华磊光电外延芯片介绍

1、湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司2022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司22022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司32022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司4华磊芯片目前方向：华磊芯片目前方向：1 1、以、以0808* *15mil15mil芯片成为小尺寸方片的市场主攻方向，光通芯片成为小尺寸方片的市场主攻方向，光通量可达到量可达到5lm5lm以上；以上；2 2、不断提升、不断提升1010* *23mil23mil品质以满足背光源市场需求；品质以满足背光源市场需求； 3 3、大功率芯片的研发、大功率芯

2、片的研发4 4、华磊下阶段将向下游延伸，封装线也正在筹划中，目前、华磊下阶段将向下游延伸，封装线也正在筹划中，目前小量验证线如小量验证线如SMDSMD、LampLamp及及High-powerHigh-power的封装已经逐渐完的封装已经逐渐完善，基本接近国内封装厂水平，为下一步封装线的建立善，基本接近国内封装厂水平，为下一步封装线的建立打下良好基础。打下良好基础。 2022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司5外延生长外延生长芯片前工艺芯片前工艺研磨、切割研磨、切割点测、分选点测、分选检测入库检测入库2022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司62

3、022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司7外延生长：外延生长：MO源及源及NH3由载气传输到反应室，以质量流量计控制气体由载气传输到反应室，以质量流量计控制气体流量，反应物进入反应室后经载气传输到衬底表面反应形成外延薄膜。流量，反应物进入反应室后经载气传输到衬底表面反应形成外延薄膜。主要设备有主要设备有MOCVD、活化炉、活化炉、PL 、X-Ray、PR、镭射打标机等。、镭射打标机等。 2022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司8蓝宝石衬底蓝宝石衬底GaNGaN缓冲层缓冲层N N型型GaN GaN : Si: Si多量子阱有源区（多量子阱有源区（

4、InGaN/GaNInGaN/GaN）P P型型GaNGaN：MgMgP P型型InGaNInGaN- -金属接触层金属接触层2022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司92022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司10 一、前工艺一、前工艺 前工艺主前工艺主要工作就是在外延片上做成一颗颗晶粒。要工作就是在外延片上做成一颗颗晶粒。简单的说就是简单的说就是Chip On Wafer的制程。利用光刻机、掩的制程。利用光刻机、掩膜版、膜版、ICP、蒸镀机等设备制作图形，在一个、蒸镀机等设备制作图形，在一个2英寸的英寸的wafer片上做出几千片上做出几千上万

5、颗连在一起的晶粒。上万颗连在一起的晶粒。芯片工艺一般分为芯片工艺一般分为前工艺、后工艺、点测分选前工艺、后工艺、点测分选三部分三部分2022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司11目前华磊生产的芯片主要有：目前华磊生产的芯片主要有：小功率：小功率：0707* *09mil09mil、0808* *12mil12mil、0808* *15mil15mil 12 12* *13mil13mil、1010* *16mil16mil 背光源：背光源：1010* *23mil23mil高功率：高功率：4545* *45mil45mil 2022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能

6、华磊光电股份有限公司12 设备简介：设备简介：黄光室：黄光室：匀胶机、加热板、曝光机、显影台、金相显微镜、匀胶机、加热板、曝光机、显影台、金相显微镜、 甩干机、台阶仪甩干机、台阶仪 清洗室：清洗室：有机清洗台、酸性清洗台、撕金机、扫胶机、有机清洗台、酸性清洗台、撕金机、扫胶机、 甩干机甩干机蒸镀室：蒸镀室：ICPICP、ITOITO蒸镀机、合金炉管、蒸镀机、合金炉管、PadPad蒸镀机、蒸镀机、PECVDPECVD、 扫胶机、手动点测机、光谱仪扫胶机、手动点测机、光谱仪2022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司13ICP曝光机曝光机2022-3-28湘能华磊光电股份有限

7、公司湘能华磊光电股份有限公司14PECVD蒸镀机蒸镀机2022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司15做透明导电层SubstrateP-GaNN-GaN前工艺前工艺UVSubstrateN-GaNP-GaNmaskUVITO做透明导电层SubstrateP-GaNN-GaNITO 电极做透明导电层SubstrateP-GaNN-GaNITO 电极二氧化硅保护层1-MESA（刻台阶）（刻台阶）3-做电极做电极4-做保护层做保护层2-做透明导电层（做透明导电层（ITO）2022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司16 单颗晶粒前工艺后成品图单颗晶粒前工艺

8、后成品图2022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司172022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司18IPQC（In-Process Quality Control）IPQC主要是对芯片的电性参数做检测，然后品保会根据电性参数来主要是对芯片的电性参数做检测，然后品保会根据电性参数来判定晶片是继续下道工序还是需要返工，检测的电性参数主要有：判定晶片是继续下道工序还是需要返工，检测的电性参数主要有：Vf （正向电压）（正向电压）Iv （亮度）（亮度）ESD（抗静电能力）（抗静电能力）Ir （逆向电流）（逆向电流）Wd （波长）（波长）2022-3-28

9、湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司19二、二、后工艺后工艺 后工艺是将前工艺做成的含有数目众多管芯的晶片后工艺是将前工艺做成的含有数目众多管芯的晶片减薄，然后用激光切割成一颗颗独立的管芯。减薄，然后用激光切割成一颗颗独立的管芯。 研磨切割设备：上蜡机、研磨机、抛光机、清洗台、研磨切割设备：上蜡机、研磨机、抛光机、清洗台、粘片机、切割机、裂片机。粘片机、切割机、裂片机。2022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司20研磨机研磨机上蜡机上蜡机2022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司21NEW WAVE激光切割机激光切割机JPSA激光切割

10、机激光切割机2022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司22里德里德劈裂机劈裂机2022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司23后后工工艺艺切切割割裂裂片片研磨抛光研磨抛光陶瓷盘陶瓷盘晶片背面朝上晶片背面朝上AA0234YBBT18AA0234YBBT18AA0234YBBT18切割切割研磨研磨抛光抛光从晶片背面劈裂，从晶片背面劈裂，劈开后晶粒完全分开劈开后晶粒完全分开研磨是减薄厚度的主要研磨是减薄厚度的主要来源，衬底从来源，衬底从450um减减少至少至100um抛光可以使背表面更光滑，抛光可以使背表面更光滑，并且可以减少应力并且可以减少应力裂片裂片

11、激光切割后的切割线激光切割后的切割线2022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司24 点测分选的主要工作：点测分选的主要工作：1.点测大圆片或方片上每一颗晶粒电性和光学性能；点测大圆片或方片上每一颗晶粒电性和光学性能； 2. 将大圆片按照条件表分成规格一致的方片；将大圆片按照条件表分成规格一致的方片；3. 吸除外观不良部分，并贴上标签。吸除外观不良部分，并贴上标签。 设备简介：设备简介：点测机、分选机、显微镜等点测机、分选机、显微镜等2022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司252022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司26

12、分选机分选机点测机点测机2022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司27FQC:负责检验各种规格的方片或负责检验各种规格的方片或大圆片的电性和外观，合格后大圆片的电性和外观，合格后判定等级入库。判定等级入库。ORT:抽样进行封装、老化测试。抽样进行封装、老化测试。大圆片大圆片 方片方片2022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司282022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司292022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司30LEDLamp发光颜色类型：红外，红，黄，绿，蓝，白，全彩，发光颜色类型：红外，红

13、，黄，绿，蓝，白，全彩，etc.etc.直径：直径：33，55，88，1010，etc.etc.封胶类型：无色透明，无色扩散，有色透明，有色扩散封胶类型：无色透明，无色扩散，有色透明，有色扩散出光面外观类型：圆头，平头，草帽型，钢盔型，出光面外观类型：圆头，平头，草帽型，钢盔型，etc.etc.SMDTopChipSideviewPower LED功率：功率：1W1W，2W2W，3W3W，5W5W，7W7W，10W10W，12W12W，etc.etc.颜色：红外，红，黄，绿，蓝，白，颜色：红外，红，黄，绿，蓝，白，etc.etc.结构：结构：倒装芯片、布拉格反射层等倒装芯片、布拉格反射层等2022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司312022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司32钢盔钢盔子弹头子弹头草帽草帽蝴蝶蝴蝶Lamp圆头圆头内凹内凹平头平头方形方形2022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司332022-3-28湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司34202