洁净室各项指标的检测

1、洁净室各项指标的检测方法、程序法则、判定标准洁净室的检测主要分为：一、风量和风速的检测二、静压差的检测三、洁净度的测定四、微生物粒子的检测五、安装高效空气过滤器后的检漏六、污染泄露测试七、气流流型试验八、自净时间测定九、温度及相对湿度检测十、照度检测十一、噪声检测十二、防静电地面导电性能测定一、风量和风速的检测风量和风速的检测必须首先进行， 净化空调的各项效果必须是在设计风量和 风速的条件下获得。用热力风速仪测量风速 用风量罩直 接测量风量1. 测前准备工作风量检测前必须检查风机运行是否正常，系统中各部件安装是否正确，有无障碍（如过滤器有无被堵、档） ，所有阀门应固定在一定的开启位置上，并且必

2、须实际测量被测风口、风管尺寸。2. 单向流洁净室的风量测量垂直单向流及水平单向流洁净室，目前均采用截面平均风速与截面面积的成绩计算风量，关于截面的取法和测点的布置如下表单向流洁净室风量测定的有关规定JGJ71-90GB50073-2001垂直单向流水平单向流垂直单向流水平单向流测定截面选取距地面距送风面取离咼效过滤器垂直于气流平面测点布置间距冬2m均匀布置不大于均匀布置最少测点数10点（算术平均值）5点（算术平均值）仪器热球风速仪未具体规定评定标准应大于设计风速，且不超过20%1-4级不均匀的均方根差不大于5级（百级）3. 非单向流（乱流）洁净室的风量测定：非单向流（乱流）洁净室的风量可以用风

3、管法和风口法两种方法测量, 于截面取法和测点布置见下表测定方法使用场合测疋截面位置及测点数的规疋非风管对于风测定截面的对于矩形风管，将测定截面分成单法口上风位置原则上若干个相等的小截面，尽可能接向侧较长选择在气流近正方形，边长最好不大于流的支管比较均匀稳200mm其截面积不大于，测点在洁段，且已定的地方；与各个小截面中心处，但整个截面净经可以局部阻力部测点数不宜小于3个，测点布置室钻孔时，件的距离，见下图（矩形风管测点位置示意的可采用。在局部阻力图）风常用于部件前不少对于圆形风管截面，应按等面积量总管及于3倍风管圆环法划分测定截面确定测点测分支管管径长度；在数；即根据管径大小将圆管分为疋风量量

4、局部阻力部若干个面积相等的同心圆环，每测件后不少于5个圆环上有四个测点，四个测点倍管径或长必须在相互垂直的两个直径上边长度。圆环中心设一个测点，测点的布置见下图（圆形风管测点位置示意图）多用于对于安有过滤器的风口，根据风口形式可选用辅咼效过助用管，既用硬质板材做成与风口内截面相冋，滤器末长度等于2倍风口边上的直管段，连接于过滤器风口法端风口风口外部，在辅助风管出口平面上， 按最少测点法风量及数不少于不少于6点均匀布置测点，用热球风速房间换仪测定各点风速，以风口截面平均风速乘以风口气次数静截面积测定风量的测定。 因此时 往往难 于选择 足够的 稳定管 段。对于安有冋类扩散板的风口， 可以根据扩散

5、板的 风量阻力曲线（出厂风量阻力曲线或现场实测风 量阻力曲线）和实际扩散板阻力（孔板内静压与 是被静压之差），查出风量。测定时用微压计和 细毕托管，活用细橡胶管代替毕托管，但都必须 使用测孔平面与气流方向平行。测量注意事项：在测量风速时宜采用支架固定测夹； 不得不用手持风速仪 时，手臂要尽量伸直使测头远离身体（侧方或下游）以减少人身干扰。评定：a.系统的实测风量应大于各自的设计风量，但不应超过 20%b .总实测新风量和设计新风量之差，不应超过设计新风量的士 10% c .室内各风口的风量与各自设计风量之差均不应超过设计风量的士 15%矩形风管测点位置示意图圆形风管测点位置示意圆形划分数按下表

6、规定:圆形风管分环表风管直径/mmv 200200-400400-700> 700圆环个数345> 6静压差检测此项检测的目的是为了测定洁净室的静压差，它可以是正压或者负压,以防止洁净室内外气流间的相互影响1检测要求（1）静压差的检测要求要在洁净室内所有的门窗全部关闭的情况下进行（2）在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行， 一直检测到直通 室外的房间（3）测管口设在室内没有气流影响的任何位置均可， 测管口面与气流流线 平行（4）所测量记录的数据应精确到2 检测步骤：（1）先关闭所有的门窗（2）用微压计测量各洁净室之间、洁净室与走廊之间、走廊与外界之间的 压差。（3）记录所有

7、数据3 合格标准 按照洁净室的设计和工艺的要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。（1）不同等级的洁净室或洁净区与非洁净区（室）之间的静压差，应不小 于 5Pa。（2）洁净室（区）与室外的静压差应不小于 10Pa（3）对于空气洁净度等级高于 5 级（ 100级）的单向流洁净室在开门时， 门内处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度极限值。（4）若达不到上述要求，则需重新调整新风量、排风量，直至合格为止三、洁净度测定洁净室施工及验收规范（JGJ71-90）中规定如下：1. 检测规则（1）测定洁净度的最低限度采样点睡按下表规定确定。每点采样次数不低于3次，各点采样次数可以不同最低限度采样点数

8、面积洁净度100级及高于100级1000 级10000级100000级v 102 - 322210432220862240161342100403210320080632064001601264013100040031610032200080063320063注：表中的面积含义是：对于单向流洁净室，是指送风面面积，对于乱流洁净室，是指房间面积。最低限度采样量（L）级别粒径（口 m1117851985661010010008510000100000（2）测定洁净度的最小采样量按下表规定确定（3）对于单向流洁净室，采样口应对着气流方向；对于乱流洁净室，采样 口宜向上。采样速度均应尽可能接近室内气流

9、速度。也即参考“等速采 样”（4） 洁净室测点的布置原则是：多于 5点时可分层布置，但每层不少于 5 点；5点或5点以下时，可布置在离地面高平面的对角线上（如下图）， 或该平面上的两个过滤器之间的地点，也可以在人为需要布点的其他地方。五点测点布置图2. 数据整理室内洁净度按公式计算室平均含尘浓度 N和各测点平均含尘浓度的标准 误差3. 评定标准如测定的状态（空态、静态、动态）与事先约定的状态相同， 则以其级别上限作为评定标准。如测定时为空态或静态，则动态时粒子数一定会高。所以，如用静态检测 代替动态检测则粒子数会偏小，有时可以用静态粒子数的3-5倍来估计动态情况。当然这也仅是经验参考值4 注意

10、事项 测定时进入洁净室的人员要穿洁净服（有风淋室要经过风淋） ，在室内尽 量处于下风处，最多进入两人。粒子计数器一般均有一个开机后预热稳定的过程 （时间因机型而异） 注意按仪表说明书操作。一般粒子计数器均有“粒子校准”这一旋钮，在使用前必须校准， 使用一段时间（例如连续使用） 后均需进行检查。 严禁故意将灵敏度调低 的不正当做法 每个测点测完后需要移机（或移动采样口）时，要有一个稳定过程，一般 为 1-5 分钟，也可以将移机后前几次打印结果弃去。有研究结果表明打印机本身的动作有一定的产尘量，故在测量高级 别洁净室时， 要考虑到打印机纸张发尘的影响。 建议选取可存储数据的仪 器，实验结束后再把结

11、果打印出来； 或将连线延长， 将打印机置于被测洁 净室外。在粒子计数器中反应得粒径， 知识“光散射等效粒径”， 因为计数器时用 洁净大气尘密度的聚苯乙烯小球 （标准粒子） 来标定的。 所以在实例中凡 是与某种直径标准粒子的光散射特性相同的灰尘就被记录为该粒径的粒 数，而不能真正代表该灰尘的真实外形和理化性能， 而这个方面， 还得在 采样后靠显微镜（电子显微镜）和微量（痕量）理化分析来解决。目前的粒子计数器都存在一个“上限浓度”的问题，由于仪器本身 构造的原因，如抽气流速过大， 会有可能两个或多个粒子同事进入散射光区域，此时会合并基础一个粒径偏大的粒子，从而造成测量的重叠误差如实测环境含尘量超过

12、上限浓度，则应采用稀释器稀释后再测。四、微生物粒子检测 本实验室不涉及微生物粒子检测，此处不做详述五、安装高效过滤器的检漏高效过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定对其进行性能试验（其检测方法如DOP式验、NaCI试验、油雾试验等），并提供合格证（含 性能检测结果）。对于 5 级（100级）以上洁净室用高效过滤器、 超高效过滤器在现场应再 次进行高效过滤器本体及其正确安装状态进行泄露试验。对于 6 级及以 下的生物洁净室也用此方法啊检漏。而在大规模集成电路生产的超净技 术中（卩m 1级），由于新风量往往是循环风量的百分之几，经过稀释上 风侧也变成 6 级（ 1000级）的程度，因此，在这种情

13、况下，就必须重新 考虑采用DOP佥漏试验。DOP佥漏仪级配套的DOP发生器如下图DOP佥漏仪检漏仪配套DOP发生器1佥测要求一般采用离子计数器法进行佥测，被佥高效过滤器必须已佥测过风 量，并在设计风速的 80%-120%之间运行。实测时很多设计风量不到过滤 器额定风量的 80%，由于过滤器在低风速下泄露比例会加大， 数据偏安全， 有时不必再加大风量。对于被佥高效过滤器上风侧的微粒浓度符合如下 要求。对于受控粒径m的浓度，必须L;对受控粒径m的浓度，必须 107pc/L2检测方法采用扫描法对高效过滤器安装接缝和主断面进行检测，检测点应距离 被测表面2030mm测头以520mm/s的速度移动，对被

14、测过滤器整个 断面、封胶头和安装框架处进行扫描，如下图。粒子计数器的最小采 样量大于 1L/min 。3评定标准由受检过滤器下风侧测得泄露的浓度换算成穿透率，高效过滤器不应大于出厂合格穿透率的两倍，对于 D级超高效过滤器不应大于出厂合 格穿透率的 3 倍六、污染泄露测试此项测试时为考虑与轨迹接轨而规定的。它要求，有空洞想通不同 洁净度等级的相邻洁净室，其洞口处应有合理的流向，且其风速应该大 于 s。七、气流流行试验1测点位置对于单向流洁净室，在每个所测截面上测点间距为 im垂直单向 流要取四个截面：洁净室纵剖面，横剖面及距地、两个水平面。水平 单向流要求 5个截面：洁净室纵剖面、工作区水平面、

15、房间中心线距 离送、回风墙的 3 个横剖面。对非单向流需要取三个测点截面：具有 代表性的送、回风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面2测定方法用发烟器或悬挂细丝线的方法逐点观察和记录气流流向； 用量角器测定气流流向的偏离角度。在每个截面的测点布置图上标出气流流 向。3 判定标准工作区气流流向偏离规定方向的角度最好不大于 14 度，应给出 气流流型图，并给出分析结果八、自净时间的测定1 以大气尘为基础测量时，洁净室必须停止运行一段时间（条件允 许可开门开窗）。待空气中含尘浓度与大气接近时， 然后开机， 定时读 数。直到浓度达到最低稳定值为止，这一段时间即为自净时间。2 以人工尘（例如芭兰香和香

16、烟）为基准则在洁净室中央以上的高 度发烟 12 分钟即停止，再稳定一分钟，然后开机重复上条方法检测。3 合格标准 实测自净时间如不大于由初始浓度、稳定下限浓度、实际换气次数、 计算得出的理论计算浓度的倍即为合格。九、温度及相对湿度检测1 检测要求（1）测定前，净化空调系统应连续运行 24h 以上。（2）根据温度和相对湿度的波动范围要求， 应选择足够精度的测试仪表， 并经过校验标定合格2 检测方法（1） 测点距地面， 距外墙应大于， 也可以根据恒温区的大小， 分别布置在离地面不同高度的几个平面上(2) 根据温湿度波动范围要求，检测应连续进行 848h,每次读数间隔 不大于30分钟(3) 对于没有

17、恒温要求的房间，温度仅测房间中心一个点即可。(4) 对有湿度波动要求的区域，测点应放在送、回风口处或有代表性的地点。其测点数按下表确定波动范围测定仪器测点位置温度t v±C用小量程温度自动记录 仪或C刻度的水银温度 计测点间距为2m每个 房间测点不应少于20 个，测点的距离大于， 单向流洁净室大于相对湿度(厶RH<± 5%用氯化锂温湿度计 t = ±°C W± 2 °C用C厚刻度的水银温度计面积冬50m3时，测一点；大于50m3时，每增加20m350m3增加啊35个点。 RH=± %c± 10%用C的通风干湿

18、球温度计 t >2C用C的水银温度计洁净室面积小于50m3时，测一点：当大于50m3没增加20m3至50m3立方米，增加1个测点 RH> 10%用通风干湿度温度计3.合格标准室温波动范围按各测点的各次温度中，偏差控制温度的最大值整理成 累计统计曲线，若 90%以上测点偏差值在室温控制范围内，为符合设 计要求，反之为不合格。相对湿度波动可按温度波动范围的规定进行。 十、 照度检测1 检测要求室内照度测定必须在室温已趋稳定，光源输出趋于稳定后进行(对荧 光灯必须有 100h)。2 检测方法(1)测点平面离地面，按间距12m布点，测点距墙面1m其要求基本与洁净度的测定位置要求相同( 2) 记录，在简图上设测量位置， 记录实测照度值并计算总的