金属蚀刻工艺简介

1、金屬蝕刻技術簡介金屬蝕刻技術簡介報告人：報告人：李三旭李三旭2006.4.182006.4.18目錄目錄n一.n二.化學蝕刻材料厚度與精度n三、行业用途n四.金屬蝕刻工藝簡介一一.n金属蚀刻金属蚀刻就是先在基板上用絲印或網印的方式把就是先在基板上用絲印或網印的方式把基板上需要保護的部位遮住，然後用化學或電化基板上需要保護的部位遮住，然後用化學或電化學方式侵蝕掉不需要的部位，最後退去保護膜，學方式侵蝕掉不需要的部位，最後退去保護膜，得到制品的一種加工方式。得到制品的一種加工方式。 是是生产标牌、电路板、金属工艺品、金属版生产标牌、电路板、金属工艺品、金属版画等过程中的关键步骤画等过程中的关键步骤

2、。最初的技朮工業生產應。最初的技朮工業生產應用是在印刷絲路版，因絲路板的絲線細而密，機用是在印刷絲路版，因絲路板的絲線細而密，機械加工很難完成。械加工很難完成。不同的金属材料，性质各不相不同的金属材料，性质各不相同，蚀刻图型的精度不同，蚀刻深度不同，所采同，蚀刻图型的精度不同，蚀刻深度不同，所采用的蚀刻方法、工艺以及所用蚀刻液的配方大不用的蚀刻方法、工艺以及所用蚀刻液的配方大不一样，所采用的感光抗蚀材料也各不相同。一样，所采用的感光抗蚀材料也各不相同。n1、 化学蚀刻法化学蚀刻法用强酸或强碱溶液直用强酸或强碱溶液直接接對工件未被保護部位對工件未被保護部位进行化学腐蚀，进行化学腐蚀，这也是目前使

3、用最多的一种方法，优点这也是目前使用最多的一种方法，优点是蚀刻深度可深可浅，是蚀刻深度可深可浅，蝕刻速度很快，蝕刻速度很快，缺點是缺點是腐蚀液对环境有腐蚀液对环境有很大的很大的污染，污染，特特別是蝕刻液不易回收。並且在生產過程別是蝕刻液不易回收。並且在生產過程中中对操作工人的身体健康有害。对操作工人的身体健康有害。n2、 电化学蚀刻电化学蚀刻这是一种这是一种把工件做陽極，把工件做陽極，使使用电解质通电用电解质通电，陽極溶解，從而達到，陽極溶解，從而達到蚀刻蚀刻目的目的的的方法，其优点在于环保方面，对环境污染很方法，其优点在于环保方面，对环境污染很小，对操作工人的身体健康无害，缺点是蚀刻小，对操

4、作工人的身体健康无害，缺点是蚀刻深度较小，大面积蚀刻时，深度较小，大面积蚀刻时，電流分布不均勻，電流分布不均勻，深度不易控制。深度不易控制。n3、 激光蚀刻法激光蚀刻法优点是线性边沿整齐无侧蚀优点是线性边沿整齐无侧蚀现象，但成本很高，约为化学蚀刻法的一倍。现象，但成本很高，约为化学蚀刻法的一倍。印刷电路板行业印刷锡膏时，所用的不锈钢丝印刷电路板行业印刷锡膏时，所用的不锈钢丝网大多是用激光蚀刻法制作的。网大多是用激光蚀刻法制作的。n金屬蝕刻具有很高的復制性。在加工工藝制品上，只要提供工藝品的母版底片，就能很精確的復制出幾乎相同的產品。其次對於尺寸要求嚴格而又很微小，且機械加工很難加工的零件，提供

5、了較方便的加工方法。二二. .化學蝕刻材料厚度與精度對照：化學蝕刻材料厚度與精度對照： 材料不锈钢、铁镍合金、铜、铝以及其它合金规格材料厚度（单位：mm）0.0500.1000.2000.5001.000厚度公差0.0050.0080.0200.0300.050最小公差0.0100.0150.0250.0500.120最小孔径0.0500.1000.2000.3001.00最小线径0.0200.0800.1200.4000.800材料厚度范围2mm及以下的薄板，特别适合0.5mm以下薄板，化学蚀刻精度与料厚成反比三、行业用途：三、行业用途：n2.1石油、化工、食品、制药用精密过石油、化工、食品

6、、制药用精密过滤网、过滤板、过滤筒、过滤铜板网、滤网、过滤板、过滤筒、过滤铜板网、钢板网、不锈钢网、镍板网、圆孔网、钢板网、不锈钢网、镍板网、圆孔网、异行孔网、微孔网、筛网、席形网。异行孔网、微孔网、筛网、席形网。 如：如：如：如：果汁机网罩果汁机网罩 网片网片 n2.2)电子行业用栅网、阵列、金属漏电子行业用栅网、阵列、金属漏板、盖板、引线框架板、盖板、引线框架等。等。 如：格栅片、模片、盖板、引线框如：格栅片、模片、盖板、引线框 架、阵列引脚、栅网架、阵列引脚、栅网 。電子鈊片電子鈊片 格栅片格栅片 模片模片 引线框架引线框架 阵列引脚阵列引脚 栅网栅网 电极针电极针 n2.3)精密光学及

7、机械平面零件、弹簧精密光学及机械平面零件、弹簧零件零件。 如：如：引线框架引线框架 盖板盖板 n2.4)工艺品：适用于各种图案加工。工艺品：适用于各种图案加工。如：如：蝕刻鍵盤蝕刻鍵盤Moto V3 金屬蝕刻鍵盤金屬蝕刻鍵盤工藝品：工藝品： 祝寿金贺卡 葡萄镂空花边VIP贵宾金卡 黄铜标牌 汽车标牌及饰条 四四. .金屬蝕刻工藝簡介金屬蝕刻工藝簡介工藝流程工藝流程 基板的清洗与表面处理基板的清洗与表面处理 涂布涂布 热风预烘干热风预烘干 曝光曝光 顯影顯影 補光補光固化固化 干燥干燥 蚀刻蚀刻 脱墨脱墨 後制作後制作對於較小的平面對於較小的平面工件，可直接采工件，可直接采用絲印的方式完用絲印的

8、方式完成塗布的工序，成塗布的工序，但對於大面積，但對於大面積，絲印無法進行的絲印無法進行的產品只能采用直產品只能采用直接在工件表面塗接在工件表面塗布顯影。布顯影。4.1.基板的清洗与表面处理基板的清洗与表面处理目的：除去工件表面的防銹油、潤滑油、乳化液及工作人員分泌的汗漬油脂等。成份組成：氫氧化鈉、碳酸鈉等鹼性物質及十二烷基苯磺酸鈉等。脫脂不完全會影響後面塗布工序中保護膜與工件的接合力，以致在蝕刻過程中保護膜脫落造成工件的損壞。4.2涂布涂布n涂布感光油墨涂布感光油墨。可以采用滿版印刷、刷塗、滾塗或噴可以采用滿版印刷、刷塗、滾塗或噴塗的方式，對油墨塗層的均一性要求不塗的方式，對油墨塗層的均一性

9、要求不是很高，只要能保證塗層能夠在蝕刻時是很高，只要能保證塗層能夠在蝕刻時對產品需保護部位得到充分的保護。對產品需保護部位得到充分的保護。 此工序和制作網板中的塗布工序差不此工序和制作網板中的塗布工序差不多，只是制作網板是在網砂上塗感光油多，只是制作網板是在網砂上塗感光油墨，而金屬蝕刻是直接在工件表面塗布。墨，而金屬蝕刻是直接在工件表面塗布。4.3 热风预烘干热风预烘干n热风预烘干热风预烘干（30-40，10-15分）目的只是防止曝光時感光油墨粘住菲霖。目的只是防止曝光時感光油墨粘住菲霖。要在暗室中進行操作。要在暗室中進行操作。4.4 曝光曝光n曝光曝光高压汞灯、碘镓灯、金属卤素灯。時間：二十

10、秒左右，抽真空；根據工件的精度要求適當調整曝光時間。精度要求越高，曝光時間要適當縮短。4.5 顯影顯影n显影显影 對於水性感光油墨對於水性感光油墨，可采用可采用1%碳酸钠水碳酸钠水溶液溶液或直接用清水或直接用清水，温度，温度25-30，手工，手工显影或喷射显影显影或喷射显影。 對於油性感光油墨，可采用有機溶劑進對於油性感光油墨，可采用有機溶劑進行行手工显影或喷射显影手工显影或喷射显影。4.6補光固化增加固化膜对底材的结合力，提高耐蚀刻性能。采用高压汞灯照射或用紫外光照射，照射時間的長短要根據各自油墨的不同特性來決定，時間太長，油墨老化，結合力不好導致不能很好保護工件，時間太短，固化效果不好，結

11、合力也不好，也不能很好保護工件。4.7 干燥干燥n干燥干燥90-110/5-10分，增加固化膜对底材的结合力，提高耐腐蚀或耐电镀性能。n若要永久保留固化膜，可进行140-160/30分钟以上热烘烤4.8 蚀刻蚀刻n蚀刻蚀刻1.化学蚀刻蝕刻液一般都是強酸或強碱。盡可能使反應快速完成，一般蝕刻速度為0.04mm/分鐘，蝕刻速度越快，側蝕的程度就越小，所得到的工件精密度就越高。2.电化學蚀刻把工件做陽極，在電解液中通電，工件上未被保護部位因作陽極而溶解，從而達到蝕刻的目的。电化學蚀刻的蝕刻速率一般由工件表面的電流密度來控制。 對於蝕刻完成既為成品的產品，直接對於蝕刻完成既為成品的產品，直接退去保護油墨。要根據所采用的油墨性退去保護油墨。要根據所采用的油墨性質來選用脫墨液：質來選用脫墨液：1.對於水性油墨，可采用