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文档简介

1、王成鹏 指导老师：程加力包含被测器件的包含被测器件的射频测试结构的射频测试结构的版图版图 焊盘版图焊盘版图 开路测试结构开路测试结构版图版图 短路测试结构短路测试结构版图版图 测试结构横截面图测试结构横截面图 开路测试结构立体模型开路测试结构立体模型 短路测试结构立体模型短路测试结构立体模型 22212122121111UYUYIUYUYI还可以改写成如下的矩阵形式：21II22211211YYYY21UU21UU=Y22211211YYYY11Y0112UUI=21Y0122UII=12Y0211UUI022221UUIY= 22212122121111IZIZUIZIZU 式中Z11，Z1

2、2，Z21，Z22称为Z参数，它们具有阻抗的性质。Z参数可以按照下述的方法计算或实验求得：设端口2-2开路即U2=0，只在端口1-1施加一个电流源如图可得11Z0112IIU21Z0122IIU=12Z0211IIU= 22Z0221IIU= 开路测试结构参数提取开路测试结构参数提取 RpdRpgCpdCpgCpgdGSDSCpgdCpdRpdCpgRpg11122122openopenpgpgdpgdopenopenopenpgdpdpgdYYYYYYYYYYY221112()()()1pgpgpgopenopenpgpgpgpgpgpgpgpgRCj C1YYYRCj C12R CRjC2

3、22221()()()1pdpdpdopenopenpdpdpdpdpdpdpdpdRCj C1YYYRCj C12R CRjC12openpgdpgdYYj C 我们可以得到 1112Im()Im()openopenpgpgYYYC2221Im()Im()openopenpdpdYYYC111211Re()Re()Re()pgpgpgopenopenpgRRj CYYY222111Re()Re()Re()pdpdpdopenopenpdRRj CYYY12Im()Im()openpgdpgdYYC短路测试结构参数提取短路测试结构参数提取RpdRpgCpdCpgCpgdGSDSRlsLlsRl

4、gLlgRldLldopenshortshortYYY1ssddssssssggshortLjRLjRLjRLjRLjRLjRZ1)Re(112111shortshortgZZR)Re(121122shortshortdZZR)Re(112shortsZR )Im(112111shortshortgZZL)Im(121122shortshortdZZL)Im(112shortsZL 051015202530010203040Frequency (GHz)Cpg and Cpd (fF)00.511.52Cpgd (fF)CpdCpgCpgd04080120160010203040Frequen

5、cy (GHz)Resistance () RpgRpd3040506070010203040Frequency (GHz)Lg and Ld (pH)303234363840Ls (pH)LgLdLs00.20.40.60.81010203040Frequency (GHz)Rg and Rd ()00.10.20.30.40.5Rs ()RgRdRspgCpdCpgdCpgRpdRgLsLdLgRsRdRElementsExtracted Value Optimized ValueUnit20.319.9fF21.521.1fF1.181.16fF36.034.132.130.954.85

6、3.9pH31.431.7pH51.951.2pH0.590.520.140.120.690.62Im(S11)-1.2-1-0.8-0.6-0.4-0.20010203040Frequency (GHz)Re(S11)00.20.40.60.8Re(S11)Im(S11)measuredsimulatedIm(S12)00.050.10.150.20.250.3010203040Frequency (GHz)Re(S12)00.050.10.150.2Re(S12)Im(S12)measuredsimulatedIm(S21)0 00 0. .0 05 50 0. .1 10 0. .1 15 50 0. .2 20 0. .2 25 50 0. .3 30 01 10 02 20 03 30 04 40 0Frequency (GHz)Re(S21)0 00 0. .0 05 50 0. .1 10 0. .1 15 50 0. .2 2Re(S21)Im(S21)measuredsimulatedIm(S22)- -1 1. .2 2- -1 1- -0 0. .8 8- -0 0. .6 6- -0 0. .4 4- -0 0. .2 20 00 01 10 02 2

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