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文档简介

特征X射线通过检测分析电子束轰击样品表面所产生的特征X射线的特征能量或特征波长（分别对应电子探针能谱仪和电子探针波谱仪），对微区成分进行分析。一般在在扫描电镜的样品室配置检测特征X射线的谱仪，即可形成多功能于一体的综合分析仪器，实现对微区进行形貌（检测二次电子）、成分（检测特征X射线）的同步分析。对陶瓷等非导电体试样需进行怎样的处理才能进行形貌观察？对不导电的试样，例如陶瓷、玻璃、有机物等， 在电子探针的图像观察、成分分析时，会产生放电、电子束漂移、表面热损伤等现象，使分析点无法定位、图像无法法聚焦。大电子束流时，有些试样电子束轰击点会产生起泡、熔融。因此， 为了使试样表面具有导电性，必须在试样表面蒸镀一层金或者碳等导电膜，镀膜后应马上分析，避免表面污染和导电膜脱落。

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