PLC在太阳能清洗机上的控制毕业设计资料

1、32PLC技术在太阳能硅片清洗机控制上的应用前 言近年来我国太阳能电池生产量和市场销售量分别以年均15%和20%的速度增长，去年全国太阳能电池产量达到2.4兆瓦，创历史新高。专家预测，未来3-5年内全国太阳能电池生产总量将猛增至15-20兆瓦。 太阳能是一种清洁、可再生能源，而太阳能电池因为实现了直接将太阳能转化为电能而受到世界各国的重视。去年全球太阳能电池生产量已达到200兆瓦，总装机容量达到100万千瓦。世界光伏界一般认为，到2010年太阳能电池成本将降低到可以与常规能源竞争。我国太阳能资源丰富，年日照数在2200小时以上的地区占国土面积的2/3以上。全国目前还有6000万人口需要解决电视

2、、通讯、照明及生产用电问题，光伏电池的市场前景十分广阔。太阳能光伏产业的迅速发展，使得我国太阳能硅片清洗设备的发展举世瞩目，并呈现稳定增长势头。伴随着硅片的大直径化,器件结构的超微小化、高集成化,对硅片的洁净程度、表面的化学态、微粗糙度等表面状态的要求越来越高，主流工艺已经在从90nm向65nm过渡。高集成化的器件要求硅片清洗必须减少给硅片表面带来的破坏和损伤,减少溶液本身或工艺过程中带来的玷污。而太阳能清洗设备也正向着小型化、非盒式化及一次完成化方向发展,以减少工艺过程中的玷污,满足90nm乃至65nm级器件工艺的要求。这无论对清洗工艺还是对清洗设备都是一个极大的挑战,传统的清洗方法已不能满

3、足要求。江苏林洋新能源有限公司采用的是深圳捷佳创精密设备有限公司的硅片清洗设备，本设备是一个全自动的处理设备，清洗过程由三菱FX2N系列PLC控制，操作员通过10.4英寸彩色触摸屏控制生产。PLC控制的清洗设备有如下的特点：1、可靠性高，由于采取了一系列的PLC高可靠性的措施，PLC的平均无故障时间（MTBF）一般可达35万小时。而且PLC的环境适应性也很强，它能在工业环境下可靠地工作；2、编程简单，PLC最常用的编程语言是梯形图语言。这种编程语言形象直观，容易掌握，不需要专门的计算机知识，便于广大现场工程技术人员掌握。当工作流程需要改变时，可以现场改变程序，使用方便、灵活；3、体积小、结构紧

4、凑、安装、维修方便。PLC的体积小，重量轻，便于安装。一般PLC都具有自诊断、故障报警、故障种类显示等功能，便于操作和维修人员检查，可以较容易通过更换模块插件来迅速排除故障。PLC的结构紧凑，它与被控对象的硬件连接方式简单、接线少，便于维护。第1章 概 述1.1 PLC的由来 20世纪60年代末，美国最大的汽车制造商通用汽车公司（GM）为了适应汽车型号不断更新的需要，试图寻找一种新的生产线控制方法，使之尽可能地减少重新设计继电器控制系统的工作量以及尽量减少控制系统硬连接线的数量，以降低生产成本，缩短制造周期，减少生产线的故障率，从而有效地提高生产效率。首先，由美国数字设备公司（DEC）研制出符

5、合上述想法的工业控制装置，命名为可编程逻辑控制器，即PLC（Programmable Logic Controller）。1969年，第一台PLC在GM公司汽车生产上首次运行，成功地取代了沿用多年的继电器控制器系统，尽管当时的PLC功能仅具有逻辑控制、定时、计数等功能,但却标志着一种新型的工业控制装置问世。随着微电子技术和计算机技术的飞速发展，20世纪70年代中期又出现了微处理器和微型计算机，这些新技术很快被用到PLC之中，使得PLC不仅具有逻辑控制功能，而且还增加了运算、数据处理和传递等功能，从而成为具有计算机功能的新型工业控制装置。1980年美国电器制造商协会(NEMA)正式将其命名为可编

6、程控制器(Programmable Controller)简称PC。1.2 PLC的分类与特点PLC一般可按I/O点数和结构形式分类。按I/O点数可分为小型、中型和大型几类。一般小于512点为小型PLC。5122048点为中型，2048点以上为大型PLC。按结构形式可分为整体式和模块式两类。整体式PLC又称为单元式或箱体式。整体式PLC是将电源、CPU、I/O部件都集中在一个机箱内,其结构紧凑、体积小、价格低。模块式PLC是将PLC各部分分成若干个单独的模块,如CPU模块、I/O模块、电源模块和各种功能模块。有时可根据需要将整体式和模块式结合起来,称为叠装式PLC。它除基本单元和扩展单元外,还

7、有扩展模块和特殊功能模块,配置比较合理。PLC的特点:1可靠性高2编程简单3通用性强4体积小、结构紧凑,安装、维修方便。1.3 PLC的应用领域与发展趋势PLC已广泛应用于国内外的机械、冶金、化工、汽车、轻工等行业中。若按应用类型来划分,PLC的应用领域大致可分为如下几个领域。1、开关逻辑控制2、闭环构成控制3、位置控制4、监控系统5、分布式系统。PLC的发展趋势：1、向高速度、大存储容量方向发展；2、向多品种方向发展；3、编程语言多样化；4、发展智能模块；5、加强联网和通信功能。1.4 PLC的结构和工作原理PLC主要有中央处理单元(CPU)、存储器(RAM、ROM)、输入/输出部件(I/O

8、)、电源和编程器几大部分组成。PLC是以微机处理器为核心的数值式电子、电气自动控制装置,也可以说是一种专用微型计算机。各种PLC的具体结构虽然多种多样,但组成的一般原理基本相同，即都是以微处理器为核心，并辅以外围电路和I/O单元等硬件所构成的。正像通用的微机一样,PLC的各种功能的实现,不仅基于其硬件的作用,而且要靠其软件的支持。实际上，PLC就是一种工业控制计算机，其系统组成、工作原理、操作使用原理都与计算机相同。PLC的操作是按其程序要求进行的，而程序是用程序语言表达的。表达方式有多种多样，不同的PLC生产厂家，不同的机种，采用的表达方式也不相同。但基本上可归纳为字符表达式(即用文字符号来

9、表达程序,如语句表程序表达方式)和图形符号表达方式(即用图形符号来表达程序,如梯形图程序表达方式)这两大类。也有将这两种方式结合起来表示PLC的程序。（1）梯形图 PLC的梯形图编程语言与传统的“继电、接触”控制原理图十分相似，它形象、直观、实用,为广大电气技术人员所熟知。这种变成语言继承了传统的继电器控制逻辑中使用的框架结构、逻辑运算方式和输入输出形式，使得程序直观易读。当今世界各国的PLC制造家所生产的PLC大都采用梯形图语言编程。（2）指令表 用指令表所描述的编程方式是一种与计算机汇编语言相类似的助记符编程方式。由于不同型号的PLC的表识符和参数表示方法不一，所以无千篇一律的格式。（3）

10、逻辑符号图 采用逻辑符号图表示控制逻辑时,首先要定义某些逻辑符号的功能和变量函数，它类似于“与”、“或”、“非”逻辑电路结构的编程方式。一般来说，用这三种逻辑能够表达所有的控制逻辑。这是国际电工委员会(IEC)颁布的PLC编程语言之一。（4）高级语言编程 随着软件技术的发展，近年来推出的PLC，尤其是大型的PLC，已开始用高级语言进行编程。许多PLC采用类似PASCAL语言的专用语言，系统软件具有这种专用语言编程的自动编译程序。采用高级语言编程后，用户可以像使用普通微型计算机一样操作PLC。除了完成逻辑控制功能外，还可以进行PID调节、数据采集和处理以及与计算机通信等。1.5 PLC的工作方式

11、通常把PLC看作是由等效的继电器、计时器、计数器等元件组成的装置。PLC采用循环扫描的工作方式，其工作过程可分为:内部处理、通信服务、输入处理、程序执行、输出处理几个阶段，整个过程扫描一次所需的时间称为扫描周期。在内部处理阶段,PLC检查CPU模块内部硬件是否正常，复位监视计时器，以及完成其他一些内部处理。在通信处理阶段，PLC与带微处理器的智能装置通信，响应编程器键入的命令，更新编程器的显示内容。在PLC处于停止运行状态时，只完成内部处理和通信服务工作。在PLC处于运行状态时，除完成上述操作外，还要完成输入处理、程序执行、输出处理工作。1.6 PLC应用系统的设计步骤PLC应用系统的设计一般

12、按下述几个步骤进行：（1）熟悉被控对象 首先要全面详细地了解被控对象的机械结构和生产工艺过程，了解机械设备的运动要求、运动方式和步骤,归纳出工作循环图或状态(功能)图。（2）明确控制任务与设计要求 要了解工艺过程和机械运动与电气执行元件之间的关系和对控制系统的要求，归纳出电气执行元件的动作节拍表。PLC控制系统的根本任务就是正确实现这个节拍表。（3）指定电器控制方案 根据生产工艺和机械运动的控制要求，确定控制系统的工作方式，还要确定系统应有的其它功能。（4）确定控制系统的输入输出信号 通过研究工艺过程或机械运动的各个步骤、各种状态、各种功能的发生、维持、结束、转换和其它的相互关系，来确定各种控

13、制信号和检测反馈信号、相互的转换和联系信号。并且确定哪些信号需要输入PLC，哪些信号要由PLC输出或者哪些外部负载要由PLC驱动，分类统计出各输入输出量的性质及参数。（5）PLC的选型与硬件配置 根据以上步骤得到的结果，选择合适的PLC型号并确定各种硬件配置。（6）PLC元件的编号分配 对各种输入输出信号占用PLC输入、输出端点及其它PLC元件进行编号分配，并设计出PLC的外部线路图。（7）程序设计 程序设计是PLC系统应用中最关键的问题，也是整个控制系统设计的核心，其主要工作就是要设计出梯形图和语句表程序。（8）模拟运行与调试程序 将设计好的程序通过编程器或微机传送至PLC内部之后，首先要逐

14、条进行检查和验证，改正程序设计中的逻辑、语法、数据错误或输入过程中的按键及传输错误，然后，可以在实验室里进行模拟运行与调试程序，观察在可能的情况下个输入量、输出量之间的变化关系是否符合设计要求，发现问题及时修改设计，并改正传送到PLC 中去的程序，直到完成满足工作循环图或状态流程图的要求。在进行程序设计和模拟运行调试的同时，可以进行平行地进行控制系统的其它部分的设计、装配、安装和接线工作。（9）现场运行调试 完成以上各种工作之后，即可将已初步调试好的程序传送到现场使用的PLC存储器中，PLC接入实际输入信号与实际负载，进行现场运行调试，即解决调试中发现的问题，直到完全满足设计要求，即可交付使用

15、。第2章 太阳能硅片清洗机PLC控制设计2.1 太阳能硅片清洗机的介绍太阳能硅片清洗机由槽体、移栽机械手、抽风装置、人机界面和电控柜等五部分组成，其控制部分主要由三菱FX2N系列PLC控制，操作员通过10.4英寸彩色触摸屏控制生产。其生产工艺流程如图1所示，手动将装有硅片的提篮放入上料位，移载机械手抓取提篮，按设定程序将提篮转移到各工艺槽进行腐蚀或清洗，相关工艺槽具有加热、超声、喷淋、排液、温度检测、液位检测等功能，完成处理过程后，机械手将提篮转移至下料位，手动取出提篮。2.2 PLC应用可行性及优越性 PLC控制的清洗设备有如下的特点：1、可靠性高，由于采取了一系列的PLC高可靠性的措施，P

16、LC的平均无故障时间（MTBF）一般可达35万小时。而且PLC的环境适应性也很强，它能在工业环境下可靠地工作；2、编程简单，PLC最常用的编程语言是梯形图语言。这种编程语言形象直观，容易掌握，不需要专门的计算机知识，便于广大现场工程技术人员掌握。当工作流程需要改变时，可以现场改变程序，使用方便、灵活；3、体积小、结构紧凑、安装、维修方便。PLC的体积小，重量轻，便于安装。一般PLC都具有自诊断、故障报警、故障种类显示等功能，便于操作和维修人员检查，可以较容易通过更换模块插件来迅速排除故障。PLC的结构紧凑，它与被控对象的硬件连接方式简单、接线少，便于维护。2.3 PLC控制清洗机的程序设计 2

17、.3.1 PLC的选型选择日本三菱FX2N系列小型模块按I/O点数分类，一般小于512点为小型PLC，5122048点为中型,2048点以上为大型PLC。此清洗机输入输出点小于256点应选小型PLC，即选FX2N-128MR加扩展单元FX2N-48ER。表1-1 FX2N系列PLC技术指标电 源AC110120V/220240V单相5060Hz电源波动范围AC99132V/198264V，电源可瞬间失效10ms环境温度055环境湿度4596%（无凝露）防震性能1055Hz，0.5mm（最大：2G）抗冲击性能10G，在x，y，z三个方向定时抗噪声能力X504V 峰-峰值，1s，30100Hz（噪

18、声模拟器）击穿电压（绝缘耐压）AC1500V，1min（接地端与其它端子间）绝缘电阻5M，500VDC（接地端与其它端子间）接地电阻小于100（如接地有困难可不接地）环境无腐蚀性气体，无导电粉末，微粒2.3.2 可编程控制器的输入与输出分配PLC I/O接口分配表：X0臂停止Y0X1自动/手动Y1X2自动起动Y2X3自动停止Y3X4蜂鸣停止Y4运行指示X5紧急停止Y5原点指示X6电机过载Y6故障指示X7变频报警Y7蜂鸣器X101槽水位仪Y101槽水泵X112槽水位仪Y112槽水泵X123槽水位仪Y123槽水泵X134槽水位仪Y134槽水泵X145槽水位仪Y145槽循环水泵X157槽水位仪Y15

19、5槽补水泵X168槽水位仪Y168槽水泵X179槽水位仪Y1710槽循环水泵X201#机上升到位Y201#机横移左行X211#机上减速位Y211#机横移右行X221#机下减速位Y221#机横移慢速X231#机下降到位Y231#机横移快速X241#机上升Y241#机提拉上升X251#机下降Y251#机提拉下降X261#机左移Y261#机提拉慢速X271#机右移Y271#机提拉快速X30上料位Y301#后盖开X311#槽位Y311#后盖闭X322#槽位Y322#后盖开X333#槽位Y332#后盖闭X344#槽位Y343#后盖开X355#槽位Y353#后盖闭X366#槽位Y361#机横移刹车X371

20、#机下钩位Y371#机提拉刹车X401#后盖开位Y4010槽补水泵X411#后盖闭位Y41上料电机X422#后盖开位Y42下料电机X432#后盖闭位Y43干燥抽风机X443#后盖开位Y44酸槽抽风机X453#后盖闭位Y45碱槽抽风机X464#后盖开位Y46炉1风机X474#后盖闭位Y47炉2风机X506#后盖开位Y501槽自动加热X516#后盖闭位Y512槽自动加热X5211#后盖开位Y523槽自动加热X5311#后盖闭位Y534槽自动加热X5413#后盖开位Y54予交换槽加热X5513#后盖闭位Y55热交换槽加热X5614#后盖开位Y56炉1自动加热X5714#后盖闭位Y57炉2自动加热X6

21、02#机上升到位Y602#机横移左行X612#机上减速位Y612#机横移右行X622#机下减速位Y622#机横移慢速X632#机下降到位Y632#机横移快速X642#机上升Y642#机提拉上升X652#机下降Y652#机提拉下降X662#机左移Y662#机提拉慢速X672#机右移Y672#机提拉快速X70空Y704#后盖开X717#槽位Y714#后盖闭X728#槽位Y721#排放阀X739#槽位Y73补风机X7410#槽位Y742#排放阀X7510#槽水位Y7511槽喷淋X7612#槽水位Y762#机横移刹车X772#下钩位Y772#机提拉刹车X100上料位检测1Y1006#后盖开X101上料

22、位检测2Y1016#后盖闭X102下料位检测1Y10211#后盖开X103下料位检测2Y10311#后盖闭X104预热槽水位Y104炉1后盖开X105储水槽1水位Y105炉1后盖闭X106储水槽2水位Y106炉2后盖开X107热交换槽水位Y107炉2后盖闭X1103#机上升到位Y1103#机横移左行X1113#机上减速位Y1113#机横移右行X1123#机下减速位Y1123#机横移慢速X1133#机下降到位Y1133#机横移快速X1143#机上升Y1143#机提拉上升X1153#机下降Y1153#机提拉下降X1163#机左移Y1163#机提拉慢速X1173#机右移Y1173#机提拉快速X120

23、1-2交错开关Y1203#排放阀X1213-4交错开关Y1214#排放阀X12211#槽位Y1227#排放阀X12312#槽位Y1239#排放阀X12413#槽位Y1246槽喷淋X12514#槽位Y125超声波X126下料位Y1263#机横移刹车X1273#机下钩位Y1273#机提拉刹车X1301#臂上保护Y1301#补水阀X1311#臂下保护Y1312#补水阀X1321#臂横移保护Y1323#补水阀X1332#臂上保护Y1334#补水阀X1342#臂下保护Y1347#补水阀X1352#臂横移保护Y1359#补水阀X1363#臂上保护Y136空X1373#臂下保护Y137空X1403臂#横移保

24、护Y140总补水泵X1411#手动补水Y141空X1422#手动补水Y142空X1433#手动补水Y143空X1444#手动补水Y144空X1457#手动补水Y145空X1469#手动补水Y146空X147空Y147空2.3.3 梯形图与指令表(1) 时间设定指令表序号指令数据0LDM80001MULD411K60D4408MOVD440D511D511 = 1#设定时间13MULD412K60D44220MOVD442D512D512 = 2#设定时间25MOVD512D513D512 = 2#设定时间D513 = 3#设定时间30MOVD512D514D512 = 2#设定时间D514 =

25、 4#设定时间35MULD415K60D44842MOVD448D515D515 = 5#设定时间47MULD416K60D45054MOVD450D516D516 = 6#设定时间当PLC执行程序时M8000为ON，数据寄存器D411的内容乘以数值60送D440数据寄存器中，然后执行传送指令将D440的内容传送到D511中(D411为人为设定时间、D511为人机界面显示时间，设定时间以分钟为单位显示时间以秒为单位)。执行乘法指令，将D412的数值乘以数值60送D442中，然后执行传送指令将D442的内容送到D512中(D512为2槽设定时间)。再执行传送指令将D512的数值传送到D513中(

26、D513为3槽设定时间)。执行传送将D512的数值传送到D514中(D514为4槽设定时间，二、三、四槽时间一致)。执行传送将D415中的数值乘以数值60送D448中，传送将D448的数值送D515中(D515为5槽设定时间)。执行乘法指令将D416的数值乘以数值60送D450中，传送将D450的数值送D516中(D516为6槽设定时间)。(2)机械手提料、放料梯形图图2-2机械手提料、放料梯形图(3)机械手提料、放料指令表X101（上料位检测）得电，即辅助继电器M510得电，M510触点闭合，时间继电器T10开始计时(时间数值D510为人为设定时间)。T10时间到1号槽内无料(M511常闭时

27、为1#槽无料)、1号、2号、3号、4号、5号槽没有料要提的情况下上料有货开始提篮，1号机械手在上料位提料完毕上升到位时，上料位有货复位。1号机械手移动到1号槽位开始下降，下降到位时放料完成1号槽M511置位显示1号槽有料同时时间继电器对1槽设定的时间开始计时。执行下一步指令，在2、3、4#槽只要有一个槽无料时同时2、3、4、5槽没有料要提的情况下，1号槽设定时间到机械手开始在1号位处提篮。机械手在1号槽位X31得电，升降马达运行到X20上升到位点，1号槽有料复位，机械手将提取的料放到2号槽内，同时T12开始计时。2号槽设定时间到，在5号槽没有料的情况下同时其他各槽没有提篮请求，机械手提取花篮运

28、行到5号槽放料。其他各槽提放料的具体动作同上料位提篮运行到1号槽放料的过程一样。（4）取料、放料、开盖梯形图图2-3取料、放料、开盖梯形图S110或S120得电，即1号机械臂在左移或右移状态时，1号槽有货提M411得电，取1号开盖保持。2号槽无料时取料放2号槽，2号槽开盖保持；2号槽有料、3号槽无料时取料放3号槽，3号槽开盖保持；2号、3号槽有料、4号槽无料时取料放4号槽，4号槽开盖保持。执行下一步指令，1号机械臂在左移或右移状态时，2号槽有货提，M412得电，取2号开盖保持。1号机械臂在左移或右移状态时，3号槽有货提，M413得电，取3号开盖保持。1号机械臂在左移或右移状态时，4号槽有货提，

29、M414得电，取4号开盖保持。1号机械臂在左移或右移状态时，5号槽有货提，M415得电，放6号开盖保持。（5）机械手取料、放料梯形图图2-4 机械手取料、放料梯形图上料有货提，M410得电，M441在失电状态即机械手停止动作，M451得电，1号机械手在待机状态，同时M199得电，机械手在上位原点传送数值1到数值存储器D611中，传送数值2到数值存储器D612中(D611为1号机取料位、D612为1号机放料位)；1号槽有货提，M411得电， M441在失电状态即机械手停止动作，M451得电，1号机械手在待机状态，同时M199得电，机械手在上位原点传送数值2到数值存储器D611中；2号槽无料时传送

30、数值3到D612中；2号槽有料、3号槽无料时传送数值4到D612中；2号槽有料、3号槽有料、4号槽无料时传送数值5到D612；2号槽有货提，M412得电， M441在失电状态即机械手停止动作，M451得电，1号机械手在待机状态，同时M199得电，机械手在上位原点时传送数值3到数值存储器D611中，传送数值6到数值存储器D612中；3号槽有货提，M413得电， M441在失电状态即机械手停止动作，M451得电，1号机械手在待机状态，同时M199得电，机械手在上位原点时传送数值4到数值存储器D611中，传送数值6到数值存储器D612中；4号槽有货提，M414得电，M441在失电状态，即机械手停止动

31、作，M451得电，1号机械手在待机状态，同时M199得电，机械手在上位原点时传送数值5到数值存储器D611中，传送数值6到数值存储器D612中；5号槽有货提，M415得电， M441在失电状态即机械手停止动作，M451得电，1号机械手在待机状态，同时M199得电，机械手在上位原点时传送数值6到数值存储器D611中，传送数值7到数值存储器D612中。（6）1号机械手手动控制梯形图图2-5 1号机械手手动控制梯形图M9得电，1#机械手进入手动状态。X24得电时，1号机械手上升，输出Y24(1号机械手提拉上升)，上升到位或1号机械手保护动作时，机械手停止工作。X25得电时，1#机械手提拉上升Y24互

32、锁,输出Y25(1号机械手提拉下降)，下降到位或1号机械手保护动作时，机械手停止工作。1号机械手在各槽位点时同时上升到位或下降到位且输入一脉冲信号X26时，辅助继电器M210得电同时自保持。M210得电或1号机械手横移左行、常按1号机械手左移按钮X26，1号机械手横移右行互锁，输出Y20（1号机械手横移左行）。常按X27，1号机械手横移左行互锁，输出Y21（1号机横移右行）。1号机横移左行Y20动作或横移右行Y21动作时，1号机横移刹车Y36动作，输出Y22(1号机横移慢速)。1号机提拉上升Y24动作或提拉下降Y25动作时，1号机提拉刹车Y37动作，输出Y26(1号机横移慢速)。 第3章 回顾与展望如果说20世纪60年代初期发展起来的PLC 主要是以它的高可靠性、灵活性和小型化来代替和补充传统的继电-接触控制，那么当今的PLC控制太阳能硅片清洗机则吸取了微电子技术和计算机技术的最新成果。从单机自动化到整条生产线的自动化，乃至整个公司的生产自动化，PLC承担着极其重要的角色，因而被称之为“工业自动化三