振镜延时的调节和现象

1、振镜延时的原理与调节一共有5种延时分别为 开光延时，关光延时，跳转延时，扫描延时，曲线延时 下面分别介绍Laser On Delay（开光延时）下面称 LOnDa. LOnD的作用原理和发生时间LOnD发生在开光时当振镜到达指定位置后开始Mark运动，但并不同时出光而是延时LOnD后出光示意图出光MARK开光延时图1开光延时这个值可以设为负值当设置为负值 表示当振镜到达指定位置后先出光LOnD后再开始Mark运动b.设置值的单位这个值 在Scanlab和Raylase单位都为微妙（us）但是 在Raylase中 此值的绝对值不能低于 50,在Scanlab 无此限制c.设置过大或者过小时的情形

2、设置LOnD过小时可以看到开光处产生了爆点（产生此情形的原因是由于振镜开始运动速度低而LOnD又过小这时候出光导致激光在开始处聚集导致爆点）图2开光延时太小设置LOnD过大时 可以看到开光处有一部分少刻了（产生此情形的原因是由于振镜开始运动而LOnD过大过了很久再出光导致激光刻蚀时已经离开开始点很远导致 有一部分少刻了 ）图3开光延时太大LOnD设置一般和激光的开光状态相关一般如果激光开光状态能量较强则LOnD设置也需要相应的增大一些Laser Off Delay（关光延时）下面称 LOffDa. LOffD的作用原理和发生时间LOffD发生在关光时当振镜刻蚀到达指定位置后要结束Mark运动，

3、但并不同时关光而是延时LOffD后关光示意图关光Mark关光延时图4 关光延时这个值可以设为负值当设置为负值 表示当振镜还未到达指定位置前LOffD的时候 已经将光关闭 即提前关光b.设置值的单位这个值 在Scanlab和Raylase单位都为微妙（us）但是 在Raylase中 此值的绝对值不能低于50,在Scanlab 无此限制c.设置过大或者过小时的情形设置LOffD过小时可以看到关光处少刻了一段（产生此情形的原因是由于振镜结束运动时由于指令和运动有时间差，即指令认为已经到位但实际还未到到位，而LOffD又过小这时候关光导致激光在结束处少刻一段）图5关光延时太小设置LOffD过大时可以看

4、到关光处产生爆点（产生此情形的原因是由于振镜结束运动时，振镜已经到位，而LOffD又过大这时候还未关光导致激光在结束处产生爆点）图6关光延时太大LOffD的设置一般和扫描速度相关一般扫描速度越大则LOffD也需要越大Jump Delay（跳转延时，快跳延时）下面称 JumpDa. JumpD的作用原理和发生时间JumpD发生在振镜跳转后当振镜跳转到指定位置后延时JumpD的时间再开始别的运动示意图图7 跳转延时这个值不可以设为负值b.设置值的单位这个值在Scanlab中单位为10微妙（10us） 即设置1代表10us最小可设0在Raylase中 单位为微妙（us）即设置1代表1us 但是最小值

5、是 50c.设置过大或者过小时的情形设置JumpD 过小时 可以看到在 Jump后的下一段运动开头时有不稳定的现象产生（产生此情形的原因是由于振镜结束Jump运动时，振镜电机还未稳定,而JumpD又过小这时候下一段运动时振镜还在不稳定状态 导致此现象发生）图8跳转延时太小设置JumpD过大时 不会有不稳定的现象产生但是会影响效率JumpD的设置一般和振镜快跳速度相关一般的如果振镜跳转速度越大则JumpD也需要越大Mark Delay（扫描延时）下面称 MarkDa. MarkD的作用原理和发生时间MarkD发生的条件是：在Mark指令后 下一条是Jump指令它在Mark指令后会产生MarkD,

6、即振镜刻蚀到指定位置后延时MarkD的时间再开始跳转指令连续的Mark指令之间不会产生 MarkD示意图JumpMark图9扫描延时这个值不可以设为负值b.设置值的单位这个值在Scanlab中单位为10微妙（10us） 即设置1代表10us最小可设0在Raylase中 单位为微妙（us）即设置1代表1us 但是最小值是 50c.设置过大或者过小时的情形设置MarkD太小时可以看到还没到刻蚀的终点位置就直接开始下一段 Jump运动了导致关光处出现拐角（产生此情形的原因是由于振镜理论位置和实际位置存在时间差，理论上运动已经到位 但实际还未到位，而MarkD又过小 这时候下一段Jump运动 已经开始

7、导致此现象发生）图10扫描延时太小设置MarkD过大时不会有不稳定的现象产生但是会影响效率MarkD的设置一般和振镜扫描速度相关一般的如果振镜扫描速度越大则MarkD也需要越大Poly Delay（拐角延时,转角延时，曲线延时）下面称 PolyDa. PolyD的作用原理和发生时间PolyD发生连续Mark指令之间即上一条Mark运动执行完毕后等待PolyD的时间再执行下一个 Mark运动，期间 激光不会关闭 示意图一直开光曲线延时Mark图11曲线延时这个值不可以设为负值b.设置值的单位这个值在Scanlab中单位为10微妙（10us） 即设置1代表10us最小可设0在Raylase中 单位

8、为微妙（us）即设置1代表1us 可设0，但是设置 比0大的值必须从50开始c.设置过大或者过小时的情形设置PolyD过小时可以看到在两段连续的 Mark运动之间拐角处有圆弧过渡 导致和实际需求图形不符（产生此情形的原因是由于前一段 Mark结束振镜电机还未到位而MarkD又过小 这时候下一段 Mark时振镜只能从走捷径路径导致此现象发生）图12 PolyD太小设置PolyD过大时可以看到在两段连续的Mark运动之间拐角处有爆点（产生此情形的原因是 由于前一段 Mark结束振镜电机已经到位，而PolyD又过大，这时候下一段Mark还未开始但是激光仍然在出导致爆点产生）集图12 PolyD太大PolyD的设置一般和振镜扫描速度和拐角大小相关般的如果振镜扫描速度越大拐角越大则PolyD也需要越大综合上述分析和原理我们可以得出如下延时设置必须遵循的规则LOffD LOnD（关光延时必须大于开光延时，否则在刻蚀短线段时会产生问题）MarkD LOffD -