《薄膜光学与技术》2014期末考试试题B-答案

1、薄膜光学与技术 2014 期末考 试试题 B- 答案2014-2015学年第 1学期薄膜光学与技术期末考试试题（ B 卷）参考答案及评分标准一、填空题（每空 1 分，共 25分）1、薄膜是指附着于基底，且与基底不同质的非自持性 涂层。2、镀制单层介质薄膜时，第二次看到相同的反射色时的膜层光学厚度是第一次 看到相同的反射色时膜层光学厚度的 3 倍。3、K9 玻璃上的单层 MgF 2膜层与单层 ZrO 2膜层具有相同的反射色调时， MgF2 膜层的光学厚度 等于 （大于、小于、等于） ZrO 2膜层的光学厚度。4、在折射率为 3.5 的材料表面镀单层减反射膜， 材料最佳的折射率为： 1.8708

2、。5、周期性对称膜系 （pqp） s 的等效折射率和基本周期 /pqp 的等效折射率完全相同，其等效位相厚度等于 基本周期的 s 倍。6、按照材料状态不同，一般将薄膜分为固体 薄膜、 气体 薄膜和液体 薄膜三类。7、Torr 和 Pa 是两个常用来表示真空度的单位，它们较为准确的换算关系为： 1Torr=133.3Pa 。8、镀膜室内真空度高表明气体压强小 ，真空度低则气体压强 大 。9、由于极值点的判读精度不高，因此常常采用过正控制 、 高级次监控 、预镀监控片 等措施来提高极值法监控精度。10、电子枪的 e 型枪是指电子束 出射后至坩埚表面的运动方向改变了 270度 。11、请写出常用的三

3、种金属镀膜材料： Au 、 Ag 、 Al 。12、一般镀膜系统测量真空需要两个真空计：热电偶 真空计和 电离 真空计。13、采用光电极值法监控膜厚，监控片为 K9 玻璃（折射率为 1.52），如果要镀 制单层 ZnS 薄膜（折射率为 2.35），监控的第一个透射率极值点应该是极大值还 是极小值： 极小值 。14、能够直接用来抽大气的真空泵是机械泵 。15、热蒸发技术常用的蒸发源有电阻蒸发源 和 电子枪 。二、判断题：先回答以下说法是否正确？然后说明理由或修改正确。 （每题 4 分，共 20 分）21、膜层的有效位相厚度表示为：ndcos ，当光波斜入射时，对于 s 光和p 光而言，要分别代入

4、修正后的折射率值进行运算。答：错误。当光波斜入射时，无论对于 s光和 p光而言，折射率值均是同一个值。2、采用单半波滤光片结构，获得的通带波形比多半波滤光片更加接近矩形。 答：错误。采用多半波滤光片结构，获得的通带波形比单半波滤光片更加接近 矩形。3、一般镀膜设备上需要机械泵和扩散泵组合起来作为真空机组，这主要是因为 双泵组合可以提高抽气速率。答：错误。因为机械泵可以直接抽大气，但极限真空并不高，而扩散泵可以抽 到镀膜所需的真空度，但不能直接抽大气，也不能直接排气到大气，因此镀膜 机上采用双泵组合的方式才能完成抽气过程。4、用于离子辅助镀膜的离子源，有产生离子束的，也有产生等离子体的。潘宁 离

5、子源是一种典型的产生等离子体的离子源。答：错误。潘宁离子源是一种典型的产生离子束的离子源。5、测量镀膜样片的透射率时，将镀膜面向着光源和背对光源测得的结果不同。 答：错误。样片的透射率与光的传播方向无关。注：正误回答正确得 2 分，理由正确得 2 分。三、问答题 （每题 5分，共 15 分）1、什么是单层介质膜层反射率的双重周期性？其周期性的主要特点有哪些?答：单层介质膜的反射率会随着薄膜位相厚度的变化而呈现周期性变化（2 分）；当膜厚确定后，随着光波波长的变化，反射率会随之发生周期性变化（ 2 分）。 随厚度变化的周期呈现间隔相等，而随波长变化的周期不等，波长越大，周期 越长。如将波长转化为

6、光波频率，则随频率不同，反射率的周期是等间隔的（ 1 分）。说明：周期性每正确一点 2 分，特点回答正确 1 分。2、试叙述光电极值法监控膜厚的基本原理。答：光通过正在镀膜的比较片时，随着薄膜厚度的增加，比较片的透射率（反射率）会发生周期性的变化，且薄膜光学厚度每变化 /4时，透射率出现一次极 值（3 分）。利用光电测光方法测量正在镀制膜层的 T（或 R）随膜层厚度增加 过程中的极值个数，可以获得以 /4为单位的整数厚度的膜层（ 2 分）。3、影响膜层厚度均匀性的主要因素有哪些？答：蒸发源发射特性， 由蒸发源结构、蒸发膜料不同的发射分布特性引起 （3 分）四、蒸发源与被镀件的相对位置；被镀件的

7、面形（ 2 分）。计算题（ 1、2 题各 10 分，第 3 题 20分，共 40分） 1、已知 nG 1.52,nH 2.3,nL 1.44 ，窄带滤光膜系 GHLHLHLHLH2LHLHLHLHA的峰值透射率是多少？解：根据 2H 或 2L 为虚设层的特点，膜系可以等效为 GHLG 结构，分）2组合导纳 Y n2L nGn2H1.442 21.52 0.59582.323 分）63 分）2 分）值反射率和中心波长处反射带的波长宽度？（中心波长500nm； ZnS 折射率为2.15；MgF 2折射率为1.38；玻璃 ng=1.46)解：组合导纳为22 (nH )5 nH ( 2 )nLnG12

8、nH10nL nG2.15121.3810 1.46266.75822 分）峰值反射率(11 YY)2 98.51%2 分）波数宽度g 2 arcsin( nHnL) nH nL0.142 分）波长宽度2 0 g/ g 2 2 500 0.14 140(nm)2 分）膜系中可以看出，入射介质为空气，因此反射率为R (11 YY)2 11 00.55995588 6.42%所以，膜系的透射率最终为T 1 R 93.58%说明：计算结果正确共 4 分。如果没有进行分步运算，根据计算情况酌情给分。2、石英玻璃基底上镀制高反膜 G/（HL） 5H/A ，若镀膜材料为 ZnS 和 MgF2，求峰 说明：

9、每个步骤的公式正确各 2分，4个计算结果正确共 2 分。如果没有进行分 步运算，根据计算情况酌情给分。3、图中两条曲线分别是镀有单层 ZrO 2膜层和镀有单层 TiO 2膜层的 K9（n=1.52）平板玻璃的实测透过率光谱曲线， 计算 ZrO 2膜层的折射率和厚度。 计算 TiO 2 膜层的折射率和厚度。 ZrO2 膜层的两个透过率极小值相等说明了什么TiO2 膜层的所有透过率极小值均不相等说明了什么为什么同一膜层的所有透过率极大值都相等 ?解：计算 ZrO2Z膜r层的折射率和厚度。10分）Ti27样片的透射率极小值均为 0.78，根据(1 R1)(1R2)1 R1R20.782 分）R1(1

10、1 YY)22 n ng2 分）(11 nnss)21.521 1.520.0426可得 n=1.97（1 分）1在 800nm 波长处，有 nd m 1（ 1 分）41在 600nm 波长处，同样有 nd （m 1） 2（1 分）44计算 TiO 2膜层的折射率和厚度。 （7分）由于 480nm 和 780nm 极小值不相等，因此分别计算，411于是由 nd （m 1） 2 m 1，得到 m=3 d=300nm（1 分）对于 1780nmT 1=0.664，同理可得n1=2.328（ 2 分）对于 1480nmT1=0.645，同理可得n2=2.390（ 2 分）由 n1d11mn2d 1