中芯宁波200mm特种工艺（晶圆芯片）N0项目

1、中芯宁波200mm特种工艺(晶圆/芯片)N0项目环境影响评价审批前公示一、建设项目概况项目名称：中芯宁波200mm特种工艺(晶圆/芯片)N0项目项目性质：新建建设单位：中芯集成电路（宁波）有限公司建设地点：北仑区小港安居路335号项目概况：项目建成投产后产品8英寸晶圆产能可达15000片/月，项目主要生产工艺包括晶圆裸片清洗微影曝光显影去胶刻蚀溅镀褪火平坦化（多达几十轮循环，其中涉及纯水、特气、靶材、研磨液、酸碱溶液等物料）晶圆（未切割芯片）成品等工序。二、主要影响分析结论（1）声环境影响分析结论预测结果表明：通过上述降噪措施后，厂界四周昼夜间噪声预测值能够达到3类标准。本项目周边200m内均

2、为工业企业。因此，本项目生产噪声对周围环境影响不大。（2）大气环境影响分析结论根据环境影响评价技术导则-大气环境(HJ2.2-2008)估算模式计算结果，在落实污染治理措施的情况下，项目废气污染物的最大地面浓度占标率Pmax=0.39%，小于10%，项目废气正常排放对周围大气环境影响较小。（3）水环境影响分析结论项目各废水采取分类收集、分质处理、再合并混合处理，CODCr、NH3-N、SS、氟化物、铜等指标均可达到纳管标准后，通过标准化排放口排入污水管网，送新周污水处理厂集中处理后排放。项目废水排放对污水处理厂负荷冲击和纳污水体影响均较小。废水产生量为1275.68t/d,可直接纳管排放。三、

3、污染防治措施项目污染防治措施汇总见下表1。表1 污染防治措施汇总表措施名称主要内容预期治理效果废气酸性废气酸性废气处理系统处理达标后25m高排气筒排放。满足GB16297-1996中新污染源二级标准。碱性废气碱性废气处理系统处理达标后25m高排气筒排放。满足GB16297-1996中新污染源二级标准。有机废气有机废气处理系统处理达标后25m高排气筒排放。满足GB16297-1996中新污染源二级标准。废水生产废水生活污水生活污水经化粪池预处理，生产废水经配套的污水处理站处理，废水处理规模为1275.68t/d，处理出水经厂区总排口排入污水管网，纳管废水最终经新周污水处理厂集中处理后排放。纳管执

4、行GB8978-1996三级标准，处理后排放执行GB18918-2002一级A标准。噪声车间降噪设计对车间设置空心隔声墙、双层隔音窗户等，车间日常关闭门窗生产。厂界噪声排放满足GB12348-2008中3类标准。设备合理布局车间内设备应合理布局，高噪声设备尽量布置于厂区中部。设备隔声降噪对高噪声的风机，尽量布置在隔声间内，并在风机座基础减震，安装弹性衬垫和保护套；风机进出口管路加装避震喉；对风机安装隔声罩或在进风口安装消声器。强化生产管理定期检查设备，加强设备维护，使设备处于良好的运行状态，避免和减轻非正常运行产生的噪声，做到文明生产；对运输车辆加强管理和维护，保持车辆良好工况，厂内应该限制车

5、速，禁鸣喇叭，尽量避免夜间运输。厂界隔声设计加高、加厚厂界围墙，并根据噪声防治设计规范将厂界围墙设计成隔声墙。固废一般固废废靶材边角料收集外售给废旧物资回收公司；生活垃圾、废抹布在厂区内定点收集，然后委托当地环卫部门统一清运至垃圾填埋厂进行卫生填埋。资源化，无害化，不造成二次污染。危险废物部分废液加入厂区废水处理站由企业自行处理；废活性碳、废液、废包装材料等危险废物需委托有资质的危废处理单位进行安全处置。风险要求企业新建一个不小于32m3的事故应急池，以备厂区内发生事故时使用，并落实事故、消防水的收集系统，厂区所有外排管道均设置切断装置和应急设施，确保一旦意外事故，所有污水均能收集，避免流入附近河道。四、环境影响评价结论中芯集成电路（宁波）有限公司“中芯宁波200mm特种工艺(晶圆/芯片)N0项目”位于北仑区小港安居路335号。项目建设符合环境功能区规划的要求；排放污染物符合国家、省规定的污染物排放标准，符合总量控制指标；造成的环境影响符合建设项目所在地环境功能区划确定的环境质量要求；同时，项目建设符合主体功能区规划、土地利用规划、城乡规划的要求；符合国家和省产业政策等的要求；符合“三线一单”要求。项目实施过程中，企业应加强环境质量管理，认真落实环