研究生开题答辩汇编资料

1、 压电式MEMS传感器 的稳健设计(shj)研究学生(xu sheng)：导师：北方工业大学共十七页目录(ml)国内外研究现状2研究内容和研究方案 4研究背景31研究目的和意义33工作进度安排35预期研究成果6课题重点难点和创新37NCUT共十七页研究(ynji)背景1962年，第一个硅微型压力(yl)传感器的问世。 MEMS传感器体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成以及耐恶劣工作环境等优势。 MEMS 传感器已得到消费电子产品、汽车工业、航空航天、机械、化工及医药等各领域的青睐。MEMS又被称为微机电系统，是在微机械加工技术提高和集成电路制造技术进步的基础上发展起来的新技术。

2、MEMS主要由控制电路、供电电源、通信通道、微传感器、微执行器等组成。而MEMS传感器是MEMS器件的主要组成部分。NCUT共十七页研究(ynji)背景稳健设计（Robust Design）是对产品质量、性能(xngnng)、成本进行综合考虑从而获得高质量、高性能(xngnng)、低成本的现代设计方法。MEMS系统传统机械设计理论现代设计方法PK不仅是尺度上的微型化，本质上也有着不同。NCUT共十七页国内外研究(ynji)现状应用如下：微型加速度计微型压力传感器数字微镜器件(DMD)喷墨打印机的微喷嘴生物芯片等 最近，美国朗讯公司开发(kif)的基于MEMS光开关的路由器己经试用。 近年来国际

3、上MEMS的专利数正呈指数规律增长，说明MEMS技术全面发展和产业快速起步的阶段己经到来。MEMS器件及其稳健设计的研究现状 目前对于MEMS传感器的稳健设计类的论文，可查阅到的国内外文献较少。采用实验设计（DOE ）和响应曲面模型（RSM ）方法研制微执行器和硅基微通道热沉利用田口法进行石英晶体微天平和加速度传感器的稳健设计利用容差法对微机械陀螺的稳健设计可用于MEMS 器件设计的基于目标函数梯度分析的稳健设计方法和基于器件解析模型的稳健设计。NCUT共十七页国内外研究(ynji)现状数字化无源化新型材料高精度和高可靠性智能化网络化等NCUTMEMS传感器发展趋势共十七页国内外研究(ynji

4、)现状清华大学精仪系研制了一种微型集成自适应加速度测试仪，已成功应用于加速度实验演示系统中。但国内现在生产的一些MEMS产品普遍存在精度不高、性能达不到预期(yq)效果和质量不够稳定等缺陷。NCUT共十七页课题(kt)来源国家自然科学基金项目：(编号:51375017)“基于多铁纳米纤维的微传感器的稳健设计理论与方法研究主要研究内容：多铁纳米纤维微传感器的稳健设计理论、工作(gngzu)原理、结构设计、加工工艺及制备NCUT共十七页研究目的(md)和意义建模稳健设计理论提高质量及其稳定性丰富和完善MEMS设计理论压电式MEMS传感器NCUT共十七页研究内容(nirng)和研究方案 NCUT共十

5、七页研究内容(nirng)和研究方案 原理(yunl)和性能分析稳健设计研究仿真和实验验证1、设计原理2、结构设计3、MEMS建模4、仿真分析1、功能因素分析2、稳健设计建模3、仿真计算1、原始设计方案与稳健设计方案结果对比分析2、基于不同模型的稳健设计方案结果对比分析NCUT共十七页研究(ynji)内容和研究(ynji)方案 NCUT共十七页工作进度安排(npi) 2015.102016.6MEMS压力传感器原理和性能分析，MEMS建模进行仿真，分析影响传感器特性的主要结构尺寸和性能参数，对影响MEMS传感器特性的各个参量进行分析和归类。2016.62016.12研究基于随机模型和容差模型的

6、MEMS压力传感器稳健设计建模方法，对MEMS压力传感器稳健设计模型进行仿真计算，并进行仿真验证和实验验证，验证理论修正结果。2017.12017.5撰写论文，总结研究成果，修改完善论文，做好毕业论文答辩准备。NCUT共十七页预期(yq)研究成果 成果(chnggu)1成果2成果3 MEMS模型、仿真分析和功能因素MEMS稳健设计模型、仿真计算和验证稳健设计结果丰富MEMS设计理论和方法NCUT共十七页课题(kt)重点难点和创新重点(zhngdin)功能因素分析随机模型和容差模型压电式MEMS传感器稳健设计方法创新PZT纳米纤维和BFO压电薄膜材料宏观稳健设计应用于MEMS传感器的设计中难点纳米纤维和压电薄膜MEMS建模及仿真分析压电式MEMS传感器稳健设计建模NCUT共十七页敬请各位老师(losh)批评指正Thank You !北方工业大学共十七页内容摘要压电式MEMS传感器 的稳健设计研究。压电式MEMS传感器 的稳健设计研究。北方工业大学。MEMS传感器体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成以及耐恶劣工作环境等优势。MEMS 传感器已得到消费(xiofi)电子产品、汽车工业、航空航天、机械、化工及医药等各领域的青睐。MEMS又被称为微机电系统，是在微机械加工技术