《模具表面处理技术》PPT课件.ppt

1、a,1,模具表面处理技术,a,2,第一节,模具表面处理概述,a,3,一、模具表面处理的意义,模具在现代生产中是生产各种工业产品的重要工艺装备。随着社会经济的发展，特别是汽车、家电工业、航空航天的迅猛发展，对模具工业提出了更高的要求。如何提高模具的质量、使用寿命和降低生产成本成为当前迫切需要解决的问题。 模具在工作中除了要求基体具有足够高的强度和韧性的合理配合外，其表面性能对模具的工作性能和使用寿命至关重要。模具性能的改善，单纯依赖基体材料的改进和提高是非常有限的，也是不经济的，而通过表面处理技术，往往可以收到事半功倍的效果，这也正是表面处理技术在模具生产中得到迅速发展的原因,a,4,模具通过不

2、同的表面处理方法，可以只改变模具表层的化学成分、组织、性能，从而大幅度地改善和提高模具的表面性能。如硬度、耐磨性、摩擦性能、脱模性能、隔热性能、耐腐蚀和高温抗氧化性能、提高型腔表面抗擦伤能力、脱模能力、抗咬合性能等，数倍、甚至几十倍地提高模具使用寿命。这对于提高模具质量，大幅度降低生产成本，提高生产效率和充分发挥模具材料的潜能都具有重大意义,a,5,模具的表面处理技术，是通过表面涂覆、表面改性或复合处理技术，改变模具表面的形态、化学成分、组织结构和应力状态，以获得所需表面性能的系统工程。 在模具上使用的表面技术方法多达几十种，主要可以归纳为化学表面处理法、物理表面处理法和表面覆层处理法。从表面

3、处理的方式上，又可分为：化学方法、物理方法、物理化学方法和机械方法。虽然提高模具表面性能新的处理技术不断涌现，但在模具制造中应用较多的主要是渗氮、渗碳和硬化膜沉积技术,a,6,第二节,模具表面的化学热处理技术,a,7,化学热处理就是将钢件置于一定活性介质中保温，使一种或几种活性原子渗入工件表层，从而改变表层的化学成分、组织和性能的热处理工艺方法。 根据渗入的元素不同，化学热处理方法可以分为：渗碳、渗氮、碳氮共渗、渗硼、渗铝、渗钒等。化学热处理能有效提高模具表面的耐磨性、疲劳强度、耐蚀性和抗氧化性能等。 一、渗碳 渗碳就是将钢件置于活性碳原子的介质中保温，使碳原子渗入工件表层的热处理工艺方法,第

4、二节模具表面的化学热处理技术,a,8,渗碳后在模具的表面形成一层1-2mm，含碳量为0.8%-1.05%渗碳层。再经过适当的淬火与回火处理，可提高模具表面的硬度、耐磨性及疲劳强度，使模具心部仍保持良好的韧性和塑性。因此渗碳主要用于同时受严重磨损和较大冲击载荷的模具。由于渗碳温度较高，渗后还需热处理，模具变形较大，因此精度要求较高的模具不宜采用。 模具的渗碳工艺有固体渗碳、液体渗碳、气体渗碳、真空渗碳、离子渗碳等,第二节模具表面的化学热处理技术,a,9,1、固体渗碳,固体渗碳是将工件置于木碳和催渗剂组成的渗碳剂的密封箱中（一般采用黄泥或耐火粘土密封）保温，在渗碳温度加热保温使碳原子渗入工件表面。

5、 固体渗碳时，由于固体渗碳剂的导热系数很小，传热很慢，更由于渗碳箱尺寸往往又不相同，即使是尺寸相同，可是工件大小及装箱情况（渗碳剂的密实度，工件间的距离等）也不全相同，因而渗碳加热时间对渗层深度的影响往往不能完全确定。因此，在生产中常用试棒来检查其渗碳效果,第二节模具表面的化学热处理技术,a,10,固体渗碳的优缺点 固体渗碳可以在各种加热炉中进行，简单易行，但质量不易控制，渗碳速度慢，生产周期长，工人劳动条件差,第二节模具表面的化学热处理技术,a,11,2、气体渗碳,气体渗碳是工件在气体介质中进行碳原子渗入工件表面的热处理方法。 渗碳气体以煤油、苯、丙酮或醋酸乙酯作为强渗剂，用甲醇、乙醇作为稀

6、释剂。这些液体滴入炉内后在高温下汽化、分解产生成分稳定的渗碳气体,气体渗碳炉,第二节模具表面的化学热处理技术,a,12,气体渗碳的优点 可以通过控制系统控制富化气送入量或渗剂的滴入量，以改变炉气的碳势，从而控制零件表面的含碳量，渗碳速度比固体渗碳快，质量好。 气体渗碳适用于大批量生产，易于控制质量和自动化，劳动条件好,气体渗碳装炉示意图,第二节模具表面的化学热处理技术,a,13,3、液体渗碳,把零件浸入含有活性碳原子的熔融盐浴中进行渗碳的方法。 盐浴的主要成分有氰化钠、氯化钠、碳酸钠和氯化钡等。各种盐的成分可通过不同温度加以调节。一般薄层渗碳多采用低温（850900）、低浓度氰化物盐浴（也称液

7、体氰化或液体碳氮共渗）。深层渗碳多采用较高温度(900950),氰化物含量为616。 另一种是无氰液体渗碳，主要盐浴成分是氯化钠、氯化钾和碳酸钠，加上经过加工制作的渗碳剂：碳粉、碳化硅和尿素,第二节模具表面的化学热处理技术,a,14,4、离子渗碳,采用甲烷或其它渗碳气体和氢气的混合气作为辉光放电的气体介质，在渗碳温度（例如930）下，利用辉光放电对工件表面进行离子渗碳。 离子渗碳比气体渗碳方法快得多。离子渗碳后，应进行直接淬火，故在炉内应有直接冷却装置,第二节模具表面的化学热处理技术,a,15,5、真空渗碳,真空渗碳炉是将工件放置在真空炉内通过不断的向炉内充入渗碳气氛，使碳原子渗入工件表面。

8、与气体渗碳相比真空渗碳温度高（约1100），渗碳速度快，质量好,第二节模具表面的化学热处理技术,a,16,双室真空渗碳淬火炉,双室真空渗碳淬火炉结构示意图,第二节模具表面的化学热处理技术,a,17,二、渗氮,向金属表面渗入氮元素的工艺称为渗氮，通常也称为氮化。 钢渗氮后可以获得比渗碳更高的表面硬度和耐磨性，渗氮后的表面硬度可以高达HV9501200(相当于HRC6572)，而且到600仍可维持相当高的硬度。渗氮还可获得比渗碳更高的弯曲疲劳强度此外，由于渗氮温度较低(500一570之间)，故变形很小渗氮也可以提高工件的抗腐蚀性能但是渗氮工艺过程较长，渗层也较薄，不能承受太大的接触应力。目前主要应

9、用于压铸模、挤压模、冷作模具等,第二节模具表面的化学热处理技术,a,18,渗氮的缺点 工艺复杂，成本高，氮化层薄。因而主要用于耐磨性及精度均要求很高的零件，或要求耐热、耐磨及耐蚀的零件。例如精密机床丝杠、镗床主轴、气轮机阀门和阀杆、精密传动齿轮和轴、发动机汽缸和排气阀以及热作模具等,第二节模具表面的化学热处理技术,a,19,1、气体渗氮,气体渗氮在密闭的渗氮罐内进行。工件放入用镍铬不锈、耐热钢等制成的渗氮罐内，用铬矿砂等进行密封。通入经过干燥箱、流量计的氨气，氨气在380以上会分解出活性氮原子渗入工件表面，废气通过排气管，泡泡瓶排出炉外。一般炉内要保持3050mm油柱的压力。工件装入渗氮罐，密

10、封并在加热炉内加热同时，立即向渗氮罐内通入氨气。冷却时应随炉冷却，至炉温降至200以下，停氨，出炉，开箱。 气体渗氮的特点 生产周期长、渗氮速度慢、效率低、费用高、对材料要求严,第二节模具表面的化学热处理技术,a,20,2、离子氮化,利用稀薄气体的辉光放电现象加热工件表面和电离化学热处理介质，使之实现在金属表面渗入欲渗元素的工艺称为辉光放电离子化学热处理，简称离子化学热处理。因为在主要工作空间内是等离子体，故又称等离子化学热处理。在离子轰击作用下，从阴极表面冲击出铁原子，与等离子区的氮离子及电子结合而成FeN此FeN被工件表面吸附，在离子轰击作用下，逐渐分解为低价氮化物和氮原子，氮原子就向内部

11、渗入及扩散,第二节模具表面的化学热处理技术,a,21,离子渗氮炉,离子渗氮炉结构示意图,第二节模具表面的化学热处理技术,a,22,离子渗氮的特点,1） 速度快 特别在渗氮时间较短时尤为突出。例如一般渗氮深度0.300.50mm，离子渗氮时间仅为普通气体渗氮的1/3-1/5。 （2） 离子渗氮层组织结构可控。 （3） 离子渗氮层的韧性好，因此，大大扩大了离子渗氮的应用范围不仅普通气体渗氮所应用的钢种能进行离子渗氮，还可应用于氮碳共渗（软氮化）的工件。 （4）节能,第二节模具表面的化学热处理技术,a,23,渗氮层脆性的评定,脆性等级分成四级， I级不脆，压痕完整无缺；级略脆，压痕边缘略有崩碎；级，

12、脆，压痕边缘崩碎较大；级极脆，压痕边严重脆。通常I、级为合格检查时一般都用标准级别图对照定级,第二节模具表面的化学热处理技术,a,24,应用,1）Cr12MoV钢制钢板弹簧孔冲孔凹模，经气体氮碳共渗和盐浴渗钒处理后，可使模具寿命提高3倍。 （2）60Si2钢制冷墩螺钉冲头，采用预先渗氮、短时碳氮共渗、直接淬油、低温淬火及较高温度回火处理工艺，可改善心部韧性，提高冷墩冲头寿命2倍以上,第二节模具表面的化学热处理技术,a,25,三、钢的碳氮共渗,在钢的表面同时渗入碳和氮的化学热处理工艺称为碳氮共渗。 目的 对低碳结构钢、中碳结构钢以及不锈钢等，为了提高其表面硬度、耐磨性及疲劳强度，进行820850

13、碳氮共渗。中碳调质钢在570600温度进行碳氮共渗，可提高其耐磨性及疲劳强度，而高速钢在550560碳氮共渗的目的是进一步提高其表面硬度、耐磨性及热稳定性,第二节模具表面的化学热处理技术,a,26,碳氮共渗的分类,1）碳氮共渗 以渗碳为主，共渗温度820-870，渗剂为煤油、苯、甲苯、丙酮等，同时通入氨气，或使用尿素、甲酰胺等。材料一般为中、低碳钢及合金钢。 （2）氮碳共渗 以渗氮为主，共渗温度550-570，渗剂为尿素、甲酰胺、三乙醇胺等。材料不受限制。 碳氮共渗已应用于压铸模、挤压模、塑料模等,第二节模具表面的化学热处理技术,a,27,四、渗硼,渗硼是将钢的表面渗入硼元素以获得铁的硼化物的

14、热处理工艺方法。 通过渗硼能显著提高钢件表面硬度(l4002000HV)和耐磨性，以及具有良好的红硬性及耐蚀性。 钢的表面渗入硼后，由于硼在 -Fe中的溶解度很小，因此会形成硼化物Fe2B (硬度为l4001600HV) ，或FeB (硬度为l8002000HV) 。Fe2B脆性较小，一般呈梳齿状楔入基体；FeB脆性较大，易剥落,第二节模具表面的化学热处理技术,a,28,渗硼方法,渗硼法有固体渗硼、液体渗硼及气体渗硼。但由于气体渗硼采用乙硼烷或三氯化硼气体，前者不稳定易爆炸，后者有毒，又容易分解，因此较少采用。现在生产上采用的是粉末渗硼和盐浴渗硼。 1、固体渗硼法 目前最常用的是用下列配方的粉

15、末渗硼法：5KBF4+5B4C+90SiC+Mn-Fe。把这些物质的粉末和匀装入耐热钢板焊成的箱内，工件以一定的间隔(20一30mm)埋入渗剂内，盖上箱盖，在9001000的温度保温15小时后，出炉随箱冷却即可,第二节模具表面的化学热处理技术,a,29,渗剂中各部分的作用 B4C为硼的来源，KBF4是催渗剂，SiC是填充剂，Mn-Fe则起到使渗剂渗后松散而不结块的作用。一般渗硼后冷至室温开箱时，渗剂松散，工件表面无结垢等现象，无需特殊清理。由于固体渗硼法无需特殊设备，操作简单，工件表面清洁，已逐渐成为最有前途的渗硼方法,第二节模具表面的化学热处理技术,a,30,2、盐浴渗硼,常用盐浴成分有下列

16、三种： (1) 60硼砂十40碳化硼或硼铁；， (2) 5060硼砂+4050S1C； (3) 45BaCI+45NaCI+10B4C或硼铁。 盐浴渗硼同样具有设备简单，渗层结构易于控制等优点。但有盐浴流动性差，工件粘盐难以清理等缺点。一般盐浴渗硼温度采用9501000，渗硼时间根据渗层深度要求而定，一般不超过6小时。因为时间过长，不仅渗层增深缓慢，而且使渗硼层脆性增加,第二节模具表面的化学热处理技术,a,31,渗硼后的热处理,对心部强度要求较高的零件，渗硼后还需进行热处理。由于FeB相、Fe2B相和基体的膨胀系数差别很大,加热淬火时，硼化物不发生相变，但基体发生相变。因此渗硼层容易出现裂纹和

17、崩落。这就要求尽可能采用缓和的冷却方法，淬火后应及时进行回火,第二节模具表面的化学热处理技术,a,32,五、渗金属,渗金属方法和渗硼法相类似，根据所用渗剂聚集状态不同，可分固体法、液体法及气体法。 1、固体法渗金属 最常用的是粉末包装法，把工件、粉末状的渗剂、催渗剂和防烧结剂共同装箱、密封、加热扩散而得。这种方法的优点是操作简单，无需特殊设备，小批生产应用较多，如渗铬、渗钒等。缺点是产量低，劳动条件差，渗层有时不均匀，质量不易控制等,第二节模具表面的化学热处理技术,a,33,如固体渗铬，渗剂为100200目铬铁粉(含Cr65)(4060)+NH4Cl(123)，其余为Al2O3, 渗铬过程 当

18、加热至1050的渗铬温度时，氯化铵分解形成HCl，HCl与铬铁粉作用形成CrCl2，在CrCl2迁移到工件表面时，分解出活性铬原子Cr渗入工件表面。与此同时，氯与氢结合成HCI，HCI再至铬铁粉表面形成CrCl2，并重复前述过程而达到渗铬目的,第二节模具表面的化学热处理技术,a,34,2、液体法渗金属,分为两种，一种是盐浴法，一种是热浸法。 目前最常用的盐浴法渗金属是TD法。它是在熔融的硼砂浴中加入被渗金属粉末，工件在盐浴中被加热， 同时还进行渗金属的过程。 以渗钒为例：把欲渗工件放人 (8085)Na2B4072015)钒铁粉盐浴中，在950保温35小时，即可得到一定厚度(几个微米到20微米

19、)的渗钒层,第二节模具表面的化学热处理技术,a,35,TD覆层的主要特点,1）具有很高的表面硬度，可达HV28003200，远高于氮化和镀硬铬等表面处理方法，因而具有极高的表面耐磨、抗拉伤和耐腐蚀等性能。 （2）由于表面覆层是通过金属原子的扩散作用形成的，因此覆层与基体具有冶金结合，结合力较镀硬铬、PVD或PCVD的镀层高得多，这一点对于成形类模具的应用极其重要。 （3）TD覆层厚度可达420mm，覆层致密光滑。 （4）具有极高的耐腐蚀性能。 （5）可以实现重复处理,第二节模具表面的化学热处理技术,a,36,缺点 是盐浴有比重偏析，必须在渗入过程中不断搅动盐浴。另外，硼砂的PH值为9，有腐蚀作

20、用，必须及时清洗工件。 适用材料 只要材料含有一定量的碳元素，如含碳量大于0.3%的各类钢铁材料、硬质合金等，都可以在工件表面形成VC覆层,第二节模具表面的化学热处理技术,a,37,TD法可以解决的问题,1）由粘着磨损所引起的模具与工件或工件与工件之间的拉伤、粘附问题，如各类钢板或有色金属的拉延、弯曲、翻边、滚压成形和压铸成形等模具或其他相互接触并有相对运动的工件表面，采用TD覆层处理是目前解决此类问题最好的方法之一，并可以提高其使用寿命数倍至数十倍。 （2）由磨粒磨损、粘着磨损、摩擦氧化或其共同作用而引起的工件尺寸超差等问题，如冲裁、冷镦、粉末冶金等模具或其他零配件，通过TD覆层处理后，可提

21、高使用寿命数倍至数十倍,第二节模具表面的化学热处理技术,a,38,TD法的应用,1）汽车冲压件成形模具 在高强度钢板和厚料板的冲压成形过程中，未经过表面处理的工件表面拉伤严重，有些甚至无法正常生产。经TD覆层处理后，一方面根本上解决了工件表面的拉伤问题，无须经常停机修磨模具，提高了生产效率，改善了产品的外观。另一方面，模具寿命一般可以达数十万件，并能确保冲压件尺寸的一致性，有效提升产品质量。 （2）粉末冶金模具 被加工材料为磁铁粉，原来模具材料Cr12，寿命24万次，后改用Cr12MoV，并进行TD覆层处理，寿命达到2040万次，寿命提高10倍以上,第二节模具表面的化学热处理技术,a,39,模

22、具表面处理-TD覆层组织,模具表面处理-TD覆层图,第二节模具表面的化学热处理技术,a,40,热浸法渗金属是较早应用的渗金属工艺，典型的例子是渗铝。其方法是：把渗铝零件经过除油去锈后，浸入780土10熔融的铝淬中经1560分钟后取出，此时在零件表面附着一层高浓度铝覆盖层，然后在9501050温度下保温45小时进行扩散处理。为了防止零件在渗铝时铁的溶解，在铝液中应加入10左右的铁。铝液温度之所以如此选择，主要考虑温度过低时，铝液流动性不好，且带走铝液过多。温度过高，铝液表面氧化剧烈,第二节模具表面的化学热处理技术,a,41,3、气体法渗金属,一般在密封的罐中进行，把坩埚加热至渗金属温度，被渗金属

23、的卤化物气体掠过工件表面时发生置换、还原、热分解等反应，分解出的活性金属原子渗入工件表面。 以气体渗铬为例，其过程是：把干燥氢气通过浓盐酸得到HCl气体后引入渗铬罐，在罐的进气口处放置铬铁粉。当HCl气体通过高温的铬铁粉时，制得了氯化亚铬气体。当生成的氯化亚铬气体掠过零件表面时，通过置换、还原、热分解等反应，在零件表面沉积铬，从而获得渗铬层,第二节模具表面的化学热处理技术,a,42,气体渗铬速度较快，但氢气容易爆炸，氯化氢具有腐蚀性，故应注意安全。 渗金属法的进一步发展是多元共渗，即在金属表面同时渗入两种或两种以上的金属元素，如铬铝共渗，铝硅共渗等等。与此同时，还出现金属元素与非金属元素的两种

24、元素的共渗，如硼钒共渗，硼铝共渗等。进行多元共渗的目的是兼取单一渗的长处，克服单一渗的不足。例如硼钒共渗，可以兼取单一渗钒层的硬度高、韧性好和单一渗硼层层深较厚的优点，克服了渗钒层较薄及渗硼层较脆的缺点，获得了较好的综合性能,第二节模具表面的化学热处理技术,a,43,几种化学热处理工艺的比较,第二节模具表面的化学热处理技术,a,44,第三节,模具表面的涂镀技术,a,45,一、电镀,电镀是指在直流电的作用下，电解液中的金属离子还原沉积在零件的表面而形成一定性能的金属镀层的工艺过程。 电镀的基本工艺流程： 磨光 抛光脱脂（去油） 水洗 除锈 水洗 电镀 酸洗 碱洗 清洗 吹干 除氢 入库,a,46

25、,常用的电镀方法,镀硬铬、硬镍是模具表面处理技术中的传统技术，通过利用电化学的方法在模具工作面上沉积薄层金属或合金的一种湿式镀覆。电镀操作温度低，模具发生变形较小，模具本身的性能几乎不受影响，镀层的摩擦系数低，显微硬度可达800 HV，可以大大提高模具的耐磨性。但是，镀层的孔隙较大，耐腐蚀性能不高，不适用于耐腐蚀性要求高的模具。同时，由于电镀具有尖端效应，对于多孔、形状复杂的模具也不适用,a,47,钢件镀铬工艺流程 除蜡 热浸除油 电解除油 弱酸浸蚀 镀铜 镀镍 镀铬。 镀铬的种类 装饰性镀铬、镀硬铬、松孔镀铬,a,48,二、电刷镀,电刷镀是在导电工件（或模具）表面需要镀覆的表面快速沉积金属层

26、的工艺。 电刷镀又称为选择电镀、无槽镀、涂镀、笔镀、擦镀等。 它是电镀的一种特殊方式，不用镀槽，只需在不断供电解液的条件下，用一支镀笔在工件表面上进行擦拭，即可获得电镀层。 刷镀工艺简单，沉积速度快，操作方便，镀层质量和性能较好。易于现场操作，不受模具大小和形状的限制，用在报废模具和大模具的修复上经济效益明显,a,49,电刷镀的原理,电刷镀的原理示意图,a,50,镀笔结构图,不同形状的阳极,镀笔 镀笔是电刷镀的重要工具，主要由阳极、绝缘手柄和散热装置组成,a,51,电刷镀的特点,1、设备简单，携带方便，不需要大的镀槽设备。 2、工艺简单，操作方便，凡镀笔能触及到的地方均可电镀，特别适用于不解体

27、机件的现场维修和野外抢修。 3、镀层种类多，与基体材料的结合力强，力学性能好，能保证满足各种维修性能的要求。 4、沉积速度快，生产效率高。 5、刷镀液不含氰化物和剧毒药品，故操作安全，对环境污染小。 6、但电刷镀劳动强度大，阳极包缠材料消耗大,a,52,电刷镀的应用,电刷镀应用于热作模具，可提高模具寿命50200，主要原因是刷镀层有良好的红硬性、耐磨性和抗氧化能力。 材料为3Cr2w8V的热冲模刷镀处理后表面硬度达750 HV，模具寿命提高13倍。 电刷镀也可以大幅度提高冷作模具的寿命，这是因为刷镀层有高的硬度和良好的抗粘着性能。如连杆盖模3Cr2W8V经刷镀处理后提高寿命545,a,53,三

28、、化学镀,化学镀是利用还原剂把电解质溶液中的金属离子化学还原在呈活性催化的工件表面沉积出能与基体表面牢固结合的涂镀层。化学镀不需外加电流。因此，化学镀没有电镀中因为电力分布不均而造成的深镀和分散能力差的问题。 化学镀对于形状复杂、多孔洞、有棱边夹角的模具的处理最为有效，克服了电镀的缺点与不足。 化学镀可在工件表面形成单一金属层（如镀镍）、合金镀层（如Ni-P化学镀）、复合镀层和非晶态镀层等,a,54,化学镀的应用,在汽车用铸模、铝模具上化学镀镍，不仅可以提高脱模效果，还可使模具的使用寿命提高50以上 ，且零部件的光洁度高。 如用45钢加表面Ni-P化学镀代替不锈钢制作塑料型材挤出模，不但降低模

29、具制造成本，而且可以提高模具寿命，由于镀层改善了脱模性能，塑料成形周期缩短，型材表面质量显著改善,a,55,在生产应用中对模具表面性能要求是多元的，因此单金属的镀层往往不能满足质量要求，这些促使了复合镀技术的发展。现在复合镀技术的实施主要借助于电镀、刷镀、化学镀。 复合镀后膜层质量和性能提高显著，模具寿命更长。如在模具表面上复合电镀NiwP、NIFeP、CoWP合金显著提高了汽车模具的耐磨性和使用寿命。如NiPTFE、Al2O3；镀层可提高抗蚀性能；NiWC、SiC、SiO2、SiO2镀层可提高耐磨及抗蠕变性能；NiMo2镀层可提高减磨自润性能；NiCr镀层可提高高温强度,a,56,第四节,模

30、具表面的气相沉积技术,a,57,气相沉积技术 是将含有沉积元素的气相物质输送到工件表面，在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层的工艺方法。 气相沉积在工件表面覆盖一层厚度为0.5-10um的过渡族元素（Ti,V,Cr,W,Nb等)的碳、氧、氮、硼化合物或单一的金属及非金属涂层。 按沉积的主要属性可分为化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD），等离子体被引入化学气体沉积技术后，便形成等离子化学气相沉积（PCVD,a,58,气相沉积的特点,1、工件表面具有较高的硬度（如TiC的硬度为3200-4100HV，TiN的硬度为2450HV ），低的摩擦系数和自润滑性； 2、高的熔点

31、（ TiC的熔点为3160，TiN的熔点为2950 ），高的化学稳定性及抗粘结能力； 3、高的耐腐蚀能力和抗高温氧化能力,a,59,一、化学气相沉积,化学气相沉积是利用气态物质在一定温度在工件表面上进行化学反应，生成固态物质沉积在加热的固态基体表面，形成固体沉积膜的的工艺技术。 化学气相沉积通常称为CVD（Chemical vapor deposition的简称）。 CVD技术是一种热化学反应过程，是在特定的温度下，对经过特别处理的零件（包括硬质合金和工具钢）所进行的气态化学反应，即利用含有膜层中各元素的挥发性化合物或单质蒸汽，在热基体表面发生气相化学反应，反应产物沉积形成涂层的一种表面处理技

32、术,a,60,CVD技术可用于各种金属成形模具和挤压模具。 一般情况下，经过处理的零件具有很好的耐磨性能、抗高温氧化性能和耐腐蚀性能。 CVD技术也被广泛应用于各种硬质合金刀片和冲头。但是，由于CVD是一个高温过程，对于大多数的钢质零件，在CVD涂层后要进行再次热处理。 CVD技术的分类 按照沉积化学反应能量激活分，可分为热CVD技术、等离子化学气相沉积技术（PCVD）、激光辅助化学气相沉积技术（LCVD）和金属有机化合物沉积（MOCVD）等,a,61,CVD技术特点,1）涂层材料具有极高的韧性，硬度可高达HV25003800，抗氧化温度可达900以上。 （2）可同时进行技术处理的工件数量大，

33、可大幅提高模具制造效率。 （3） 绕镀性好。可在复杂形状的基体上以及颗粒材料上镀膜。适合涂覆各种复杂形状的工件及带有槽、沟、孔，甚至是盲孔的工件。在高温处理反应器内无需旋转零件。 （4）无论是具有复杂几何形状或者有内孔的零件，都可以实现高度均匀的涂层厚度,a,62,CVD技术的缺点,处理温度较高，气氛中含氯化氢多，如处理不当，易污染大气。 为克服上述缺点，用氩气作载体，发展中温CVD法，处理温度750850即可。此法在耐磨性、耐蚀性方面不亚于高温CVD法,a,63,模具表面处理-CVD技术,a,64,化学气相沉积的应用,CVD处理的模具形状不受任何限制。CVD可以在含碳量大于0.8%的工具钢、

34、渗碳钢、高速钢、轴承钢、铸铁以及硬质合金等表面上进行。 气相沉积TiC、TiN能应用于挤压模、落料模和弯曲模，也适用于粉末成型模和塑料模等。在金属模具上涂覆TiC、TiN覆层的工艺，其覆层硬度高达3000HV，且耐磨性好、抗摩擦性能提高、冲模的使用寿命可提高14倍。其中CVD涂层技术具有更卓越的抗高温氧化性能和强大的涂层结合力，在高速钢切边模、挤压模上应用效果良好,a,65,美国将CVD用于紧固件模具，提高寿命3一5倍；用CVD技术来沉积TiC和TiN于拉深凹模，提高寿命8倍。 目前模具表面处理中应用较多的是铝型材挤压模具和精密叶片热锻模具，经过处理后，有较好的耐磨性和抗疲劳性，使用寿命提高一

35、倍，由原来2.5t的通料量提高到5t。现在CVD技术发展是以等离子体、电子束、激光束、离子束、微波等先进科学技术的成就为基础，向着高效、节能、控制高度自动化、精确化的方向发展,a,66,二、物理气相沉积,物理气相沉积是用物理方法把欲涂覆的物质沉积在工件表面形成膜的过程。是指在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。 物理气相沉积通常称为PVD（Physical vapor deposition的简称）。 物理气相沉积技术，由于处理温度低，热畸变小，无公害，容易获得超硬层，涂层均

36、匀等特点，应用于精密模具表面强化处理，显示出良好的应用效果,a,67,物理气相沉积适用范围广泛，几乎所有材料的薄膜都可以用物理气相沉积来制备，但是薄膜厚度的均匀性是物理气相沉积中的一个问题。 物理气相沉积常用的方法 真空蒸镀、溅射镀膜和离子镀。 采用PVD处理获得的TiN层可保证将塑料模的使用寿命提高39倍，金属压力加工工具寿命提高359倍。螺钉头部凸模采用TiN层寿命不长，易发生脱落现象,a,68,PVD技术的发展,PVD技术出现于二十世纪七十年代末，制备的薄膜具有高硬度、低摩擦系数、很好的耐磨性和化学稳定性等优点。最初在高速钢刀具领域的成功应用引起了世界各国制造业的高度重视，人们在开发高性能、高可靠性涂层设备的同时，也在硬质合金、陶瓷类刀具中进行了更加深入的涂层应用研究。 PVD技术不仅提高了薄膜与刀具基体材料的结合强度，涂层成分也由第一代的TiN发展为TiC、TiCN、ZrN、CrN、MoS2、TiAlN、TiAlCN、TiN-AlN等多元复合涂层,a,69,与CVD工艺相比，PVD工艺处理温度低，在600以下时对刀具材料的抗弯强度无影响；薄膜内部应力状态为压应力，更适于对硬质合金精密