MAU系统培训教材

1、目录一、作用及重要性二、结构原理说明三、系统概况四、操作说明五、保养说明六、常见故障分析一、作用及重要性一、作用及重要性1. 为洁净间提供新风，保证室内正压.。2. 夏季除湿，冬季加湿，保证洁净间湿度相对稳定。3. 补充制程排气。4. 为洁净室内人员补充新风。5. 带走部分洁净室内设备发热量。1.1 作用1.2 重要性MAU控制不好，洁净间湿度无法保证，直接影响产品良率二、结构原理说明二、结构原理说明（1）、进风段（2）、初效过滤器：G4,80%5m（3）、预加热段：中温水回水（21/14）（4）、中间段：操作间，带检修门，带灯（5）、一级加热段：热水进出水温（34/24）（6）、中间段：操作

2、间，带检修门，带灯（7）、一级表冷段：冷冻水进出水温（14 /21 ） 带挡水板，滴水盘（8）、加湿段（9）、二级表冷段：冷冻水进出水温（7 /14） 带挡水板，滴水盘（10）、风机段：直联变频离心风机，机组出口余压800pa（11）、均流段：带均流板，操作间，带检修门，带灯（12）、二级加热段：热水进出水温（34/24）（13）、化学过滤段（仅1#西侧MAU机组预留）（14）、中间段：操作间，带检修门，带灯（15）、中效过滤段： F9,95%1m（16）、高效过滤段：H13，99.97%0.3 m（17）、出风段：带检修门，带灯2.1 MAU段位说明二、结构原理说明2.2 MAU各段位作用（

3、1）、进风段：吸入外气（2）、初效过滤器主要是将外部灰尘及异物过滤，而干净空气则通过过滤效率为80（3）、预加热段：夏天关闭，冬天打开，DCC回水进入预热盘管，提高外气进风温度同时降低中温水回水温度。（5）、一级加热段：主要功能是将空气之干球温度提高达到预定温度( 一般而言是18 22 ) ，以便于Air Washing时补充不足水分达到湿度要求 (此功能于冬天较明显)。（7）、一级表冷段：夏季降温除湿。（8）、淋水室： 1)空气加湿：补充不足水分达到湿度要求 2)洗涤空气：因空气有些杂质可以藉由此种方式洗涤干净, 为此种方式PUMP必须24Hr运转。（9）、二级表冷段：除湿到要求的露点温度。

4、（10）、风机段：提供设计要求之风量和克服空气于风管中运转之静压。（12）、二级加热段：主要功能是将空气之干球温度提高达到预定温度( 一般而言是18 22 ) 。（13）、化学过滤段：过滤AMC污染物。（15）、中效过滤段：主要是将初效过滤后的干净空气再过滤,此过滤效率为95（16）、高效过滤段：将中效过滤后干净空气再过滤至 0.3um 以下,此过滤效率为99.97，确保因空调箱产生Particle于进入洁净室前完全过滤达到制程要求。（17）、出风段：把处理后的新风送出以夏季干球温度35.5 相对湿度49.3%为例35.5/49.3%18/100%一级表冷段喷淋段13.3/100%二级表冷段1

5、9/70%二级加热段1二、结构原理说明2.3 MAU夏季空气处理过程23451-2：空气进入一级表冷盘管达到降温除湿作用2-3：AIR Waher除尘3-4：进入二级表冷盘管除湿降温，以达到需要的送风露点4-5：进入二级加热盘管加热，以保证设定的送风温度2.2/83%预热段10/48.3%24/20%一级加热段喷淋段14/97%二级加热段19/70%二、结构原理说明2.4 MAU冬季空气处理过程以冬季干球温度2.2 相对湿度83%为例1-2：空气进入预热盘管加热2-3：进入一级加热盘管再热3-4：进入喷淋段加湿，以达到需要的送风露点4-5：是进入二级加热盘管加热，以保证设定的送风温度12345

6、二、结构原理说明2.5 控制逻辑说明调节二级加热阀门控制供风温度但实际露点低于设定露点时，调节一级加热段阀门、加湿器段热水阀门控制供风露点；当实际露点高于设定露点时，调节 二级表冷段阀门控制供风露点调节一级表冷阀门控制表冷后（或加湿后）温度三、系统概况建筑服务对象设备数量单台风量系统总风量备注1#Array二层8台100000800000不包括二阶段设备Array四层8台100000800000不包括二阶段设备2#CF分厂10台1200001200000不包括二阶段设备，有5台在四层Cell分厂5台120000600000不包括二阶段设备3#一层模组前工程、背光源1台9000090000无备机

7、切换一层模组后工程1台4000040000无备机切换二层模组前工程2台70000140000无备机切换二层模组后工程2台60000120000设备在四层三层2台70000140000Cell Cutting3台80000240000不包括二阶段设备合计42台三、系统概况3.1 系统配置1#一、二层群组一：1-2-MAU-001、002、003、004群组二：1-2-MAU-005、006、007、0081-2-MAU-001、002、0031-2-MAU-0041-2-MAU-005、0061-2-MAU-007、008三、系统概况3.2 设备位置及控制区域介绍1#三、四层1-4-MAU-10

8、1、102、1031-4-MAU-104、105、1061-4-MAU-107、108群组一：1-4-MAU-101、102、103群组二：1-4-MAU-104、105、106、107、108群组二：1-4-MAU-104、105、106、107、108三、系统概况3.2 设备位置及控制区域介绍2#一、二层群组一：2-2-MAU-001、0022-4-MAU-001群组三：2-2-MAU-0052-4-MAU-002、003群组四：2-2-MAU-003、004群组二：2-4-MAU-004、0052-2-MAU-001、0022-2-MAU-0032-2-MAU-0042-2-MAU-00

9、5三、系统概况3.2 设备位置及控制区域介绍2#三、四层群组一：2-4-MAU-101、102群组二：2-2-MAU-103、104、1062-4-MAU-105（二阶段）2-4-MAU-0012-4-MAU-101、1022-4-MAU-002、0032-4-MAU-103、1042-4-MAU-004、005、006（备用）2-4-MAU-106、105（备用）三、系统概况3.2 设备位置及控制区域介绍3-1-MAU-0013-1-MAU-0023#一层3-1-MAU-001 SQE实验室3-1-MAU-001 更衣室MDC区洁净前室3-1-MAU-001MDL前工程3-1-MAU-001

10、BLU车间3-1-MAU-002MDL后工程、OQAQE预留3-1-MAU-002MDC区三、系统概况3.2 设备位置及控制区域介绍3#二层3-2-MAU-001、0023-2-MAU-001、002MDC区3-2-MAU-001、002MDL前工程3-2-MAU-001、002Rework区Eng room男更女更3-4-MAU-105、106MDL后工程3-4-MAU-105、106MDL后工程更衣室三、系统概况3.2 设备位置及控制区域介绍3-3-MAU-101、1023-3-MAU-103、1043-3-MAU-105、106全为二阶段3#建筑三层3-4-MAU-105、106QE三、

11、系统概况3.2 设备位置及控制区域介绍3-4-MAU-101、1023-4-MAU-103、104（二期）3-4-MAU-105、106（服务二、三层后工程）3#建筑四层3-4-MAU-101、1023-4-MAU-103三、系统概况3.2 设备位置及控制区域介绍四、操作说明四、操作说明4.1 开关机操作4.1.1 现场变频器开机五、保养说明五、保养说明5.1 常见保养项目序号类型保养项目标准备注1月保养运转异音检查无异音初效过滤段压差计检查无堵塞机组照明检查检修灯能正常开关2季保养新风小室检查清洁中效过滤段压差计检查无堵塞加湿器水箱清洗电机风机轴承加润滑油使用450CC黄油枪压3050次电机

12、风机震动测试6.3mm/s3半年保养高效过滤段压差计检查无堵塞机组螺栓检查紧固无松动泄水/排气阀门检查动作正常4年保养轴对中检查正常水管过滤器检查清洗清洗无堵塞板换过滤器检查清洗清洗无堵塞五、保养说明5.2 过滤器更换1. 根据预留单，到生管部门领取相应过滤器2. 关闭机组并挂维修告示牌3. 拆下四角压扣铁丝弹簧夹，拆除旧过滤器4. 换上新过滤器，并压紧四角压扣铁丝弹簧夹5.清扫箱体内部，并关紧检修门6.拆除电柜悬挂的维护保养告示牌，并把旋钮打到自动位置7.把拆下来的过滤器运至5#备件间五、保养说明5.3 电机、风机轴承加润滑油1. 根据预留单，到生管部门领取相应过滤器2. 关闭机组并挂维修告

13、示牌3. 拆下四角压扣铁丝弹簧夹，拆除旧过滤器4. 换上新过滤器，并压紧四角压扣铁丝弹簧夹5.清扫箱体内部，并关紧检修门6.拆除电柜悬挂的维护保养告示牌，并把旋钮打到自动位置7.把拆下来的过滤器运至5#备件间六、常见故障分析及措施六、常见故障分析及措施故障情况主要原因排除方法温度不降 1 、库门关不严 2 、冷风机或排管结霜太厚 3 、压缩机效率低 4 、膨胀阀调整不当或冰堵 5 、膨胀阀脏堵或过滤器污塞 6 、系统中制冷剂减少 7 、排管内壁油污 1 、调整库门缝隙 2 、融霜或除霜 3 、检修或更换 4 、重新调整或更换吸湿剂 5 、拆洗 6 、添加制冷剂 7 、用氮气冲干净排气压力过高 1 、机组冷却风量不足 2 、冷凝器污垢过厚影响散热 3 、制冷剂过多 1 、查明原因使