半导体激光芯片项目环境影响报告表

1、PAGE PAGE 1 建设项目环境影响报告表（污染影响类）项目名称： 潍坊先进光电芯片研究院半导体激光芯片项目 建设单位（盖章）： 潍坊先进光电芯片研究院 编制日期 ： 2022年04月 中华人民共和国生态环境部制 PAGE 89 一、建设项目基本情况建设项目名称潍坊先进光电芯片研究院半导体激光芯片项目项目代码2110-370702-04-05-871092建设单位联系人联系方式建设地点山东省潍坊市潍城区经济开发区工业一街195号地理坐标（东经119度01分58.119秒，北纬36度44分33.316秒）国民经济行业类别光电子器件制造C3976建设项目行业类别三十六、计算机、通信和其他电子设

2、备制造业39-电子器件制造397（显示器件制造；集成电路制造；使用有机溶剂的；有酸洗的以上均不含仅分割、焊接、组装的）建设性质 MACROBUTTON UncheckIt 新建（迁建）改建技改技术改造建设项目申报情形 MACROBUTTON UncheckIt 首次申报项目不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目重大变动重新报批项目项目审批（核准/备案）部门（选填）潍坊市潍城行政审批服务局项目审批（核准/备案）文号（选填）2110-370702-04-05-871092总投资（万元）25000环保投资（万元）750环保投资占比（%）3.0施工工期8个月是否开工建设 MACROBUTTON Un

3、checkIt 否是： 用地（用海）面积（m2）22000专项评价设置情况无规划情况山东潍城经济开发区位于潍坊市西部，1993年经省政府批准为省级开发区。2005年通过国家发展改革委审核。四至范围边界为东至西外环路，南至胜利西街，西至于河镇四村、考西村、考东村、赵家村、南王家村，北至工业一街，面积为3.80km2。因城市发展需求及产业发展的需要，山东潍城经济开发区规划范围增大至24.8km2，北界为济青高速公路，东边界为西外环，南边界至胶济铁路南侧潍昌路，西边界至杏乐路。规划环境影响评价情况规划环评开展情况：已通过并展开审查规划环评文件名：山东潍城经济开发区环境影响报告书召集审查机关：山东省环

4、境保护厅审查文件名称及文号：关于山东潍城经济开发区环境影响报告书的审查意见（鲁环审字2009183号）规划及规划环境影响评价符合性分析根据山东潍城经济开发区环境影响报告书，山东潍城经济开发区产业定位以工业（机械制造、纺织服装、电子信息技术产业等）、物流、商住为主的现代化综合性经济开发区。开发区规划形成物流业、纺织服装业、电子信息技术和机械制造等主导优势产业集群。其中工业用地主要有两大片：西片北至济青高速公路、南至工业三街、西至杏乐路、东至腾飞路；东片北至济青高速公路、南至工业三街、西至彩虹路、东至西外环。工业用地面积约9.86km2。本项目行业类别为光电子器件制造C3976，属于规划产业中电子

5、信息技术产业，项目符合山东潍城经济开发区产业定位；本项目位于山东省潍坊市潍城区经济开发区工业一街195号，项目占地22000平方米，约合33亩，位于规划的工业用地东片区，属于规划的工业用地，符合山东潍城经济开发区规划。表1.1 与山东潍城经济开发区产业定位及用地规划符合性内容要求符合性分析产业定位以工业（机械制造、纺织服装、电子信息技术产业等）、物流、商住为主的现代化综合性经济开发区。属于规划产业中电子信息技术产业。工业用地规划范围西片北至济青高速公路、南至工业三街、西至杏乐路、东至腾飞路；东片北至济青高速公路、南至工业三街、西至彩虹路、东至西外环。工业用地面积约9.86km2。位于规划的工业

6、用地东片区，属于规划的工业用地。其他符合性分析1、产业政策及规划符合性根据产业结构调整指导目录（2019年本），本项目符合产业结构调整指导目录（2019年本）中第一项“鼓励类”中“二十八、信息产业”中的“21、新型电子元器件（片式元器件、频率元器件、混合集成电路、电力电子器件、光电子器件、敏感元器件及传感器、新型机电元件、高密度印刷电路板和柔性电路板等）制造”。因此，本项目属于鼓励类项目，本项目的建设符合国家产业政策。2、土地利用总体规划及城镇总体规划符合性分析本项目位于山东省潍坊市潍城区经济开发区工业一街195号。根据山东潍城经济开发区用地规划，项目所在地属于工业用地，本项目符合山东潍城经济

7、开发区土地利用规划要求。项目周边1km范围内没有历史文物古迹、风景名胜区及重要生态功能区；项目生产过程中产生的污染物均得到合理处置，污染负荷较轻，对周围环境影响较小；具有水、电及交通便利等有利条件。本项目符合潍城区城市建设总体规划要求。3、选址合理性分析本项目位于山东省潍坊市潍城区经济开发区工业一街195号，符合山东潍城经济开发区用地规划；根据潍坊市省级生态保护红线图，本项目选址位置不在生态红线保护规划的范围内。本项目厂区东临西外环，南临工业一街，西临潍坊德顺达机械有限公司，北临潍坊西北物流园。距离本项目最近的敏感点为厂区西南方向330米处西七甲张社区。周边1km范围内没有历史文物古迹、风景名

8、胜区及重要生态功能区。项目厂区周围交通便利，且周边环境较好；节省运输成本的同时也加快了项目的运作效率，有利于项目经济效益的提高；厂区远离居民区，且厂区所在地地势平坦，周边配套基础设施齐全，适宜本项目建设。4、“三线一单”符合性分析、环保部环评2016150号文“三线一单”原则表1.2 环保部环评2016150号文“三线一单”原则符合性分析分类文件要求本项目情况符合性（一）生态保护红线是生态空间范围内具有特殊重要生态功能必须实行强制性严格保护的区域。相关规划环评应将生态空间管控作为重要内容，规划区域涉及生态保护红线的，在规划环评结论和审查意见中应落实生态保护红线的管理要求，提出相应对策措施。除受

9、自然条件限制、确实无法避让的铁路、公路、航道、防洪、管道、干渠、通讯、输变电等重要基础设施项目外，在生态保护红线范围内，严控各类开发建设活动，依法不予审批新建工业项目和矿产开发项目的环评文件本项目位于山东省潍坊市潍城区经济开发区工业一街195号，本项目距离最近白浪河中游生物多样性维护生态保护红线区SD-07-B4-02西南方向8.1km处，本项目选址位置不在潍坊市生态红线保护范围内。符合强化“三线一单”约束作用（二）环境质量底线是国家和地方设置的大气、水和土壤环境质量目标，也是改善环境质量的基准线。有关规划环评应落实区域环境质量目标管理要求，提出区域或者行业污染物排放总量管控建议以及优化区域或

10、行业发展布局、结构和规模的对策措施。项目环评应对照区域环境质量目标，深入分析预测项目建设对环境质量的影响，强化污染防治措施和污染物排放控制要求根据项目所在地环境现状调查和污染物排放量计算，本项目营运后对区域内环境影响较小，并提出了相关污染防治措施和污染物排放控制要求。环境质量可以保持现有水平。符合（三）资源是环境的载体，资源利用上线是各地区能源、水、土地等资源消耗不得突破的“天花板”。相关规划环评应依据有关资源利用上线，对规划实施以及规划内项目的资源开发利用，区分不同行业，从能源资源开发等量或减量替代、开采方式和规模控制、利用效率和保护措施等方面提出建议，为规划编制和审批决策提供重要依据本项目

11、机械自动化程度高，大大降低了成本，节约资源。注重固体废物的回收循环利用，真正做到了清洁生产。因此，本项目能源、水、土地等资源消耗不会突破资源利用上线。符合环境准入负面清单是基于生态保护红线、环境质量底线和资源利用上线，以清单方式列出的禁止、限制等差别化环境准入条件和要求。要在规划环评清单式管理试点的基础上，从布局选址、资源利用效率、资源配置方式等方面入手，制定环境准入负面清单，充分发挥负面清单对产业发展和项目准入的指导和约束作用本项目不在环境准入负面清单内。符合建立“三挂钩”机制（五）加强规划环评与建设项目环评联动。规划环评要探索清单式管理，在结论和审查意见中明确“三线一单”相关管控要求，并推

12、动将管控要求纳入规划。规划环评要作为规划所包含项目环评的重要依据，对于不符合规划环评结论及审查意见的项目环评，依法不予审批。规划所包含项目的环评内容，应当根据规划环评结论和审查意见予以简化本项目环评对验收及监管计划进行了讨论及论述符合（六）建立项目环评审批与现有项目环境管理联动机制。对于现有同类型项目环境污染或生态破坏严重、环境违法违规现象多发，致使环境容量接近或超过承载能力的地区，在现有问题整改到位前，依法暂停审批该地区同类行业的项目环评文件。改建、技改和技术改造项目，应对现有工程的环境保护措施及效果进行全面梳理；如现有工程已经造成明显环境问题，应提出有效的整改方案和“以新带老”措施本项目属

13、于新建项目，且通过分析，不会对周边环境空气、水环境及声环境造成明显影响，并对可能出现的环境影响提出了相应的环保措施。符合（七）建立项目环评审批与区域环境质量联动机制。对环境质量现状超标的地区，项目拟采取的措施不能满足区域环境质量改善目标管理要求的，依法不予审批其环评文件。对未达到环境质量目标考核要求的地区，除民生项目与节能减排项目外，依法暂停审批该地区新增排放相应重点污染物的项目环评文件。严格控制在优先保护类耕地集中区域新建有色金属冶炼、石油加工、化工、焦化、电镀、制革等项目本项目采取相应的环保措施后，可以满足区域环境质量改善目标管理要求。符合由表可知，本项目的建设满足环保部环评2016150

14、号文的相关要求。、潍坊市“三线一单”生态环境分区管控方案（潍政字202115号）为加快推进潍坊市“生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线、生态环境准入清单”（以下简称“三线一单”）落地，健全国土空间开发保护制度，实施生态环境分区管控，推动形成绿色发展方式，根据山东省人民政府关于实施“三线一单”生态环境分区管控的意见（鲁政字2020269号）要求，结合我市实际，潍坊市人民政府制定了潍坊市“三线一单”生态环境分区管控方案。本项目位于山东省潍坊市潍城区经济开发区工业一街195号，位于潍城经济开发区管控单元，管控单元编号：ZH37070220007，属于：重点管控单元。表2.1 与潍坊市“三线一单”

15、生态环境分区管控方案符合性分析内容要求符合性分析生态保护红线全市陆域生态保护红线总面积为947.36km2，占全市国土面积的5.86%，包含渤海南岸滨海平原防风固沙生态保护红线、济潍山前平原水土保持生态保护红线、胶南丘陵水源涵养生态保护红线、胶潍平原水源涵养生态保护红线、鲁中山地水土保持生态保护红线。潍坊市海洋生态保护红线总面积为278.66km2，包含白浪河重要河口生态保护红线、寿光-滨海重要渔业资源产卵场生态保护红线、莱州湾单环刺螠重要渔业资源产卵场生态保护红线、胶莱河重要河口生态保护红线、昌邑滨海重要滩涂及浅海水域生态保护红线。一般生态空间面积为1416.83km2，占全市国土面积的8.

16、76%。生态保护红线数据为优化调整过程数据，后续将与正式批复的数据衔接，并相应调整一般生态空间划定方案。根据潍坊市“三线一单”生态环境分区管控方案，项目不位于潍坊市生态保护红线规划之内，本项目距离最近白浪河中游生物多样性维护生态保护红线区SD-07-B4-02西南方向8.1km处，项目选址符合山东省生态保护红线规划的要求，本项目与潍坊市生态保护红线区关系图见附图，符合相关要求。环境质量底线全市大气环境质量持续改善，全市PM2.5年均浓度达到42g/m3。水环境质量明显改善，重点河流水质优良率达到42.4%，基本消除劣类水体，县级及以上城市饮用水水源地全部达到类。近岸海域环境质量不断改善，水质优

17、良（一、二类水质）面积比例达到52.7%左右。土壤环境质量总体保持稳定，受污染耕地和污染地块安全利用得到进一步巩固提升，受污染耕地安全利用率达到92%左右，污染地块安全利用率达到92%以上。环境质量底线目标待“十四五”规划目标及省考核我市要求确定后进行相应调整。项目周边环境空气质量符合环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准要求；厂区域地表水体满足地表水环境质量标准（GB3838-2002）中的类标准；厂区域地下水满足地下水质量标准（GB/T14848-2017）类标准要求；项目周边噪声符合声环境质量标准（GB3096-2008）2类标准要求，符合相关要求。资源利用上线强化节约集约利

18、用，持续提升资源能源利用效率，水资源、土地资源、能源消耗等达到省下达的总量和强度控制目标。建立最严格的水资源管理制度，强化水资源刚性约束。全市用水总量控制在24.9亿立方米以内，万元GDP用水量比2020年下降13%，万元工业增加值用水量比2020年下降11%，农田灌溉水有效利用系数提高到0.6645。坚持最严格的耕地保护制度和节约集约用地制度，统筹土地利用与经济社会协调发展。全市耕地保有量在2020年的基础上不降低，保持在789139.00公顷以上，永久基本农田保护面积不低于663333.33公顷。严格落实能源消耗总量和强度“双控”制度，能源、煤炭消费总量完成国家、省下达目标任务，煤炭占能源

19、消费比重不断降低，新能源比重不断提高，全口径新能源开发利用占能源消费总量比重提高到10%左右，新能源发电装机容量达到550万千瓦左右。资源利用上线目标待“十四五”规划目标及省考核我市要求确定后进行相应调整。本项目所在区域已铺设自来水管网且水源充足，不开采地下水源；能源主要依托当地电网供电。项目占地已经取得了土地利用指标，土地资源消耗符合要求。因此，项目资源利用满足要求。环境准入清单全市环境管控单元分为优先保护、重点管控和一般管控3类，实施分类管控。全市陆域划定环境管控单元155个。优先保护单元19个，主要是生态空间和自然保护区、饮用水水源保护区等各类保护地分布相对集中、面积占比较大的镇（街道）

20、。该区域以绿色发展为导向，严守生态保护红线，在各类自然保护地、河湖岸线利用管理规划保护区等严格执行有关管理要求。重点管控单元80个，主要是城镇、工业园区（集聚区），人口密集、资源开发强度大、污染物排放强度高的区域。该区域重点推进产业布局优化、转型升级，不断提高资源利用效率，加强污染物排放控制和环境风险防控，解决突出生态环境问题。一般管控单元56个，为优先保护单元和重点管控单元之外的区域。该区域执行区域生态环境保护的基本要求，合理控制开发强度。全市建立“1+155”生态环境准入清单管控体系。其中，“1”为市级清单，体现全市的基础性、普适性要求；“155”为环境管控单元清单，体现管控单元的差异性、

21、落地性要求。本项目位于山东省潍坊市潍城区经济开发区工业一街195号，位于潍城经济开发区管控单元，属于：重点管控单元，管控单元编号：ZH37070220007，不属于禁止建设“十五小”项目、“新五小”项目等行业，符合相关要求。综上，本项目符合潍坊市“三线一单”生态环境分区管控方案的要求。表2.2 潍城经济开发区环境管控单元生态环境准入清单符合性分析环境管控单元名称潍城经济开发区管控单元符合性分析管控单元分类重点管控单元空间布局约束1.严格按照产业发展和工业布局规划引进项目，不得引进高污染项目。入园项目须采用国内外先进的生产工艺、设备并配套技术可靠、经济合理的污染防治措施，资源利用率、水重复利用率

22、等指标须达到清洁生产国内先进水平，并严格执行环境影响评价和“三同时”制度。2.新上项目必须符合产业政策和环保要求。鼓励发展低污染、无污染、节水和资源综合利用项目，严格控制限制类工艺和产品，不得新上、转移、生产和采用国家明令禁止的工艺和产品。禁止建设“十五小”项目、“新五小”项目以及国家明令淘汰和禁止发展的能耗物耗高、环境污染严重、不符合产业政策和市场准入条件的建设项目。3.严格禁止生产水平低、耗水量大、能耗大、环境污染严重以及严重危及生产安全、产品质量不符合国家标准、原材料和能源消耗高及国家法律法规规定的禁止投资的项目入园。禁止所有石油加工、化学原料及化学制品制造等行业项目进入。本项目符合空间

23、布局约束的要求。本项目不属于高污染项目，不属于“十五小”项目、“新五小”项目，石油加工、化学原料及化学制品制造等行业。本项目生产用水量较小，不属于水量大、能耗大、环境污染严重行业，符合相关要求。污染物排放管控1.控制机动车尾气污染控制。加强在用车管理。执行严格的淘汰制度，建立完善检查/维修制度（I/M）和建立车辆维修质量监督保证体系。实施更为严格的汽车尾气排放标准。2.加大对主要排污企业的监管力度，确保其废水达标排放。企业要积极采用先进生产工艺和废水处理工艺，减少新鲜水用量，提高水的重复利用率，降低废水外排的污染物浓度和外排量。3.控制施工场地扬尘污染，加强经济开发区绿化和道路硬化，减少扬尘污

24、染。4.完善雨、污水收集设施，并对厂区可能产生污染和无组织泄露下渗的场地进行防渗处理；严格产品的运输、储存管理，防止漏洒；在开发区内废水收集、处理与排放设施、排污管道设计、施工中严格执行高标准防渗要求。5.对固废，尤其是危险废物堆存场所要设立专门的防渗设施，不得随意堆存或排放。6.禁止向水库、渠、塘、池倾倒固体废物。禁止利用渗井（坑）、裂隙、河滩（岸）等处倾倒、贮存、处理固体废物。禁止将产生固体废物严重污染的生产设备转移给不具备合格的防治污染条件的企业或个体工商户。凡收集、贮存、运输、处理、综合利用固体废物的单位，都必须采取有效措施防止“二次污染”。本项目采用先进生产工艺和废水处理工艺，废水经

25、厂区污水处理站处理达标后，经厂区实行雨污分流，污水经市政污水管网排入上实环境城西（潍坊）污水处理有限公司处理后排入大圩河，符合相关要求。厂区内设置危废暂存库和一般固废暂存库。危险废物经危废库暂存后，委托危废资质单位处置，一般固废经暂存后，外售综合利用，符合相关要求。环境风险防控1.危险化学品装卸前后，必须对车辆和仓库进行必要的通风、清扫，装卸作业使用的工具必须防止产生火花、必须有各种防护装置。2.爆炸物品、遇湿燃烧物品、剧毒物品和一级易燃物品不能露天堆放。3.厂内设备、管道布置应按工艺要求衔接紧密，生产中应使用满足工艺要求的设备管道，并定期检修、防腐，保证完好，杜绝物料的“跑、冒、滴、漏”。4

26、.对涉及危险化学品生产区的地面要进行全面防渗处理，并在四周设围堰和收集系统，防止由于生产过程中的跑、冒、滴、漏等原因使物料渗入地下，污染地下水。危险化学品设置专门的化学品库暂存，并对化学品仓库进行防渗处理。单位每年均制定重污染天气应急预案，根据预警发布，按级别启动应急响应措施，符合相关要求。资源利用效率1.鼓励、引导使用太阳能、生物质能等可再生能源；推广节能技术，实施建筑节能和推广采暖供热系统节能措施及鼓励单位采用节能工艺，降低能耗。2.大力开展节水宣传教育，提倡节约用水，建立节水观念，推广节水器具和设备，建设节水型社会；同时强化各企业内部的清洁生产，提高水的重复利用率。本项目不属于高能耗项目

27、，不涉及高污染燃料设施，符合相关要求。5、相关环保法规政策符合性本项目与山东省20212022年秋冬季大气污染综合治理攻坚行动方案符合性分析表3 山东省20212022年秋冬季大气污染综合治理攻坚行动方案符合性分析序号方案规定符合性分析主要目标秋冬季期间（2021年10月1日至2022年3月31日），济南等13市细颗粒物（PM2.5）浓度控制目标和重度及以上污染天数控制目标见下表，青岛、烟台、威海3市达到相应年度空气质量改善目标。潍坊秋冬季空气质量改善目标PM2.5浓度58.5（g/m3），重度及以上污染天数7（天）本项目位于潍坊市潍城区。攻坚措施（一）严格“两高”项目源头防控严格环境准入，所

28、有新、改、扩建“两高”项目，必须实行产能、能源、煤炭、碳排放、污染物排放等五个减量替代。除搬迁、产能置换外，不得审批新增钢铁冶炼产能项目。新建钢铁项目投运前，用于置换的产能需同步退出。推动在建和拟建“两高”项目能效、环保水平提升，推进存量“两高”项目改造升级。本项目不属于新、改、扩建“两高”项目，符合相关要求。（二）加快推进散煤治理，开展散煤治理行动采暖期开展煤质及散煤复燃专项检查，防止散煤复烧，打击违法销售散煤行为。本项目不涉及燃煤。（三）深入开展锅炉炉窑综合整治排查抽测行动开展燃煤锅炉（含茶水炉、经营性炉灶、储粮烘干设备等燃煤设施）、炉窑排查抽测专项行动，对不能稳定达标排放的督促整改。本项

29、目不涉及锅炉炉窑。（四）扎实推进VOCs治理突出问题排查整治行动完成挥发性有机液体储罐、装卸、敞开液面、泄漏检测与修复、废气收集、废气旁路、治理设施、加油站、非正常工况、产品VOCs含量等10个关键环节排查工作。对所有排污许可重点管理企业进行检查抽测。本项目采取低温等离子+活性炭吸附装置治理措施，实现达标排放。（五）组织开展移动源多环节污染治理检查开展柴油车尾气排放抽查专项行动。全面完成国三及以下排放标准营运柴油货车淘汰任务目标，严防已淘汰车辆在城市周边、农村等地区非法营运或进入工矿企业内部使用。本项目不涉及移动源多环节污染。（六）强化秸秆禁烧管控巡查开展秋收秸秆禁烧专项巡查行动，重点紧盯极易

30、焚烧秸秆的收工时、上半夜、下雨前和播种前4个时段，加强田间地头巡逻检查，严格落实地方禁烧监管目标责任考核和奖惩制度，对秸秆焚烧问题突出的，移交有关部门严肃追责问责本项目不涉及秸秆禁烧管控（七）开展扬尘污染综合整治行动开展扬尘污染管控专项检查。建筑施工工地严格执行“六项措施”，规模以上建筑施工工地安装在线监测和视频监控设施，接入当地监管平台。本项目不涉及扬尘污染。（八）强化重污染天气应急减排措施监督检查重点行业关键数据均应纳入中控数据记录，并加强管理。依法及时启动重污染天气预警，督促减排措施落实落地。加大重污染天气应急减排监督检查力度，逐家企业核查减排措施的有效性、可操作性，确保做到真减排。/保

31、障措施加大财政政策和信贷融资支持力度，严格落实清洁取暖等各项补贴。建立以机动车排放为重点，涵盖非道路移动机械、船舶等的移动源监测体系，2021年12月底前，各市在排放控制区开展非道路移动机械排放检测，完成交通空气质量监测站点规划，推进交通空气质量和流量监测。各市加强秋冬季颗粒物组分监测和VOCs监测，按要求做好报送工作。依法将涉VOCs和氮氧化物的重点企业纳入重点排污单位名录，覆盖率不低于工业源VOCs、氮氧化物排放量的65%，重点排污单位按照规定安装、使用污染物排放自动监测设备并与生态环境部门的监控平台联网，确保正常运行。严格查处无证排污，不按证排污，通过旁路、废弃烟道等偷排直排，超标排放，

32、在线数据造假，台账弄虚作假，未安装治污设施，不正常运行治污设施，排污口不规范等行为，及时曝光违法典型案例。对2021年以来监督帮扶及各专项检查发现问题实行“拉条挂账”式跟踪管理，建立台账，制定整改方案，按要求完成整改。对机动车检测机构开展部门联合抽查，2022年3月底前，公开一批数据质量差甚至篡改、伪造数据的机构名单。二、建设项目工程分析建设内容1、建设项目概况项目名称：潍坊先进光电芯片研究院半导体激光芯片项目建设单位：潍坊先进光电芯片研究院项目性质：新建行业类别：光电子器件制造C3976建设项目环评类别：三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业39-电子器件制造397（显示器件制造；集成电路

33、制造；使用有机溶剂的；有酸洗的以上均不含仅分割、焊接、组装的）法人代表：张镭联系人：张设地点：山东省潍坊市潍城区经济开发区工业一街195号建设情况：潍坊先进光电芯片研究院是于2020年10月在潍坊市潍城区行政审批服务局注册成立的事业单位，法人：张镭，统一社会信用代码：12370702MB28507541。通讯地址：山东省潍坊市潍城区经济开发区工业一街195号，主要经营范围：开展光/电子芯片领域产业技术原始性创新、系统集成创新和工程化、产品化验证,建设成为国内领先、世界一流的高端光/电子芯片研发及科研成果转化基地,孵化一批高科技企业,引领地方形成以光/电芯片为核心的产业

34、集群,力争成为山东省光/电子芯片大产业的孵化器和助推器。该单位根据市场的需求和企业发展规划的需要，针对半导体激光芯片的市场行情，为满足市场对半导体激光芯片的需要，拟投资25000万元在山东省潍坊市潍城区经济开发区工业一街195号（中心坐标东经119度01分58.1195秒，北纬36度44分33.3166秒），利用现有闲置厂房，建设“潍坊先进光电芯片研究院半导体激光芯片项目”。项目建成后，可达年产50万只激光芯片、20万只巴条、0.5万只模块的生产能力。建设内容及规模：本项目总投资25000万元，用地面积22000平方米，总建筑面积13716.19平方米，其中包括生产车间4200平方米、动力车间

35、1583.19平方米、展厅3266平方米、化学品仓库183平方米、办公楼4284平方米；购置光刻机、刻蚀机、金属蒸发设备、镀膜设备等设备共计580台套，项目建成后，可达年产50万只激光芯片、20万只巴条、0.5万只模块的生产能力。2、项目组成本项目组成见表3。表3 项目组成一览表工程类别单项工程名称数量工程规模及内容主体工程生产车间1座1F，建筑面积4200m2，主要用于半导体激光芯片的生产，设置光刻机、刻蚀机、金属蒸发设备、镀膜设备等设备。建成后，可达年产50万只激光芯片、20万只巴条、0.5万只模块的生产能力。动力车间1座1F，建筑面积1583.19m2，车间内设置1座冷冻机房、1座配电室

36、、1座纯水站、1座锅炉房、1座污水处理站。冷冻机房：设置3座冷却水塔用于刻蚀、氧化层、镀膜等工序设备降温。配电室：设置SCB10-1600KVA变压器2台，年用电量450万kwh。纯水站：设置1套纯水制备装置，用于制备生产用纯水。锅炉房：设置2台1.05MW(约1.5t/h)真空热水机组（一用一备），输出热水60，用于冬季供暖。污水处理站：建设1座污水处理站，设计处理能力50m3/d。储运工程化学品仓库1座1F，建筑面积183m2，位于厂区西南角，主要用于存放化学品原料。车间库房1座位于生产车间的东北角，用于对部分原料进行暂存。辅助工程展厅1座1F，建筑面积3266m2，用于产品的对外展览和参

37、观。办公楼2座1座3F，建筑面积2215m2；1座2F，建筑面积2069m2。主要用于职员的办公生活。公用工程供电由市政供电线路供电供热设置2台1.05MW(约1.5t/h)真空热水机组（一用一备），输出热水60，用于冬季供暖。供水由市政供水管网供给排水含砷废水经收集池单独收集处理达标后，与其他生产废水一起经厂区污水处理站处理后，排入污水管网；生活污水经厂区化粪池预处理后，与生产废水一起经市政污水管网排入上实环境城西（潍坊）污水处理有限公司处理后，排入大圩河。环保工程废气治理有机废气：集气罩+低温等离子+活性炭吸附装置+25m高排气筒DA001；酸性废气：集气罩+碱式喷淋塔+25m高排气筒DA

38、002天然气燃烧废气：低氮燃烧器+15m高排气筒DA003通过车间密闭，增加设备局部密闭罩，减少车间无组织废气逸散等。废水治理污水处理站、化粪池等噪声治理减震垫、消声器、吸声、隔声等固废治理1座30m2危废暂存库，1座30m2固废暂存间等4、产品方案产品方案见表4。表4 项目产品方案一览表序号产品名称产品型号年生产能力主要用途备注1激光芯片波长范围0.75-1.06um;功率0.5W-30W50万只用于通讯和互联网激光装置单个激光芯片2巴条激光芯片条20万只未切割的激光芯片条3模块功率50W-200W0.5万只激光芯片组装芯片模块5、主要生产设备本项目主要生产设备见表5。表5 主要生产设备一览

39、表序号设备名称规格型号数量（台/套）用途1半自动涂胶机组合件1光刻2冷热复合盘组合件1光刻3光刻机组合件2光刻4半自动显影机组合件1光刻5洁净烘箱组合件1光刻6烘箱组合件1涂胶烘干7冰箱520WDPD1光刻8干燥柜组合件1光刻9金相显微镜组合件1光刻10P系列轮廓膜厚仪组合件1光刻11低温恒温槽组合件1光刻12数控超声波清洗器组合件1清洗工序13精密双脉冲电镀电源机组合件1光刻14热氮烘干机组合件1烘干工序15垂直流单人净化工作台组合件1清洗工序16晶圆金属腐蚀和光刻版清洗机组合件1清洗工序17晶圆腐蚀清洗机组合件1清洗工序18辅助清洗机组合件1清洗工序19打码机组合件1光刻20恒温电热板组合

40、件1光刻21电子天平组合件2光刻22高拍仪组合件1光刻23ICPCVD（氧化层）组合件1氧化层沉积工序24ICP刻蚀装置组合件2刻蚀工序25PECVD氧化层沉积组合件1氧化层沉积工序26椭偏仪组合件1刻蚀工序27PVD磁控溅射组合件1P面金属沉积工序28复合蒸发装置组合件1N面金属沉积工序29合金退火炉组合件1金属退火工序30测厚仪组合件1抛光工序31自动粘蜡机组合件1抛光工序32精密系统组合件1抛光工序33精密抛光系统组合件1抛光工序34去蜡脱离清洗机组合件1清洗工序35晶圆去蜡清洗机组合件1清洗工序36烘干机组合件1烘干工序37电子束蒸发设备6001镀膜工序38电子束蒸发设备9001镀膜工

41、序39分光测试仪组合件1镀膜工序40排巴机组合件1镀膜工序41超声波清洗机组合件1清洗工序42烤箱组合件1烘干工序43辅助清洗机组合件3清洗工序44清洗机组合件1清洗工序45数控超声波清洗机组合件1清洗工序46陶瓷划片机组合件1封装47加热台组合件2封装48易燃物品储存柜902封装49酸碱柜090P1封装50测试设备组合件1封装51信号发生器组合件1封装52示波器组合件1封装53直流电源组合件2封装54激光光束测量仪组合件1封装55脉冲电源组合件1封装56直流电源组合件1封装57点胶机5000XII1封装58紫外光灯1021封装59360光学显微镜组合件1封装60积分球组合件1封装61半导体激

42、光参数测试仪组合件1封装62脉冲电源组合件1封装63直流电源组合件1封装64倒装焊贴片机组合件3封装65划片机组合件2封装66划片机半自动1封装67裂片机半自动1封装68扩膜机K801封装69自动贴片机组合件2封装70自动焊线机组合件1封装71手动焊线机组合件3封装72推拉力测试机组合件1封装73烘箱组合件1封装74Bar综合性能测试机组合件1封装75COS综合性能测试机组合件3封装76金相显微镜组合件1封装77精密净化交流稳压电源组合件2封装78手动贴片机/2封装79等离子清洗机组合件1封装80真空封装炉组合件2封装81高真空热阻蒸发薄膜沉积系统组合件1封装82巴条封装系统组合件1封装工序8

43、3巴条测试系统组合件1测试工序84常压无水汽手套箱组合件1测试工序85高低温循环箱组合件1测试工序86综合老化机组合件1测试工序87COS老化系统组合件2测试工序88大功率半导体激光器件老化寿命测试机组合件2测试工序89COS老化机组合件2测试工序90MCC在线寿命测试系统组合件1测试工序91光学耦合组合件3耦合工序92高频点焊机/1封装工序93氦质谱检漏仪/1封装工序94高温试验箱/1封装工序95手动球焊机手动1封装工序96手动楔焊机手动2封装工序97显微镜组合件57辅助设备98水冷机组合件41辅助设备99排风工作台组合件7辅助设备100光学平台组合件18辅助设备101超声波清洗机组合件9辅

44、助设备102探头组合件20辅助设备103表头组合件14辅助设备104不锈钢工作桌组合件74辅助设备105组合不锈钢工作桌组合件79辅助设备106物料柜组合件36辅助设备107电子防潮柜组合件18辅助设备108防静电椅子组合件80辅助设备109冷却水塔/3设备降温110真空热水机组1.05MW(60)2（一用一备）冬季供暖111纯水制备设备CS-21001制备纯水合计580台套6、主要原辅材料本项目所需主要原辅材料见表6.1，原辅材料理化性质见表6.2。表6.1 主要原辅材料消耗一览表序号物品名称规格型号主要成分包装方式规格储存场所位置年用量年最大存储量用途1化合物半导体晶圆3英寸砷化镓1片/盒

45、车间库房960片960片原料2化合物半导体晶圆4英寸砷化镓1片/盒车间库房180片180片原料3化合物半导体外延片3英寸砷化镓1片/盒车间库房444片444片原料4光刻胶AZ（14cp）乳酸乙酯、乙酸正丁酯4L/桶车间库房16L16L涂胶5黏附剂/六甲基二硅氮烷4L/桶车间库房4L4L涂胶6显影液/氢氧化钾四甲基氢氧化铵20kg/桶车间库房100kg100kg显影7去胶液N-甲基-烷酮4L/瓶装化学品仓库1550L1550L清洗8金属膜材料钛铂金锗等合金材料99.99%钛铂金锗等合金材料真空袋车间库房4162g4162g金属沉积9抛光布垫300mm盒车间库房30张30张抛光10去蜡液5L分散剂

46、，加氢处理烷烃5L/桶车间库房790L790L清洗11抛光液2L氧化铝2L/桶车间库房33桶33桶抛光12抛光粉5KG氧化铝粉5KG/桶车间库房22桶22桶抛光13二氧化硅粉料SiO2粉末SiO2真空包装车间库房24kg24kg氧化层14氧化钛膜料粉末TiO2真空包装车间库房24kg24kg镀膜15硅环硅真空包装车间库房52个52个镀膜16氧化铝Al2O3真空包装车间库房12kg12kg镀膜17铟5N/5N5/6N/6N5铟单质500g/袋车间库房21kg21kg封装18金丝线99.99%金单质1卷/袋车间库房32kg32kg封装19铝丝99.99%铝单质1卷/袋车间库房3kg3kg焊接20焊

47、丝焊丝合金1卷/袋车间库房22kg22kg焊接21铜箔0.1mm铜铜单质1卷/袋车间库房1卷1卷封装22镀金铜带铜渡金铜单质、金单质、氮化铝1000支/袋车间库房1万支1万支封装23覆铜板铜铜单质100个/袋车间库房1000个1000个封装24热沉铜、金铜单质、金单质10个/袋车间库房4.6万个4.6万个封装25热沉）铜铜单质500支/盒车间库房1万个1万个封装26氮化铝热沉氮化铝陶瓷铜单质、金单质、氮化铝49支/盒车间库房4000个4000个氧化层27电极片/负极上盖/N面电极铜镀金铜单质、金单质100支/袋车间库房4.4万个4.4万个封装28氮化铝陶瓷片氮化铝氮化铝100片/袋车间库房10

48、00片1000片封装29铜丝转接电极铜铜单质100个/袋车间库房1000个1000个封装30双通六角铜柱铜铜单质100个/袋车间库房1000个1000个封装31螺栓304不锈钢不锈钢500个/袋车间库房1000个1000个封装32十字圆头螺丝M3*8(不锈钢)不锈钢500个/袋车间库房1000个1000个封装33尼龙T型垫柱尼龙尼龙500个/袋车间库房1000个1000个封装34绝缘贴10.8mm/1000个/袋车间库房4.2万个4.2万个封装35蓝膜PPPVC1卷/袋车间库房3卷3卷封装36白膜PPPVC1卷/袋车间库房1卷1卷封装37劈刀陶瓷氧化铝10支/盒车间库房72支72支封装38包装

49、盒PPPVC25个/袋车间库房1000个1000个封装39PAK盒2寸PVC25个/盒车间库房700个700个封装40标签纸纸张，不干胶1卷/盒车间库房3卷3卷封装41管壳单管/九管/3管/14管/捆绑铜包装盒车间库房4.3万只4.3万只耦合42透镜石英包装盒车间库房6.2万个6.2万个耦合43光纤30/150105/125石英包装盒车间库房3.6万根3.6万根耦合44UV胶788-2环氧树脂包装盒特种冷柜600管600管耦合45光纤垫块28*13mm铜包装盒车间库房600个600个耦合46电极10*2陶瓷包装盒车间库房600个600个耦合47陶瓷片112*112*0.5陶瓷包装盒车间库房60

50、0片600片耦合48限位环0.93铜包装盒车间库房3.6万个3.6万个耦合49套筒11.4铜包装盒车间库房3.6万个3.6万个耦合50陶瓷插芯255,440陶瓷包装盒车间库房1.8万个1.8万个耦合51管盖14*8.5钢包装盒车间库房3.6万个3.6万个耦合52管嘴/钢包装盒车间库房600个600个耦合53MPD1*1mm铜包装盒车间库房0.6万个0.6万个耦合54热敏电阻DFA-B103F6E铜包装盒车间库房0.6万个0.6万个耦合55捆绑管盖13*8mm钢包装盒车间库房0.6万个0.6万个耦合56乙醇99.80%无水乙醇5L/瓶化学品仓库3000L3000L清洗57硝酸70%硝酸5L/瓶化

51、学品仓库300L300L刻蚀58磷酸85.00%磷酸5L/瓶化学品仓库200L200L刻蚀59盐酸36.5%盐酸5L/瓶化学品仓库60L60L刻蚀60双氧水30%过氧化氢5L/瓶化学品仓库50L50L刻蚀61甲醇99.90%甲醇5L/瓶化学品仓库60L60L刻蚀62氢氟酸40%氢氟酸5L/瓶化学品仓库30L30L刻蚀63丙酮99.80%丙酮5L/瓶化学品仓库3000L3000L清洗64氢氧化钠固体氢氧化钠15kg/桶化学品仓库150kg150kg碱式喷淋塔表6.2 原辅材料理化性质一览表原料名称理化性质硝酸纯硝酸为无色透明液体，浓硝酸为淡黄色液体(溶有二氧化氮)，正常情况下为无色透明液体。有窒

52、息性刺激气味。浓硝酸含量为68%左右，易挥发，在空气中产生白雾，是硝酸蒸汽与水蒸汽结合而形成的硝酸小液滴。露光能产生二氧化氮而变成棕色。有强酸性。能使羊毛织物和动物组织变成嫩黄色。能与乙醇、 HYPERLINK /doc/1727134-1825965.html t /doc/_blank 松节油、碳和其他有机物猛烈反应。能与水混溶。能与水形成 HYPERLINK /doc/6893836-7111402.html t /doc/_blank 共沸混合物。相对密度1.41，熔点-42(无水)，沸点120.5(68%)。无水乙醇乙醇是一种 HYPERLINK /view/14997.htm t

53、_blank 有机物，俗称 HYPERLINK /view/1722.htm t _blank 酒精， HYPERLINK /view/801003.htm t _blank 结构简式C2H5OH，是带有一个 HYPERLINK /view/27034.htm t _blank 羟基的 HYPERLINK /view/9181873.htm t _blank 饱和一元醇。乙醇在 HYPERLINK /view/63153.htm t _blank 常温、 HYPERLINK /view/1105384.htm t _blank 常压下是一种 HYPERLINK /view/1249327.ht

54、m t _blank 易燃、易 HYPERLINK /view/379706.htm t _blank 挥发的无色透明液体，无毒，浓度低可饮用；具有特殊香味，并略带刺激；微甘，并伴有刺激的辛辣滋味。乙醇液体 HYPERLINK /view/38960.htm t _blank 密度是0.78910kg/m(20) ，乙醇气体密度为1.59103kg/m，沸点是78.3，熔点是-114.1，易燃，其蒸气能与空气形成 HYPERLINK /view/3847193.htm t _blank 爆炸性混合物，能与水以任意比互溶。能与 HYPERLINK /view/27713.htm t _blank

55、 氯仿、 HYPERLINK /view/15924.htm t _blank 乙醚、甲醇、 HYPERLINK /view/52518.htm t _blank 丙酮和其他多数 HYPERLINK /view/435064.htm t _blank 有机溶剂混溶， HYPERLINK /view/279515.htm t _blank 相对密度(d15.56)0.816。乙醇的用途很广，可用乙醇制造 HYPERLINK /view/106631.htm t _blank 醋酸、 HYPERLINK /view/70238.htm t _blank 饮料、 HYPERLINK /view/21

56、258.htm t _blank 香精、染料、燃料等。医疗上也常用 HYPERLINK /view/1028522.htm t _blank 体积分数为70%75%的乙醇作 HYPERLINK /view/434135.htm t _blank 消毒剂等，在 HYPERLINK /view/37542.htm t _blank 国防工业、 HYPERLINK /view/3073272.htm t _blank 医疗卫生、 HYPERLINK /view/45367.htm t _blank 有机合成、 HYPERLINK /view/936111.htm t _blank 食品工业、工农业生

57、产中都有广泛的用途。磷酸磷酸或正磷酸，化学式H3PO4，分子量为97.9724，是一种常见的 HYPERLINK /doc/6275961-6489395.html t /doc/_blank 无机酸，是 HYPERLINK /doc/7777042-8051137.html t /doc/_blank 中强酸；三元 HYPERLINK /doc/7777042.html t /doc/_blank 中强酸，分三步 HYPERLINK /doc/989699.html t /doc/_blank 电离，不易 HYPERLINK /doc/6255410.html t /doc/_blank 挥

58、发，不易分解，几乎没有 HYPERLINK /doc/2573201.html t /doc/_blank 氧化性。具有 HYPERLINK /doc/6795305.html t /doc/_blank 酸的通性盐酸盐酸分子式HCl，相对分子质量36.46。盐酸为不同浓度的氯化氢水溶液，呈透明无色或黄色，有刺激性气味和强腐蚀性。易溶于水、乙醇、乙醚和油等。浓盐酸为含38%氯化氢的水溶液，相对密度1.19，熔点-112沸点-83.7过氧化氢过氧化氢 HYPERLINK /doc/804239-850746.html t /doc/_blank 化学式为H2O2，因有两个O，故俗称 HYPERL

59、INK /doc/5382657-5619028.html t /doc/_blank 双氧水.外观为无色透明液体，是一种 HYPERLINK /doc/6298092-6511615.html t /doc/_blank 强氧化剂，其水溶液适用于医用伤口消毒及环境消毒和食品消毒。在一般情况下会分解成水和氧气，但分解速度极其慢，加快其反应速度的办法是加入催化剂二氧化锰或用短波射线照射。分解之后会生成氧气和水.是初中化学中生产车间制氧气的一个重点.但过氧化氢也是世界卫生组织公布的致癌物.水溶液为无色透明液体，溶于水、醇、乙醚，不溶于苯、石油醚。纯过氧化氢是淡蓝色的粘稠液体，熔点-0.43 C，沸

60、点150.2 C，纯的过氧化氢其分子构型会改变，所以熔沸点也会发生变化。凝固点时固体密度为1.71g/，密度随温度升高而减小。它的缔合程度比H-O大，所以它的介电常数和沸点比水高。纯过氧化氢比较稳定，加热到153 C便猛烈的分解为水和氧气，值得注意的是，过氧化氢中不存在分子间氢键。过氧化氢对有机物有很强的氧化作用，一般作为氧化剂使用。甲醇甲醇又称羟基甲烷，是一种有机化合物，是结构最为简单的饱和一元醇，其化学式为CH3OH/CH4O，其中CH3OH是结构简式，能突出甲醇的羟基，CAS号为67-56-1，分子量为32.04，沸点为64.7。1.性状：无色透明液体，有刺激性气味。2.熔点（）：-97