ZDZ3电阻真空计使用说明书

1、DZA1ZDZD1数显电阻真空计（皮拉尼真空计）使用说明书测量范围：1.0x1055。0x102pa(1.0x1035。0x104mbar;7。6x10?5。0x10-4Torr)工风力】数显电阻真空计OOOOLbJiJ2上海石ts真空R器有限公司DZA1/ZDZD1数显电阻真空计使用说明书前言、用户在购买或使用“DZA1/ZDZD1数显电阻真空计”之前，必须详细阅读本说明书中有关条款。本仪器是ZDZ2D数显电阻真空计换代产品。ZDZD1和DZA1功能相同，DZA1是ZDZ一D1的小型化产品。本仪器应用真空中热传导与真空度有关的原理测量真空。采用美国AD公司16位高速数据采集系统及高稳定微处理

2、机监控新型线路，适用于1.0E55。0E-2Pa（1.0E3-5.0E4mbar；7.6E25.0E4Torr）范围内的真空测量和控制，采用ZJ52金属电阻规管（国外称皮拉尼规）,在机械泵测试、真空冶炼、真空浸渍、空调冰箱生产线等工业和科研部门有广泛应用。二、主要技术指标1 .真空度测量范围：1.0E55.0E-2Pa（1.0E3-5。0E-4mbar;7.6E25.0E-4Torr）2 .测量信号电压（电流）输出：05V、1-5V（选件）、420mA（选件）3 .数字信号输出：RS485/RS232半双工串行/ASCH/波特率9600bps（附通信光盘）（选件）4 .数字显示单位：Torr、

3、Pa、mbar（符合中国、日本、美国、欧洲使用要求）5 .控制继电器输出：2个（每个均可独立设置上下限）；E2ROM闪存；触点容量220V/3A（选件）6 .规管断丝、规管电缆断报警灯指示.规管长电缆自动补偿（可达200米）。7 .设置有softlocker密码锁功能，防止数据被非授权者修改（本机密码15）8 .工作电源：ZDZ-D1型交流220VAC/50-60Hz;DZA1型交流85265VAe/5060Hz;9 .外形尺寸：ZDZD1型：（宽X高X深mm）220X100X130（或220X133X130）DZA1型：（宽X高X深mm）96X96X16010 .开孔尺寸：ZDZ-D1型：（

4、宽X高mm）200X98DZA1型：（宽X高mm）92X9211 .显示方式:测量显示窗0.5时高亮数码管；*.*E*科学记数法显示或直读法显示（仪器功能菜单中用户自行可选）。12 .真空一时间坐标曲线实时测试记录打印采样软件（用户选购件）13 .仪表前面板：SET叵口电计LMryng才l上qlW?也,巾普国1、输出继电器上下限设定指示灯；2、继电器输出指示灯；3、测量数据显示窗；4、Torr/Pa/mbar测量单位指示灯；5、按键；6、满度（大气）调整电位器；7、规管断丝报警灯；8、电源开关三、使用方法：（只需测量的用户仅阅读以下A项即可）A、基本测量：1、将ZJ52（或ZJ-52K）电阻规

5、，按真空连接要求接入真空设备，将真空设备密封好（在规管前建议加一只阀门，平时不工作时关闭阀门，保持规管处于真空状态，可延长规管使用寿命）用规管线将规管和仪表连接。2、插入AC220V电源打开仪表电源开关（DZA1在后面板）,即进入仪表显示态，仪器显示窗显示的即为真空测量值，稳定10分钟后在大气压状态用螺丝刀调前面板“A”孔电位器调整满度（即大气压atmosphere的缩写），使显示为9。9E4Pa似;9.9E2mbar或7.6E2Torr）。顺时针调大，反时针调小，（多圈电位器有20圈可调）。显示1.0E5Pa（或1.0E3mbar或7。7E2Torr）则为调过头。调至U9,9E4Pa1。0E

6、5Pa（或9.9E2mbar1。0E3mbar或7.6E2Torr-7.7E2Torr）临界点最佳。3、开启真空设备的抽气泵即能测量出真空度的变化.注：若要调整仪表的零点，可将真空系统用扩散泵或分子泵抽至1。0E2Pa（或1.0E-4mbar或1.0E-4Torr）以上，稳定10分钟后用螺丝刀调后面板“V”孔零点电位器，使显示5.0E-2Pa域5.0E-4mbar或5。0E4Torr）.顺时针调大，反时针调小，（多圈电位器有20圈可调），显示1.0E2Pa域1。0E4mbar或1.0E4Torr）则为调过头。4、读数方法：本仪表有直读法和幕次方显示二种显示法（用户可在仪表上自己设置），举例：直

7、读法365Pa等次方3。6E2Pa=3。6x10?Pa;直读法6.47Pa=方6.4E0Pa=6.4x100Pa；直读法0.15Pa=幕次方1.5E1Pa=l。5x10Pa。5、若用户真空上不去，可选用廉价的我单位生产的LJD-4000微电脑真空检漏仪检漏，将检漏传感器接在真空抽气泵和设备之间，用示踪气体（如家用空调用的R22）对设备喷吹，遇到漏点仪器就会喇叭报警，可以准确地找出焊缝、接口、阀门等处的微细漏孔。B、仪表的设置：功能设定：DZA1电阻真空计按键功能操作表（面板上SET、/四个键）1丁P按键显示状态用户操作（注：按/回车键后，输入的数据将得到保存）1、SET数显窗显LOC口口密码方

8、格闪动用和键输入密码15（若省4小止确则只能查看）2、/Un1,Torr、Pa、mbar单位制灯闪动用和键选所需单位制灯亮3、/L和J1灯亮，数显窗数字闪动用和键输入J1继电器下限值4、/H和J1灯亮，数显窗数字闪动用和键输入J1继电器上限值5、/L和J2灯亮，数显窗数字闪动用和键输入J2继电器下限值6、/H和J2灯亮，数显窗数字闪动用和键输入J2继电器上限值7、/数显窗显codDCL,通讯地址码闪动用和键输入所需RS485通讯地址码8、/数显窗显Dis口。，显示模式码闪动用和键输入0为直读、1为嘉次方显示9、/数显窗恢复显示真空计测量数据即使用户不断按/键，数显窗均显示测量数据设置操作注意：

9、1）、仪表在设置态若超过30秒不操作键，则30秒后仪表自动恢复测量态.2）、继电器上限设定值必须下限设定值,否则仪表自动强制更正。3）单击和V键，数字单个升降；双击和键，数字连续升降；双击键后可按键停止，反之亦然.C、输出控制继电器使用注意点：1）输出控制继电器理论上可以接AC220V/3A阻性负载或AC220V/1A感性负载，但建议用户用中间继电器过渡、这样的好处是万一发生故障只烧中间继电器保护了真空计内继电器的安全（注意：继电器每组输出触点上并有0.01微法的灭弧电容，当接交流负载时可能会有几毫安的漏电流，但接直流负载时不会有影响）.2）、每路输出继电器的上限设定必须下限设定，当上限设定大

10、于下限设定时，控制输出有一个回差，即当测量值低于继电器下限设定时，继电器得电，常开触点接通，常闭触点断开，面板上相应继电器灯（J1或J2灯）点亮；当测量值大于继电器上限设定时，该继电器失电，常开触点断开，常闭触点接通，面板上相应继电器灯（J1或J2灯）灭（例：某旋片真空泵节电运行：将该泵通过中间继电器接入本仪表J1继电器常闭回路中，该J1的H（上限）设为50Pa,J1的L（下限）设为10Pa，则当真空泵上电从大气开始抽气到达10Pa后，泵自动停止工作，当系统内真空缓慢泄漏至50Pa时真空泵又自动开始抽气），这在控制工程中是非常有用的，可以防止在动作点附近频繁开关电器；当上限设定=下限设定时打制

11、输出没有回差，可以用作控制工程的精确控制。本仪器软件设计上考虑了用户设置时可能发生的粗心，当上限设定/下限设定时，软件自动纠错，强制使上限设定=下限设定）。D、本仪表允许用户24小时不断电持续使用，仪表设置有watchdog看门狗电路，防止软件的失控。E、若规管断丝或规管线断则面板上“F”灯（失效Fault灯）亮，提醒用户更换规管或修复规管线。I、仪表和上位机（计算机）的通信（可电询02162315744、62317134、）I（1）.通信协议1. 发送命令:命令：（Addr）S<CR>共4字节。2. 响应：（Addr单字节）=（data共6字节）（Unit共4字节）（CHK单字节

12、十六进制）<CR>共15字节.3. 出错响应：？（Addr）CR>共3字节。4. %:25h,命令同步码。5. S:53h,命令查指定设备真空值。6. ：3eh,响应同步码.7. =:3dh,指定设备真空值等于.8. Addr:30h39h,共可选择10个设备.9. Data：真空值高位+2eh（小数点）+真空值低位+45h（E）+2bh/2dh（+/指数符号）+真空指数。10. Unit:依次表示Torr、Pa、mbar三种单位，Pa后面跟2个空格（20h）11. CHK:为校验和是前13个字节累加和的低字节12. <CR>:0dh（回车）。CR>接收错误

13、13. ?:3fh,出错响应说明响应同步码和设备号接收正确，但5或13.?波特率:9600bps14.?位数：815 .奇偶校：无16 .格式：ASCII码17 .方式:半双工18 .接口：RS48519 .举例:通讯时电脑收到真空计发出的15位数据：3E3031312E37452B3250612020C90D,此15位数据可解读为：响应0#真空计真空计中1#通道采样数据1。7E+2Pa空格空格校验和回车;此时真空计上读数为1.7E2Pa.（2） .通信测试方法（可电询02162315744、62317134、）：1 .10台以下真空计A、B端用网线并联通过RS485/RS232转换器（我方用

14、捷瑞电讯MODEL2102RS485/RS232转换器）直接与个人计算机用口连接2 .接通电阻真空计供电电源。3 .打开随机光盘上“串行测试包”文件夹运行setup.exe安装程序.4 .运行“测试用口”应用程序。5 .由主界面进入“设置参数”界面，正确选择所用串口并确认。6 .主界面右下侧的滑轨拖曳到15,“地址”复选框、“十六进制码”复选框无效，选中“ACSR码”复选框和“4/8位地址”复选框单击“开始接收”按钮。7 .在“发送内容的文本框中选“按16进制”8 .在“发送内容”的文本框中键入2530530d（十六进制）单击“手动发送”按钮，在“接收回显文本框中就收到0号电阻真空计的信息。9

15、 .在“发送内容的文本框中键入：2531530d（十六进制）单击“手动发送”按钮，在“接收回显文本框中就收到1号电阻真空计的信息。10 .其他以次类推，最多可选择10个真空计。11 .单击“自动发送”按锦生“接收回显”文本框中就收到每秒1帧的连续信息.12 .单击“消除按钮，就清除了“接收回显”文本框中的内容.本仪表RS485用行口输出，双绞线最大距离传输1200米，可多机（最多十台）并联（每台真空计用户须设置不同的cod）经RS485RS232转换器（我方选用捷瑞电讯MODEL-2102转换器）插入笔记本电脑或台式电脑的RS232用行口上，即可将真空计的测量数据传送到电脑上显示,贮存、打印.

16、本仪表附有演示光盘.本仪表05V输出端口电压（mV）真空度（Pa）对照表电压（mV）真空度（Pa）电压(mV)真空度（Pa）电压（mV）真空度（Pa）0013738。0E146388.0E3121。0E-114619.0E147161.2E4243。4E-115421。0E247431。5E4365。5E-121382.0E247531.7E4488.4E-125193.0E247652。0E4611.0E027954.0E247892.6E4731.3E030105.0E248143。4E4851.5E031766。0E248384o6E4981.8E033217.0E248637.6E41

17、342。7E034218.0E248879。0E42566.0E035289。0E249129.2E43499.0E036141.0E349369.4E43761。0E141002。0E349699。9E46102.0E143082.7E350001.0E57823。0E144153。6E39284.0E144914.4E39974。5E145405.0E310635。0E145775。7E311756。0E146046.4E312807。0E146237。2E315V输出端口转换公式:y（mV）=4x（mV）Z5+10004- 20mA输出端口转换公式：y（mA）=4x（mV）+5000】Z

18、1250【注:以上公式中的x（mV）填入上面0-5V输出端口表格中的mV数.】J、本仪表功能助记符及操作术语：LocsoftLocker意为密码锁unSunit意为测量单位J1LJ1Low意为输出继电器下限J1HJ1High意为输出继电器上限J2L-J2Low意为输出继电器下限J2HJ2High意为输出继电器上限cod-Code意为本机串行通信识别编码dis。.-一display意为显示模式SET-setpoint意为设置点5- 2E2Pa=520Pa;3。0E1Pa=0.3Pa仃orr=133.33Pa;1Torr=1。33333mbar一、ZDZD1型后面板输出口脚号（注意：DZA1和ZD

19、ZD1输出脚号不同）:继电器输出（9针插座）?!1#继电器常闭触点2 -1#继电器动触点3 -1#继电器常开触点4 2#继电器常闭触点5 -2#继电器动触点6-2#继电器常开触点信号车出（9孔插座）1 -2 -4-20mA测量信号电流输出3 -4-5-05V测量信电出6-一-RS485串行异步半双I通信输出3端7 -RS485串行异步半双I通信输出A端8 -一-测量信号输出地回路9 -DZA1型后面板输出口脚号：1 -1#继电器常开触点2 一-1#继电器动触点3-1#继电器常闭触点4 -一-2#继电器常开触点5 2#继电器动触点6 -2#继电器常闭触点7 -至月却8 空脚9 -传感器信号测试输

20、出10 -1-5V测量信号电压输出11-0-5V测量信号电压输出12一-1-2V测量信号电压输出13-420mA测量信电流出14-测量信号输出地回路15-RS485串行异步半双I通信输出A端16RS485串行异步半双工通信输出B端五、规管外型图:1电阻规管（ZJ-52）外形图2.电阻规管（ZJ-52K）外形图,M*ZJ52电阻规是直插式规管，可插入橡皮管（内径12mm的真空橡皮管）或金属真空规管接头组件；ZJ-52K电阻规是快卸式金属规，可用快速连接卡箍（带中心O型像胶密封圈）连接，二种连接件的加工图纸可致电上海云捷真空、62317134索取。电阻规缆（ZJ52或ZJ-52K规缆）（电缆选RV

21、VP-4*16/0.15四芯屏蔽电缆）GX16Z7FG航空插编号瓷八脚编号1 42 63 3_（屏蔽层接此）?4 2六、仪器成套性：（真空配件如卡箍、短节、不锈钢波纹管等请致电我公司另行购买）1 .DZA1或（ZDZD1）电阻真空计一台2 .ZJ-52（或ZJ52K）金属电阻规展支3 .规管电缆？一根4 .电源电缆一根5 .真空计和计算机通信光盘（用户选购件）一片6 .使用说明书？一份7 .产品合格证？”份8。RS485-RS232转换口（用户选购件）一个七.故障检测及维修1 .怵仪表是绝压式测量仪表，绝压基准为0001Pa满度一次调好后随着仪表使用期的增长，满度值会下降，用户可以不用经常调整，不会影响3000Pa以下真空度的测量的准确性2 .显示1.0E-2P