光电子能谱仪

1、光电子能谱仪光电子能谱仪成员成员:刘明，马睿，孙莹，刘明，马睿，孙莹，宫宫智超，张新月智超，张新月光电子能谱仪光电子能谱仪l一.工作原理l二.相关公司简介l三.主要品牌l四.仪器功能l五.应用领域一一.工作原理工作原理1、设备组成光电子能谱仪主要由激发源、电子能量分析器、探测电子的监测器和真空系统等几个部分组成。PHI 5800 ESCA 系统系统能量分析器能量分析器真空泵组真空泵组X X射线光源射线光源计算机处理计算机处理样品腔样品腔工作原理工作原理2、基本原理、基本原理EK=h-Eb-sp （Eb：电子结合能; sp：谱仪的功函数，一般为常数; EK：电子动能，可实验测得; h：X射线能量

2、） 2、基本原理、基本原理可见，当入射X射线能量一定，测出功函数和电子的动能，即可求出电子的结合能。由于每种元素的电子结构是独特的，计算出Eb就可以判定元素的类型,由于只有表面处的光电子才能从固体中逸出，因而测得的电子结合能必然反应表面化学成份的情况。 由激发源发出的具有一定能量的由激发源发出的具有一定能量的X射线，电子束，紫外射线，电子束，紫外光，离子束或中子束作用于样品表面时，可将样品表面原光，离子束或中子束作用于样品表面时，可将样品表面原子中不同能级的电子激发出来，产生光电子或俄歇电子子中不同能级的电子激发出来，产生光电子或俄歇电子等这些自由电子带有样品表面信息，并具有特征动等这些自由电

3、子带有样品表面信息，并具有特征动能通过能量分析器收集和研究它们的能量分布，经检测能通过能量分析器收集和研究它们的能量分布，经检测纪录电子信号强度与电子能量的关系曲线即为光电子能纪录电子信号强度与电子能量的关系曲线即为光电子能谱谱 光源（X-ray）样品电离放出光电子能量分析器检测器工作原理工作原理扫描和记录系统3、工作流程、工作流程二二.公司简介公司简介l1.赛默飞世尔科技公司l2.岛津公司l3.铂悦仪器（上海）有限公司1.赛默飞世尔科技公司赛默飞世尔科技公司赛默飞世尔科技公司赛默飞世尔科技公司 赛默飞世尔科技进入中国已30年，在上海设立中国区总部，并在北京、广州、香港、台湾、成都、沈阳、西安

4、、南京、武汉等地设立了分公司，员工人数3800 名。赛默飞在北京和上海共设立了6个应用开发中心，将世界级的前沿技术和产品带给国内客户，并提供应用开发与培训等多项服务；位于上海的中国创新中心结合国内市场的需求和国外先进技术，研发适合中国的技术和产品；赛默飞拥有遍布全国的维修服务网点和特别成立的中国技术培训团队，在全国有2000 名工程师提供售后服务。赛默飞的企业精神是建立更健康、更清洁、更安全的世界。2.岛津公司岛津公司AXIS-ULTRA DLD x射线光电子能谱仪岛津公司岛津公司 岛津公司在1956年参加了在中国北京和上海举办的日本商品展览会，自此开始了与中国的交往。1980年，岛津公司在中

5、国北京正式设立第一个办事处。在接下来的二十年间，岛津在中国迅速发展业务，在各大主要城市均设立了办事处并且业务广泛地深入到了各个相关领域和行业。 至今，岛津公司在中国已经走过了半个世纪的历程，并且在中国共设立了八个有独立法人的公司。3.铂悦仪器（上海）有限公司铂悦仪器（上海）有限公司ESCALAB 250Xi XPS 光电子能谱仪光电子能谱仪铂悦仪器（上海）有限公司铂悦仪器（上海）有限公司l 铂悦仪器自2004年成立以来，凭借与世界各大知名仪器品牌的战略合作关系，以及不断优化公司自身经营管理，提高服务质量，成为中国国内知名的仪器供应商。其所提供的产品均属于高科技行业，产品包括高精度的分析仪器、检

6、测仪器和生产仪器，以及成套的耗材和配件，这些产品广泛应用于工业、半导体、太阳能、医药、医疗器械、生物、能源、电子、石化等各个领域并服务于各大院校、研究所、检测机构、及政府部门等。l 铂悦仪器不仅拥有高品质的产品，更培养了专业的销售、技术和售后服务团队，本着客户至上的原则，从客户的实际需求出发，铂悦仪器为每一位客户量身订制最适合的综合解决方案，并提供持续而良好的售后服务，由此也获得了广大客户的信任与认可。赛默飞世尔科技公司Thermo Scientific K-AlphaApplied BiosystemsInvitrogenGibcoIon Torrent三三.主要品牌主要品牌岛津公司AXIS

7、-ULTRA DLD光电子能谱仪kratos-ultra DLD铂悦仪器（上海）有限公司ESCALAB 250Xi XPS 光电子能谱仪供应X-Supreme8000 X射线荧光光谱仪四四.功能模块功能模块 Thermo Scientific K-Alpha，一体化结构的X射线光电子能谱仪（XPS），是一款完全集成的单色化小光斑X射线光电子能谱（XPS）系统。它性能卓越，易用性提高和尺寸紧凑使得K-Alpha成为许多现有以及新研发的表面分析应用领域理想解决方案。K-Alpha是专为多用户环境推出的第一款XPS工具，从样品进入到报告生成完全实现自动化工作流程。最新版K-Alpha平台特征光谱性能

8、显著提高，提供更高计数率和更快分析时间，改善化学探测能力。分析选配件包括一个角分辨XPS倾斜模块和一个循环惰性气体手套箱，用于转移空气敏感样品。强大的性能强大的性能可选区域光谱深度剖析刻蚀微聚集单色器快照采集高分辩率化学态光绝缘样品分析定量化学成像 仪器主要功能仪器主要功能 利用光电效应的原理，测量辐射源（光子、电子、离子等）从样品上打出来的光电子的动能、强度及其角分布，从而研究原子、分子、聚集相，尤其是固体表面的电子结构等。主要功能主要功能l1 常规XPS，鉴别样品表面的元素种类、化学价态以及相对含量。双阳极XPS，更适合用于不同的特殊过渡金属元素的研究，如催化领域。l2 深度剖析XPS，结

9、合离子刻蚀技术对样品（如薄膜等）进行成分深度分布分析。通过角分辨XPS还可以进行非损伤成分深度分布分析。l3 XPS成像，可以对元素或化学态进行表面分布分析，使一些分析结果更直观。l4 离子能量损失谱ISS，可实现样品表面元素信息的检测l5 紫外光电子能谱（UPS），可以获得样品价带谱信息，对导体、半导体的能带、带隙等分析提供主要数据。还可以分析样品逸出功等。五、应用领域五、应用领域Thermo Scientific K-Alpha 氧化石墨烯的物理化学变化测控、半导体晶片上的超薄薄膜结构分析、分层太阳能电池、触摸屏复合涂层的检测评估、等离子表面改性、钢铁表面钝化工艺. 主要用于各种有机和无机固体材料的表面元素和其价态的定性、定量分析，表面元素的化学成像及深度剖析。可用于腐蚀、摩擦、浸润、粘接、催化、包覆、氧化等表面和界面过程的研究。AXIS-ULTRA DLD x射线射线光电子能谱仪光电子能谱仪ESCALAB 250Xi XPS 光电子能谱仪光电子能谱仪 它可以用于研究各种