电Mat的构造了解一下我们常说的导电Mat的构造.2层构造(Static-Dissipative&Conductive)对静电气敏感的Device及人体和Mat间的

电位差一直维持

0Volt静电气危险开始保护。21/33静电层(Static-Dissipative)表面电阻:10(7)-10(10)ohm/sq导电层(Conductive)表面电阻:10(3)-10(6)ohm/sq15.导电Mat的构造了解一下我们常说的导电Mat的构造.254完全去掉物体上的静电荷，多用于半导体制造，电子部品制造等。作用大体上有

①把产生的静电气迅速转到GROUND、

②再也不让产生静电气,大致分为以上两种.+-++-----++--++---++-+安全电阻:通常使用

1MΩ+-+++++++++__________++为了维持导电Mat的原性能需要定期清扫.注意:不可用Wax等油膜形成的东西清扫.16.导电Mat的作用22/33完全去掉物体上的静电荷，多用于半导体制造，电子部品制造等。5517.接地方法23/3317.接地方法23/3356●导电Mat接地电阻,Mega，Ohm

CHECK方法24/33●导电Mat接地电阻,Mega，OhmCHECK方法245718.等离子的原理根据依高电压的KAOROA

放电发生离子.这种离子对带电物作用，把电荷中化.(1)原理(2)使用场所

:｢接地｣或者

｢加湿｣困难的带电物(塑胶类等).(3)代表性的等离子种类①PulseＤＣ方式：有加+的高电压电极针和加-的高电压电极针.

产生+,－各自的离子.定期清扫是非常重要的.

离子产生量多.

制电速度快.

②AC方式：

在一个的电极针上加交流高电压的方式.