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文档简介
1、12.28晚第八章 电子光学基础1.分辨率是什么?取决于?试样上能分辨出来的两个点间最小距离。取决于照明光源的波长。2.像差分为:1.几何像差 2.色差几何像差(球差):由电磁透镜中心区与边缘区对电子折射能力不符合预定规律造成的。不可消除几何像差(像散):由透镜磁场的非旋转对称引起的。消除:消像散器,引入一个强度和大小都可以调节的矫正磁场。色差:由入射电子波长或能量的非单一性引起的。消除:稳定加速电压3.电磁透镜分辨率由什么决定?衍射效应和球差 P127 解释4.景深、焦长12.29 晚第九章 透射电子显微镜1.聚光镜、物镜、选区光阑作用聚光镜光阑:限制照明孔径角,常装在聚光镜的下方。物镜光阑
2、:提高衬度,减小物镜孔径角,从而减小像差,得到高质量显微图像;进行暗场成像。常装在物镜的后焦面上。选区光阑:对样品进行微区衍射分析。常装在物镜的像平面位置。2.成像系统中,物镜、中间镜、投影镜作用及特点1.2 上午第十章 电子衍射1.单晶体电子衍射花样:排列十分整齐的斑点;形成:多晶体电子衍射花样:一系列半径不同的同心圆;形成:同一晶面族的许多晶面发生衍射形成许多斑点,构成一个同心圆。非晶电子衍射花样:一个漫散中心斑点。2.电子衍射(电子波)特点(5)电子衍射能在同一试样微区进行形貌分析和电子衍射(结构)分析3.证明布拉格方程与爱瓦尔德球作图法的一致性4.倒易点阵与正点阵的关系1.倒易矢量垂直
3、于正点阵中相应的(hkl)晶面2.倒易点阵中的一个点代表正点阵中一组晶面3.倒易矢量长度等于相应正点阵中晶面间距的倒数5.电子衍射斑点与倒易点阵关系电子衍射斑点就是与晶体相对应的倒易点阵中某一截面上阵点排列的放大像。电子衍射图是二维倒易截面在平面上的投影放大像。6.零层倒易面:过倒易原点O,垂直入射方向uvw的倒易平面,记作,为uvw晶轴面的倒易阵点组成的平面.7.标准零层倒易面:以晶带轴uvw的“零层倒易截面”上, 且的倒易阵点组成的平面。8.晶带定理:零层倒易面上的各倒易矢量(hkl)都和晶带轴uvw垂直。hu+kv+lw=0.9.为什么零层倒易面上未与爱瓦尔德球相切的地方也能产生衍射斑点
4、1.电子衍射衍射角很小,小于1度,故爱瓦尔德圆弧面可以看成一个平面。在倒易原点0附近的低指数倒易阵点附近范围,反射球面十分接近一个平面,且衍射角度非常小<1,这样反射球与倒易阵点相截是一个二维倒易平面。2.实际晶体的倒易点不是一个几何意义上的点,而是会发生扩展,薄片晶体的倒易点阵拉长为倒易杆,在偏离衍射角范围内,倒易杆都能与球面相交而产生衍射。10.选区衍射步骤1.调节中间镜和物镜电流,使中间镜物平面和物镜像平面均与选区光阑面重合,在荧光屏上得到清晰的放大像。2.抽出物镜光栏,减弱中间镜电流,使中间镜物平面移到物镜背焦面,荧光屏上可观察到放大的电子衍射花样。3. 调节中间镜电流,使中心斑
5、最小最圆,其余斑点明锐,此时中间镜物面与物镜背焦面相重合。4.减弱第二聚光镜电流,使投影到样品上 的入射束散焦(近似平行束),摄照(30s左右)1.2下午第十一章 晶体薄膜衍衬成像分析1.明暗场成像明场成像(DF):让投射束通过物镜光阑而把衍射束挡掉得到图像衬度的方法。暗场成像(BF):让衍射束通过物镜光阑而把投射束挡掉得到图像衬度的方法。中心暗场成像(CDF):把入射束方向倾斜2角,使衍射斑移到透镜中心位置,衍射束通过物镜光阑而挡掉投射束得到图像衬度的方法。2.质厚衬度、衍射衬度质厚衬度:由样品各处原子序数或厚度差异形成的衬度。衍射衬度:由样品各处产生的衍射线强度不同所形成的衬度,在荧光屏上
6、形成光强度差图像。3.双光束近似:电子束透过薄晶体试样成像时,除透射束外只存在一束较强的衍射束,其偏离矢量为S.此时衍射束、透射束强度关系: I0=IT+Ig=14.柱体近似:把成像单元缩小到和一个晶胞相当的尺度大小,双光束在柱体内通过,柱体下表面某点的衍射束强度近似认为是以该点为中心的柱体衍射束强度,相邻柱体互不干扰。5.等厚条纹:由于衍射束强度随样品厚度t周期性振荡,在晶体样品楔形边缘出现厚度消光条纹,在同一条纹上晶体的厚度是相同的,所以这种条纹叫等厚条纹。6.等倾条纹把没有缺陷的薄膜晶体稍加弯曲,在衍衬图像上出现弯曲消光条纹,同一条纹相对应样品位置的衍射晶面的取向相同。12.28 晚第十三章 扫描电镜1.表面形貌衬度是什么?表面形貌衬度成像原理:2.原子序数衬度是什么?原子序数衬度成像原理:背散射电子对微区元素原子序数Z敏感,原子序数越大,背散射电子产额越大,检测器收集到的背散射电子越大,荧光屏上图像越亮。3.电子束与固体样品作用时产生的信号及特征 4.滴状作用体积12.28晚第十四章 电子探针1.电子探针功能? 进行微区成分分析2.波谱、能谱优缺点比较3.点、线、面分析过程点分析:电子束固定在需分析的微区,波谱仪分析时,改变分光晶体和探测器位置,得带分析点X射线谱线;用能谱仪分析时,几分钟内得带微区所有元素的谱线。线分析:将谱仪固定在要测元素的特征X射线特征波长值
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