微电子生产设备外延炉-氧化扩散退火设备-腐蚀清洗机（槽式）单机试运转及验收范例

1、微电子生产设备外延炉、氧化/扩散/退火设备、腐蚀清洗机(槽式)单机试运转及验收范例试运转前应检查以下工程，并应在符合要求后进行单机试运转：1环境洁净度等级应为5级，环境温度应为22c 0.5,相对湿度应为45%5%；2三相交流电源：AC380V10%,频率50lHz。UPS电源开启正常；3设备本体接地良好，接地电阻W1Q；4设备控制系统、气路系统、硅片传输系统、反响腔室、水冷/风冷系统、 电源柜、排气系统等均可正常运行；5二次配管系统的连接、标识、压力、阀门状态等检查正常；6驱动氮气压力应为0.50.7MPa；7普通氮气压力应为0.61.2 MPa；8工艺冷却水进回水压差应大于0.3Mpa,单

2、腔合计水流量应大于83LPM。Bubbler水流量正常，温度1820C,控温精度0.1C。干泵水流量2.53.0SLM；9所有平安互锁功能正常开启；10正常上电开机后无故障报警。验收工程应符合以下要求：1 气柜氢检漏率1E-8mbarL/s,正压漏率0.1%/h(12h,20psi)；2工艺腔、传输腔均保压合格，氢检合格；3额定风速时，上风压和下风压都应大于lOOPa；4反响腔室工艺温度控制精度满足设计要求；5传输系统稳定可靠，连续500片传送无故障，晶圆外表无划伤；6整机系统控制正常，平安防护功能正常。腐蚀清洗机（槽式）试运转前应检查以下工程，并应在符合要求后进行单机试运转：1环境洁净度等级

3、应为5级，环境温度应为22c0.5；2三相交流电源：AC380V10%,频率50lHz；3设备本体接地良好，接地电阻W1Q；4系统控制柜、化学药液供给系统、传输移载系统、加热控制系统、气路系 统、快速排气系统、排风装置等均可正常运行。5去离子水管路应采用PFA管，去离子水压力范围0.250.4Mpa,流量不小于 35L/min；6化学药液管路应采用PFA管，手阀开关位置检查正常；7排水管路应采用PFA管，管径不小于50mm；8氮气管路应采用PFA管或316Ap管，接口形式为卡套，氮气压力范围0.250.7Mpa；9去离子水自动注入功能正常；10漏液检测功能正常；11废液排放功能正常；12排风装

4、置运行正常；13所有平安互锁功能正常开启；14正常上电开机后无故障报警。验收工程应符合以下要求：1排风口直径应为50200mm,每个排风口排风量不应小于8500l_/min；2传送移载系统工作正常，机械手抖动频率应为3060次/min,可设定，抖动行程宜为10mm；3去离子水快速注入，注入完成时间不应大于150s；4去离子水快速排放，排放完成时间不应大于6s；5清洗槽加热控制系统满足设计要求；6氮气干燥系统性能满足设计要求；7整机系统控制正常，平安防护功能正常。氧化/扩散/退火设备试运转前应检查以下工程，并应在符合要求后进行单机试运转：1环境洁净度等级应为5级，环境温度应为22c 0.5,相对

5、湿度应为45%5%；2三相交流电源：AC380V10%,频率50lHz；3设备本体接地良好，接地电阻不应大于1Q；4系统控制柜、气路柜、硅片移载系统、功率控制系统、水冷系统、净化工 作台、排毒箱、排气系统等均可正常运行；5二次配管系统的连接、标识、压力、阀门状态等检查正常；6湿度传感器、室内温度传感器、风压传感器、空气质量传感器应设置合理， 工作正常；7工艺冷却水压力应为0.5MPa,流量应为510L/min；8压缩空气压力应为0.40.7MPa,流量应为1020L/min；9设备气路柜风量应为1015iT|3/min,排毒箱排风量应为8121Tl/min；10所有平安互锁功能正常开启；11正常上电开机后无故障报警。验收工程应符合以下要求：1设备的温度传感器、压力传感器、水流开关、水流