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文档简介

1、探头维修，维护与保养 以单探头为例探头维护与保养 以单探头为例探头真空连接电缆连接法兰BNC接头常见问题1 水温不稳水温不稳, 2 保养不良保养不良, 3 接地不良，接地不良，4 硬件故障硬件故障可造成下列现象1。ACTIVITY值低2。镀膜速率不稳定3。晶片寿命短4。新晶片实效首先检查冷却水 保证冷却水足够流量，水温正常检测方法：测量探头出水温度，整个工艺过程中，水温稳定，如果升高，则水量过小典型故障：重复性差探头维护与保养 以单探头为例标准单探头结构探头维护清洁该表面，不许有镀膜残渣清洁该表面，不许有镀膜残渣簧片调整陶瓷座簧脚调整为45度，陶瓷边缘变黑后要更换簧片调整探头维护与保养 卡簧0

2、07-007，4000次换片后要更换探头维护与保养750-171-P1，4000次换片后要更换水管弯曲水气管可以弯曲，但不能在根部折弯真空连接电缆接触面由于高温氧化造成 接触不良，或安装方式造成断线检测短路或断路连接法兰短路或断路拆接检查断路或短路用万用表测量图示联线电阻值，应1欧姆万用表针一端测此簧脚万用表另一端测此接头内电缆芯震荡包针脚短路造成元件击穿XIU检测DiagnosticsSource 1 Shutter Advance Crucible 1 Output 1 is setSource 2 Shutter Advance Crucible 2 Output 2 is clearSensor 1 Shutter Active XIU Test Output 3 is clearSensor 2 Shutter RS-232 Loopback Output 4 is clearPress TOGL to activate selected test.Press MENU to exit Diagno

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