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文档简介

1、 第二章 带电粒子的产生 一、电子枪 二、离子源 一、电子枪(1)热发射电子枪 常用材料:钨丝,六硼化镧 方式:直热式,间热式 束流调节方法:灯丝电流,栅极电压 (2) 场致发射电子枪计算机辅助设计上海EBIT中的电子枪 离子源的分类: 按产生离子的机制分为:气体离子源 固体表面离子源 气体离子源:电子碰撞产生等离子体,引出离子,又称等离子体离子源 二、离子源1 概述气体离子源的组成: 对离子源的要求要求离子种类多、电荷态高要求离子束的强度足够大要求离子束的发射度小、亮度高、能量分散小要求离子源的寿命长要求离子源的效率高 等离子体离子源原理 等离子体:包含有带电粒子,气体分子,原子,但不存在空

2、间电荷的空间。而且由于正、负带电粒子的浓度相等,故称为等离子体。 等离子体的形成和复合 以氢分子为例,其主要电离过程有:原子和分子俘获一个电子形成负离子,因此放电室中有中性粒子、电子、正离子和负离子。电离的逆过程,称为复合。复合现象主要发生在放电室壁附近,并与壁的材料有关。金属的复合系数高于绝缘材料,因此有些离子源的放电室采用石英或优质玻璃制成。复合现象对工作状态影响不大的离子源,放电室仍由金属制成。采用附加磁场,以增加等离子体密度离子源的引出2 几种常用的等离子体正离子源(1)高频离子源放电原理:在高频源中,电子从高频电磁场中得到能量,并与气体分子碰撞使其电离,产生等离子体。优点:结构简单、

3、寿命长、工作稳定、离子含量高流强可达10mA量级常规的高频离子源在常温下只能电离气体状态的物质,因此能产生的离子种类少 高频放电是电感耦合,频率20MHz,气耗7.5mL/h,可引出500A正离子束,原子离子80%,能散4050eV (2)潘宁离子源 PIG源(Philips Ionization Gauge)放电原理 :从阴极发射出的电子在阴极和对阴极之往返的运动同时,又受到轴向磁场的约束,使电子沿轴线做螺旋运动。从而增加了与气体分子发生电离碰撞的概率。流强可达几百mA量级可以产生多电荷态的离子潘宁源有冷阴极、热阴极、电子轰击型间热阴极、弧放电加热的自热阴极等等潘宁源的引出系统有轴向和径向两

4、种,轴向引出比径向引出的离子流发射度好,流强高一个量级,但电荷态较低,而且分子态离子多,径向引出几乎没有分子态离子。放电电流700mA,可引出42mA离子束(3)双等离子体离子源电极形状使电弧放电形式的等离子体压缩一次,再由不均匀轴向磁场完成第二次压缩,从而提高了等离子体的密度。磁压缩:当电子流通过中间电极和阳极之间的非均匀轴向磁场时,再一次受到磁场的聚焦,形成对等离子体的第二次压缩机械压缩:中间电极锥形收缩的几何形状导致电子流的聚焦和进一步加速,使电离强化,形成密度较高的“等离子体泡”,也称为静电压缩三种正离子源性能比较及其应用:高频离子源:单原子离子比例大,结构简单,寿命长 输出超过10mA时散热及真空不易解决 常用于高压倍加器潘宁源:气体利用率高,功耗低,寿命长 用于回旋加速器、静电加速器、直线加速器双等源:气体利用率高,流强大,亮度大 结构复杂,寿命较短 用于要求高流强、高束流光学品质的高能加速器 串列静电加速器等3 固体表面电离源: 热表面电离离子源 溅射离子源4 其他离子源: 负离子源 多电荷(重)离子源 脉冲离子源 课后作业1)电子枪引出电压20kV ,电子横向热

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