-日本工业气体及相关设备制造公司概述

1、综述评论日本工业气体及相关设备制造公司概述摘要:介绍了主要的日本工业气体及相关设备制造商的产品及技术特点,公司业务范围。关键词:日本;工业气体公司;设备制造公司;概述中图分类号:TQ051文献标识码:A文章编号:1007-7804(200001-0001-07日本工业气体及相关设备制造商在产品开发方面具有高水平的技术和能力。在电子领域,主要的半导体设备制造商已向亚洲公司提供了他们的高级技术。工业气体工业也是如此。经历了亚洲金融危机的日本经济受到严峻考验,但日本技术本身并不疲软,技术将帮助日本再度复苏。在这里向大家介绍一下主要的日本工业气体及相关设备公司的最新技术及产品,希望大家对日本公司有新的

2、认识。表1电子气业务额单位:10亿日元年份设备气体1991405519975587表2工业气体市场气体占总销售额百分比 %氮2116氧1710二氧化碳110氩1219CFC s717氢518乙炔512电子气511氦215其它912注:工业气体总销售额为4681亿日元。表3环境业务额年份销售额 10亿日元1991601998100表45家最大的气体公司销售额年份销售额 10亿日元198735517199756612表5-1非低温-O2PSA市场状况单位:%应用领域1990(11997(2电炉6945有色金属177水处理814纸浆漂白-22玻璃熔融-7其它65注:(11990年总生产能力为1440

3、00m3 h;(21997年总生产能力为203000m3 h。表5-2非低温-N2PSA市场状况单位:%应用领域1990(31997(4化学吹洗 密封4034热处理2518食品 药品1536回流炉-7其它205注:(31990年总生产能力为40500m3 h;(41997年总生产能力为112000m3 h。1日本酸素公司(N i ppon San so Co r2 po rati on注入气体用的安全输送源“SD S”作为世界领先的电子气供应商,日本酸素采用与M atheson合作的技术生产了几种独有的电子气及其供给装置。这种“SD S安全输送源”是安全输送砷化氢和磷化氢等有害气体的最受欢迎的

4、系统之一。装在高压气瓶内的吸附剂可以吸附注入气体如砷化氢和磷化氢。空气扩散率极低,安全性极高。因为其可以安全输送有毒气体,所以在电子市场中迅速普及开来。2大同北酸公司(D aido Hoxan Inc高纯氮发生器“V1X”大同北酸公司是日本第二大工业气体供应商,依靠其独特的现场氮发生器“V1”使得它的氮气客户不断增加。V1是众所周知的最通用的小型现场氮气装置之一。它最独特的一点是其非透平构造。由于这种非透平系统,可以很容易地生产氮气。液氮贮槽为内置式,该装置非常紧凑,可节省空间。1995年,大同北酸改进了V1系统,生产出新的“V1X”以满足客户在降低成本和节约能量方面的需要。3岩谷国际公司(I

5、 w atan i In ternati onal Co rpo rati onCVD工艺用的W I N CL 自净技术岩谷国际公司是日本最大的气体经销商,同时也是日本最大的气体制造商之一。该公司采用自主开发的气体和设备技术,加强了它的电子气业务。W I N CL是用于非等离子体CVD的一种自净技术,采用了该公司成功的产品之一C lF3,这种产品是与中央玻璃(Cen tral Glass公司联合研究开发并生产出来的。近几年来,该产品不仅在日本,而且扩大到海外市场,在50多家工厂中得到应用。W I N CL 目前在半导体制造领域作为金属CVD和L PCVD 主要的自净技术已实现标准化。4太阳东洋

6、酸素公司(T aiyo Toyo San so Co,L td硫回收系统太阳东洋酸素是日本第三大工业气体生产商,以其在半导体领域的独特技术而闻名。尤其是他们的纯化器在全世界是最受欢迎的,已取得了许多成果。这种硫回收系统也是非常流行的。在半导体制造工艺中,硫酸用于除掉晶片上的保护层,并清洗晶片,将硫酸回收并纯化后可再生为纯度超过95%的浓硫酸。这也是对控制环境污染的贡献。5液化空气日本公司(前身T eisan K K(A ir L iqu ide J ap an,L td液化空气日本公司其前身是众所周知的T eisan KK,目前是液化空气集团的一个成员。利用该集团的网络,该公司能够帮助日本以及

7、全世界的客户。“具有世界先进技术及网络的日本公司”能从日本客户,尤其是亚洲客户那里获得许多合同。在液化空气公司的技术及支持下,该公司在日本已获得了一些大项目。6BO C气体大阪酸素工业公司(BO C Gases O saka San so Kogyo L td超高纯气体技术大阪酸素工业公司是BO C集团的成员之一,在半导体领域开发出高水平的技术,尤其是与O hm i 博士及东北大学联合开发的超高纯气体技术。这一高质量的技术现在是BO C半导体战略的基石之一。如果没有O SK的U H P技术,BO C Edw ards公司就不会开发出如此之多的世界市场。他们的超净技术已成为世界半导体工业中的“标

8、准”。7高压气体工业公司(Koatsu Gas Kogyo Co,L td新技术CYANOA CR YLA T E粘合剂(超级胶水该公司现已开发出一种全新的腈基丙烯酸酯粘合剂“CYANON722”,以满足客户的要求。它保持了单组分的特性,可快速固化,也是一种腈基丙烯酸酯粘合剂,但其耐久性已大大改善。固化膜“CYANON722”具有弹性,其弹性可以加强粘结强度如抗冲击强度和剥离强度。其抗冲击强度是标准腈基丙烯酸酯粘合剂的4倍。剥离强度是标准型的3倍。固化膜的韧性与聚乙烯膜一样软。非常适合于粘结金属,并且具有众多的应用。8协同氧气公司(Kyodo O xygen Co, L td混氩焊接气“ELN

9、A CKS”协同氧气是住友金属公司的一家工业气体子公司,开发出一种独特的、划时代的混氩焊接气“EL2 NA CKS”。这种气体目前在焊接工业中是最受欢迎的,在当前困难的经济情况下其销售额日益增加。ELNA CKS是一种粗氩气体,其组成为氩9616%,氧313%,在精馏过程中除掉氮。ELNA CKS与二氧化碳一起使用,所以产生的是氩、CO2和氧的混合气。因为含氧,所以溅射降低了,而焊接效率得到改善。9仓雷化学公司(Ku raray Chem ical高纯氮PSA气体发生器仓雷化学公司是一家世界主要的,最著名的氮PSA制造商之一,也是世界领先的吸附剂材料生产商。他们为世界上主要的气体公司生产并供应

10、其原产的吸附剂材料。近年来,他们为日本以及世界的钢铁、化学和石化生产商提供了几套大型PSA装置。它的高纯氮PSA气体发生器没有精制反应器,生产的高纯氮气中,没有氢气,氧的最大含量为10×10-6。10钟纺公司(KaneboPSA制氮装置钟纺公司以其采用自产分子筛的氮气PSA装置而闻名。这种M SC使得该公司成为领先的PSA 制造商。尽管该公司是最近进入PSA市场的,但该公司已获得了约30%的市场份额。11住友精化公司(Sum itom o Seika PSA制氧装置住友精化公司的PSA是世界市场中最受欢迎者之一。几年来,该公司接到了许多订单,尤其是PSA制氧装置的订单。它占有市场的最

11、高份额,超过30%。对PSA制氧装置的需求已扩大到包括玻璃、纸浆 纸、钢厂在内的环境应用方面,预计需求量将会增加。其中,最有希望的市场之一是氧气用于高炉炼钢。钢铁企业试验证明使用氧气更有效,根据PSA制氧装置的规模及纯化级别,已被推荐使用。12小岛仪器公司(Kofloc小型PSA (氧、氮Kofloc公司是气体工业中小型PSA最有名的制造商。他们独特的、具有挑战性的技术和战略震惊了市场。目前,Kofloc公司在制氮和制氧装置市场中都占有最大份额。每年PSA制氧装置的产量超过500套,PSA制氮装置为350套。该公司为多家重要的气体公司如日本酸素和太阳东洋酸素生产了许多套O E M装置,太阳东洋

12、酸素公司已停止小型PSA的生产。由于应用领域扩大,小用户有望增加。13小池氧气工业公司(Ko ike San so Kogyo新式小型CO2激光切割机“LA SER T EX”小池氧气工业公司是最大的焊接 切割机制造商,新生产了一种小型CO2激光切割机LA SER2 T EX。该设备很小,成本低,体积小,而且易于操作。加工速度大大改善。采用辅助系统软件时,可以将每项处理工作中的几个加工条件与用户的技术秘密一起存储于A u tom atic P ro中。所有厂商都可以用集尘器来收集尘渣,生产线可以持续运行而不会对清洁的环境造成不利影响。14田中机械制造厂(T anaka Engi2 neerin

13、g W o rk s激光切割机“LM X”田中机械制造厂是日本主要的焊接 切割机制造商之一。它通过加强海外业务,在美国及欧洲收到了良好的效果,销售及维修业务与M azac N issho I w ai公司合伙经营,合伙方为美国M azac(美国最大的激光器制造商与N issho I w ai的合资公司。“LM X ”激光切割机在日本、美国及欧洲已接到了大批订单。15D aihen公司新式小型空气等离子体切割机D aihen公司是世界主要的焊接和切割机制造商,以其高质量且易于使用的技术而著称。生产出的这些新式小型空气等离子体切割机可以满足客户的要求。它们的共同特点是,不需要空气源,可直接切割。1

14、6松下公司(Panason ic微机控制变频脉冲M A G自动焊接机松下工业设备公司是世界最大的焊接机生产商之一,以“松下”(Panason ic品牌闻名于世。“D i p Pu lse A E II”为新生产的脉冲M A G自动焊接机。它改进了脉冲和焊接波,采用了新的脉冲波以满足客户对减少薄板焊接时的飞溅的需求,有更高的自动焊接效率。其他特点有:采用三类脉冲焊接模式,可以根据材质(低碳钢、不锈钢、镀锌钢不同而选择更适合的焊接方式。由于改进了焊接波,镀锌板的焊接效率更高了。17日本P i on ics公司(J ap an P i on ics P I O SON I C输送系统液体输送系统日本

15、P i on ics公司是世界领先的纯化器和废气处理设备制造商。“P I O SON I C输送系统”使得以往难于对CVD工艺进行稳定的物料供应问题得到解决,即利用用于半导体的液体原料的稳定压力采用超声波振动。在蒸发室内除了载气循环外还有超声波蒸发元件,它们可使液体物料快速蒸发,以很高的蒸发效率稳定供应。18理研计器(R iken Keik i气体检测器“GD-K11D”系列理研计器公司是日本主要的气体检测器制造商,在全世界拥有众多的客户,包括半导体和石化工业的客户。这种“GD-K11D”系列能够用于半导体工业和实验室中气体的连续监测。传感器应用了电化学、电流或半导体式检测方式,快速响应,易于

16、安装。这种装置的特点是:一套采样系统;自诊断功能;用户能顺利地调节与操作;零点漂移抑制;维护模式功能;流量故障报警;变送器上以L CD显示读数;易与传感器和泵一起使用,以及采用双线回路的可扩展多路系统。19新科斯莫电子公司(N ew Co s m o sE lectric不需要气体校准的气体检测器PS-6PS-6系列在半导体市场上正得到认可,作为一种非常便利、灵巧的检测装置,通过采用单独式可更换的传感器元件,降低了运行及维护成本。新科斯莫正在强化这种传感器元件的产品序列。新型的“PS-6A H”利用传感器上的新型密度指示器在现场给出检测数字。“PB S-6”适用于电线传输。20B i on i

17、cs仪器公司(B i on ics In stru2 m en t湿法洗涤排气管监测系统B i on ics仪器公司是一家具有独特技术的检测器生产商。这种“湿法洗涤排气管监测系统”是竞争对手尚没掌握的技术。它是专为难于监测的排放物应用场合而设计的。传感器安装在排气管内,所以没有采样线或安装辅助采样调节系统。其它独具的特点有,可运行于最湿条件下;完全不受氢的影响;操作时要求无氧气;具有与PLC s和检测控制器的接口;低成本,可更新的传感器;每年维护时间低于1h。21ST EC公司数控质量流量控制器“SEC-F700 F400系列”通过参与300mm圆片的生产,ST EC公司这家领先的质量流量控制

18、器制造商,开发并提供了新式数控M FC“SEC F700 F400系列”。这种新设备的特点有:性能最高;数字线性化电路保证流率的精确控制;数字P I D保证快速响应;宽限的可编程流率,对备件的需求更少;DM FC具有自诊断能力,停机时间少。22M KS日本公司“M系列”质量流量控制器M200型“M200型”是一种用于超净工艺的质量流量控制器。所有金属密封的、超净抛光的湿气表面都没有有害的剩余离子。它是第一个优化的多级旁路,由于显著地改善了除标定气体以外的其它气体的控制精度,故对于不同密度的气体具有最小的流量分段误差。全刻度为1scc m30sl m。对于M200S型,可实现的最小满标为011s

19、cc m。M SK日本公司以其丰富的经验及技术,正在开发满足日本客户需求的产品。23Kuze波纹管工业制造公司(KuzeB ellow s Kogyo sho Co,L td电解抛光的长盘管Kuze波纹管工业制造公司是一家主要的半导体用管线制造商。它开发的100m长电解抛光(EP盘管,用作半导体制造中特种气体的供给管线,以满足半导体厂扩大规模的要求。新型盘管是安全的,无特气泄漏的危险。使用这种新型100m 超长盘管减少了焊点数目,缩短了焊接时间,所以总成本降低了10%20%。24液化气体公司(L iqu id Gas Co, L td超高纯气体纯化器与发生器超小型使用点纯化器自动恢复型超高纯气

20、体纯化器空气纯化器小型高纯氮发生器液化气体公司正在开发超净技术和超高纯气体分析技术与催化技术。所有产品都能满足半导体工业严格标准的要求。25长野计器公司(N agano Keik i数字压力调节器“GC64”长野计器公司是主要的调节器制造商,为日本及全世界生产出了各种各样的压力调节器和压力表。这种新型“数字压力调节器GC64”是其发明之一。由于安装了一个半导体失真测量传感器,与波尔登管式压力计相比显著降低了与气体和液体的接触面积。其它特点还有:易于安装;传感器装置焊接在配件上,使用期长。26丰工程公司(Yu taka Engineering Co rpo rati on用于超净技术的“王冠系列

21、”调节器以超净技术为依托的王冠系列V1是新一代压力调节器。它有一个组合 固定的阳面密封,非常紧密,重量很轻。V1系列调节器是按高纯半导体应用所要求的最优性能和清洁度而设计的。它可以用于在使用点控制介质流率、压力,以及气源气瓶压力。该调节器是采用最先进的技术,执行严格的清洁及测试标准而制造的。最小的表面积,潮湿表面无螺纹,适宜的表面化学性质和低R a涂层,使得杂质吸附减至最少。27住金不锈钢管公司(Sum ik in Stain2 less Steel T ube Co,L td清洁管“SUM I CL EAN F”住金不锈钢管公司是住友金属公司的子公司,已开始生产并供应100%铬氧化膜的铁素体

22、不锈钢管。这种新型管线可有效减少对气体的污染及防卤素气体的腐蚀,易于除去湿气,也适用于Si H4和B2H6,比耐蚀镍基合金价廉。28世界高技术公司(Seika H i-T echC lF3废气处理装置世界高技术公司是气体和化学品专业公司。他们的废气处理装置在工业界很受欢迎,具有高效率和低运营成本。用于干刻蚀器的旋式喷雾器,以及用于PFC的废气处理装置是他们最强有力的产品之一。C lF3废气处理装置具有下述特点:运营成本是干式系统的1 20;不需要更换滤芯。29高千穗贸易公司(T akach iho T rad2 ing、高千穗化工公司(T akach iho Chem ical Indu st

23、rial用于氮氧化合物的超高纯氧化氮高千穗公司为新的含氮氧化物工艺开发出纯度级别达99199%的高纯氧化氮。高千穗公司是世界上唯一能够生产出99199%NO的生产商。该公司在国内外均获得了良好的声誉,并且获得了诸如美国国家标准技术协会这一类国家实验室的极好的评价。高千穗公司确信开发的纯化装置将为半导体应用提供最好的NO气体。30浜井工业公司(H am ai Indu stries L td浜井超净阀“新式气瓶阀”浜井工业公司以其先进的阀门制造技术而闻名于日本及世界。这种“浜井超净阀新式气瓶阀”是最新的产品之一,它无微粒,具有高的CV系6 低温与特气2000 1 数, 对腐蚀性气体的适用性很好。

24、该设备的特点有: 静区小; 气体通道无微粒并且气体清洗效率高; 用 EP ( 电抛光 处理的高质量的表面光洁度; 适用于 通过气动致动器进行紧急切断和遥控操作的自动化 装置。 合资企业, 昭和电工目前已成为 CF 4 和 C 2 F 6 的最大 生产商之一。 该公司为半导体工业提供干蚀刻废气 处理设备, 以及用于计算机和洁净室的泄漏检测系 统。 它也生产可替代清洗溶剂, 用于精密清洗和焊 剂清洗。 31 F u jik in 公司集成化气体传输系统 “IGS ” Fu jik in 是一家领先的阀门和配件制造商, 它已 35 日立金属公司 (H itach iM e ta ls 集 成化气体装

25、置 “模块系统” 日立金属公司是领先的半导体工业用质量流量 控制器和阀门制造商。 依靠其特有的经验和成就, 该 公司可为需要降低总成本的半导体客户提供小型、 集成化的气体装置。 通过采用 T 型辅助直式结构, 使其装置变得重量轻又紧凑。 组成气体装置的M FC 和阀门的特点是: 阀结构简单, 直接用金属膜片将 孔密封。 清洁及气体替换效率良好, 几乎没有故障 发生; 采用适宜的高耐蚀材料设计。 开始提供一种新型集成化气体传输系统, 称作 IGS。 Fu jik in 的 IGS 改进了金属构件, 以及传输工艺流 程, 缩短了交货时间, 降低了成本。典型特点是: 无 微粒、无泄漏、无静区、抗腐蚀

26、; 采用 U PG 密封法; 紧凑的空气致动器; 易于安装及维护, 所有元件可 从一个方向更换; 易于加热的系统; 成本低。 jik in Fu 还建立了采用最新测试和评估设备的质量控制机 构。 32 N e rik i 阀门公司 (N e rik i V a lve 世界上第一个用于半导体的进气 阀 “ S - 3H ” D N erik i 阀门公司是世界领先的阀门制造商, 开 发出世界上第一个半导体应用中所需的进气阀。 采 用单触式自动指示器, 可以用肉眼检视阀门板的开 关情况。 由于是弹簧隔膜结构, 因而容易清洗。 阀 门开关可以采用气压 ( 015M Pa 遥控。在 1996 年,

27、该公司为满足客户需求而在爱尔兰建了一家新厂。 该装置可从 PFC 气体如用于蚀 PFC 气体处理装置。 刻的 CF 4 中分离出氮气, 富集 PFC 气体, 然后在 33 三菱气体化学公司 (M it sub ish i Ga s Chem ica l Com p any , Inc 甲 醇裂解型氢发生器 在日本不可能像美国和欧洲那样生产并供应液 氢。 甲醇裂解型氢发生器由于是一种有效率的氢供 应方式, 因而吸引了工业界的注意力, 现在已取得 了世界级的成果。 三菱气体化学公司是最大的甲醇 生产商, 也开发了采用低温和高活性催化技术的甲 醇裂解制氢工艺。 34 昭 和 电 工 气 体 与 化

28、学 品 分 部 ( Show a D enko Ga se s and Chem 2 ica ls D ivision 昭和电工是领先的化学品公司。 近年来, 该公 司加强了其电子业务, 除了生产某些处理装置外, 还 生产特种气体、 化学品。 通过与空气产品公司建立 36 关东电化学工业公司 (Kan to D en 2 ka Kogyo 新型 P FC 裂解系统 关东电化学工业公司是一家主要的特种气体生 产商, 该公司开发出一种用于半导体工业的新型 900的温度下经化学反应将其分解。 它能够以 99% 以上的高分解率每分钟处理 300L PFC 气体。 该系统的组成为: 一套干式氧化物气体处

29、理装置, 一 个 PFC 富集器和一个 PFC 裂解器。 在对环境要求 越来越严格的今天, 这种新型 PFC 装置将会引起半 导体工业的注意。 37 D ia R e ik i 工 业 公 司 (D ia R e ik i 、 Kogyo 低温贮槽 “CL - 175 ” “ S - 100” DL D ia R eik i 公司的低温贮槽以其经验及技术在 世界工业气体行业中最受欢迎。这种“ - 175” 新 CL 式低温贮槽与现有的 175L 贮槽一样具有同样的外 2 3 ( 专利号 N o. 观与用途, 但它的隔热效率与现有型号相比改善了 2582042 。 这种新式贮槽不仅用 于液化气体

30、的贮存, 也可用于可燃气体包括 LN G 和液化乙烯的贮存, 因为该贮槽可利用阀门来控制 低温与特气2000 释放的气体以保证其安全性。DL S- 100” “ 是一种为 小用户及受空间限制的客户而开发的小型贮槽。 这 种小型贮槽可供医疗用氧, 食品运输用氧, 以及低 温美容治疗方面的应用。 1 7 41 丰田化学公司 ( Toyoko Kagaku 丰田化学是日本最大的气体分销商之一, 以其 在半导体领域拥有的高质量的气体及设备技术而著 称。 该公司一直在供应气体及设备, 同时还开展保 养和维护业务, 与 N EC 密切合作开发了它自己的 装置, 包括气体柜。 由丰田公司开发的其它引人注 目的设备有液体检测与泄漏传感器, 气体安全监测 装置。 依靠其自身的设计、 研究与开发基础, 该公 司已成为一家有特点的分销商。 38 日本化工机械公司 (J ap an Chem ica l Eng inee ring & M ach ine ry Co , L td 小 型 超 级 低 温 气 瓶 “超 级 45G ” 日本化工机械公司是领先的低温气瓶及贮槽制 造商, 以其可靠性及丰富的经验而著称。 该公司已 为日本国内外制造并发运了 75 000 多个气瓶。 42 U ek i 公司 U ek