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文档简介
微惯性器件之二
微陀螺仪陀螺仪简介陀螺是一种用于测量旋转速度或旋转角的仪器。它在运输系统，例如导航、刹车调节控制和加速度测量等方面有很多应用。宏观的陀螺可分成两个主要种类：非机械（光学的）式的或机械式的。非机械陀螺利用光环使光束在相反方向旋转。当陀螺结构旋转时，检测光束的多普勒移位。而宏观的机械式的陀螺通常是用一个旋转的圆盘产生一个惯性的参照体，由于微机械方法加工带有足够质量的旋转部分很难，所以典型的微机械陀螺使用振动结构。陀螺仪简介音叉式陀螺仪原理介绍
音叉式振动陀螺仪的典型结构如上图所示。其简化示意图如上所示，设音叉两臂的质量都分别集中于其端点，且为m0，设在某一瞬时，两集中质量相向速度分别为v1及v2，且有关系式v1=v2=v，载体绕轴的转动角速度为ωx，由于哥氏效应，两集中质量的哥氏加速度绝对值为ac=2ωxv，方向如图所示，哥氏力Fc=2mωxv，哥氏力矩M=4mRωxv。我们就通过检测哥氏力或哥氏力矩的大小来得到载体的角速度ωx。典型的陀螺仪可用于军事、民用航空、汽车、导弹等领域的高性能长寿命的微型陀螺仪，其大小比衬衫的纽扣还小，重量不足1克。
典型的陀螺仪日本的CRS-03陀螺,中间是一个磁铁典型的陀螺仪AD公司生产的陀螺内部结构典型的陀螺仪AD公司双轴陀螺美国BEI公司生产的QR14陀螺仪的分类非机械式激光陀螺和光纤陀螺机械式（主要介绍微机械式）
1）振动式微机械陀螺仪
2）转子式微机械陀螺仪
3）微机械加速度计陀螺仪1）振动式微机械陀螺仪利用单晶硅或多晶硅制成的振动质量，在被基座带动旋转时的哥氏效应感测角速度。多采用平面电极或梳状电极静电驱动，并采用平板电容器进行检测。可分为：梳状驱动平板式振动陀螺仪梳状驱动音叉式振动陀螺仪电磁驱动音叉式陀螺仪振环式陀螺仪压电棒式振动陀螺仪声表面波振动陀螺仪2）转子式微机械陀螺仪其转子由多晶硅制成，采用静电悬浮，并通过力矩再平衡回路测出角速度。从功能看，属于双轴速率陀螺仪或双轴角速率传感器。如静电悬浮转子陀螺仪。3）微机械加速度计陀螺仪这是由参数匹配的两个微机械加速度计作反向高频抖动而构成的多功能惯性传感器，兼有测量加速度和角速度的双重功能。角速率传感器——基本工作原理旋转刚体定轴性进动性振动刚体傅科摆角速率传感器——基本工作原理角速率传感器——读出技术读出技术压阻效应压电效应热效应电容效应电感
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