centrotherm 烧结炉中文版操作手册

CENTROTHERMDO11900300FFHTON2/AIRCANTROL操作指导目录表1操作指导备注11符号与标识描述12定义121设备用户122受训员工123操作人员13版权14对于材料缺陷的依赖性2介绍21身份认证22尺寸23熔炉数据231传送带232加热盒干燥器HTO的加热233加热盒干燥器HTO快速烧结FF的加热234冷却24过程温度25媒介供应连接251水252空气253氮气254废气移除255电气26PC设备27功能描述2安全31正确使用32不正确使用33常规安全指导34安全装置341过温保护342紧急停止开关343“传送带停止”按钮“BELTSTOP”PUSHBUTTON35隔热标识36灭火4功能描述41入口/出口411入口门412出口门42加热421加热载片盒干燥器HTO422对流加热423媒介蒙罩1424加热载片盒烧结FF425媒介蒙罩242冷却431冷却载片盒432腔室冷却44驱动设备45媒介451电力供应452冷却水供应453压缩空气供应454氮气供应（可选）454文氏管系统46操作/控制451CANTROL系统控制器462动力控制463CAN总线1和2464温度控制465CANTROL加工控制系统466远程服务467“打印机可用”信号描述47废气移除471废气冷凝器及移除5运输52特殊安全措施53包装类型54运输55入库审查551交货范围552运输损伤56储存措施6组装61准备安装场所62设备检查63安装7服役及退役/投入及退出生产71初始启动72投入生产721设备PC722手动操作面板723动力加载724操作模式7241生产7242周末操作73退出生产74处置8操作81状态屏幕82导航条821用户登入和登出822保存配方823读取配方824打印83标签831加热832气体供应833冷却系统834设置835警报836测量837选项8371炉管数据8372数据根目录8373配置84CTVISUAL流程表841CTVISUAL流程表842用户登入843用户登出844改变数值845显示数值的循环更新846数据登入847警报登入848更新警报表格849开始实时测量8410读取配方8411保存配方8412读取配置8413时间相关的配方读取8414退出CTVISUAL8415CTVISUAL系统的目录结构9维护91故障诊断911信号灯912单独干扰913ID1074加热故障讯息9131过温控制器FF/HTO9132过温监控器FF/HTO9133故障温度测量9134故障温度测量9135温度回路HTO区14，FF区169136温度容许值值FF/HTO914ID100104加热故障讯息9141按下传送带停滞9142变频器带驱动9143带停滞9144带容许值9145按下外部带停滞915ID200255气体供应故障讯息9151加工用空气压力失误9152加工用氮气压力失误9153气动带调整器空气压力失误9154气动带调整器空气压力失误9155Y321Y338，Y421，Y422气流9156热空气/废气HTO容许值9157热空气/废气HTO安全等级9158微分压力排气废气冷凝器容许值9159微分压力排气废气冷凝器安全等级916ID300322冷却故障讯息9161冷却水容器冷却器HTO/FF9162冷却水容器冷却器HTO/FF9163冷却水媒介蒙罩分9164冷却水废气冷凝器顶部/底部9165超过温度/流量冷却水回路1分钟9166停滞控制冷却风扇冷却载片盒低部，上部1/2917ID400402UPS/主供应故障讯息9171主供应相位遗失9172动力故障超过10秒9173SURGE（振荡,滑脱）保护L1L3/N触发918ID500505气动故障讯息9181加热载片盒HTO13未关闭9182冷却载片盒上部1/2未关闭9183缩短传送带919ID600662MISCELLANEOUS故障/警报讯息9191浓缩滤毒罐全等级1/29192带驱动关闭9193加热干燥器HTO关闭9194加热FFHTO关闭9195热空气风扇关闭9196加热HEATING载片盒FF/HTO9197冷却加热载片盒FF/HTO9198冷却加热载片盒FF/HTO9199带调整器处于位置“CLEANING”超声清洁器（UCLEANER）91910运转超声清洁器91911运转超声清洁器（UCLEANER）后面的带驱动9110ID700703带清洁91101低于超声清洁器最低水位9111ID801902故障讯息SSR单独警报91111加热回路控制V1V5991112加热回路控制V101V10292所选组件的更换921加热9211加热器更换9212对流加热过滤器922石英轨迹的石英棒9221更换加热载片盒干燥器HTO石英棒9222更换加热载片盒快速烧结FF石英棒9223更换冷却载片盒石英棒923冷却9231更换冷却载片盒的冷去风扇9232更换下部冷却载片盒的冷去风扇924带驱动单元9241更换传送带9242更换齿轮马达9243更换离合器9244更换磁滞离合器925媒介9251冷却水过滤器的更换9252对流加热的流速表监控器的更换9253废气冷凝器的流速表监控器的更换9254气体加热器9255文氏管喷嘴的更换926媒介9261TMM5模块的更换9262单一温度控制器的更换9263CANI/O模块的更换9264RDIO8/24模块的更换9265固态继电器的更换9266热电偶的更换9267变频器的更换9268工业PC（温度控制器）的更换9269PLCCPU模块（CEDIO）的更换92610PLC扩展模块的更换92611BEBRODC马达控制器的更换92612FANCON风扇控制器的更换927废气冷凝器滤毒罐的更换93火灾后措施10预防性维护101安全审查102炉管日志103设备装配板104预防性维护间隔1041日常预防性维护程序10411检查设置显示10412检查”ALARM”标签上讯息1042日常预防性维护程序10421检查信号灯功能10422检查传送带10423检查滤毒罐的填充等级1043月预防性维护程序10431清洁传送带10432检查传送带长度10433测量温度特性10434清洁冷却水过滤器10435清洁冷却载片盒的冷却风扇10436清洁冷干燥器的空气过滤器10437检查传送带导引（GUIDE）10438执行数据备份10444每季预防性维护程序10441检查单一温度控制器10442清洁文氏管喷嘴1045半年预防性维护程序10451清洁冷却载片盒10452清洁加热载片盒干燥器10453重新调整加热载片盒干燥器HTO的加热器10454检查对流加热的流速检控表10455检查1046每年预防性维护程序10461清洁加热载片盒快速烧结FF1047每4年的预防性维护程序11零部件和服务12附录1操作指导备注此操作指导包含您进行运输、安装、运行、操作、服务以及设备修理所需信息。此操作指导为设备技术手册的一部分。请充分利用此操作指导来熟悉设备。此操作指导将帮助您避免出现失误。您的个人安全和设备的安全操作取决于您所依照操作指导进行的工作。请在设备附近常备此操作指导。此操作指导为受过必要培训和具有必要资质的人员进行安装、操作、服务和设备维修所撰写。下列规则应用于此操作指导；文本中使用简写。这些简写在每一章第一次使用时被加以说明。用来描述一个术语的简写包含在术语后的圆括号里。示例操作指导OI每一章的页码按序排列。表格和图表按序排列文本中的交叉索引将指导您以更完备或详细的信息。第三章包含在设备操作中可能发生的潜在危险的常规标识。另外，可能危急人身或设备安全的安全方面特殊标识将优于操作指导而给出。此操作指导并非为服务协议的一部分。在由于技术进步而导致的设备修改之后，升级相应的文件资料将成为您的职责。11符号与标识描述此符号用来指示危险、警告或防范。危险性被划分为三个级别危险DANGER瞬时危险有可能导致严重人身伤亡。警告WARNING潜在危险环境有可能导致严重的潜在人身伤亡。注意ATTENTION潜在危险环境有可能导致轻微人身伤害。同时指示相关于财产损伤的警告。WARNINGDANGEROUSVOLTAGE警告危险电压此符号在有可能遭受电击危险时使用。设备上所有的电性操作只能由受训员工进行。确保满足所有的国家和本地安全要求。由于有害或刺激性气体导致的危险此符号用于设备中存在接触性有毒材料而导致的危险。ATTENTION注意此符号用来指示当关闭或移动固定器件时可能导致的挤压手危险。ATTENTION,HOTSURFACES注意，灼热表面此符号用来标注由于灼热表面而导致的烧伤危险。ATTENTION注意本设备只能由受训员工通过适当工具进行运输。由于基底区域和高度的比例设备可能倾覆。穿戴安全手套穿戴具有多道过滤的呼吸道设备穿戴防护服此符号印制于包含关键功能的特殊信息或特殊应用标识之后，帮助您理解设备的所有功能。12定义121设备用户设备用户拥有或者租借此设备。设备用户对设备的安全操作负责并使用设备作为一种收益来源。设备用户按其目的对设备操作负责。设备用户同时也对雇佣人员进行设备搭建、运行、操作和维护负责。122受训员工受训员工在专业培训之后可以进行各自工作并辨识出可能涉及的危险。另外，受训员工具有所有的可应用规则、事故防护条规和所有特殊设备条件的知识。设备用户对其所需培训负责。设备用户对受训员工的资格认证负责。受训员工安装和维护设备。123操作人员操作人员接受关于设备不正确操作而可能导致的潜在危险的在职指导。操作人员熟悉所有必需的安全装置和措施、应用条规、事故防护指导和特殊设备条件。设备用户对其所需培训负责。设备用户对操作人员的资格认证负责。13版权此操作指导为设备用户、受训员工和操作人员所撰写。CENTROTHERM保留对这些操作指导的版权。基于此点，您不可以在没有CENTROTHERM事先书面允诺的情况下全部或部分复制、拷贝、分配或者出于竞争目的而使用这些OI。保留所有版权生产商地址CENTROTHERMGMBHCOKGJOHANNESSCHMIDSTR89143BLAUBEUREN,GERMANYTEL4907344/91860FAX4907344/9186388EMAILDOCENTROTHERMDE14对于材料缺陷的依赖性此操作指导是基于所交付设备的技术和产品特殊参数基础上。然而，生产商保留对操作指导添加更完备信息的权利。生产商只接受个体契约协议相关的担保声明。生产商不会接受基于以下之一或若干原因而导致的人身伤害或财产损失的担保和责任。设备没有被正确使用。设备没有按照操作指导操作。设备在安全装置移除后使用。设备在没有CENTROTHERM事先允诺之下结构和/或功能上被修改。设备安装有未被CENTROTHERM提供和认可的备件。设备被不正确修理。设备被CENTROTHERM没有书面授权的受训员工修理。设备由于“不可抗因素”导致的损伤。2介绍进一步的技术数据可以在设计布局图中找到，见122章图画、规格、电路图，121。21身份认证用户生产商CENTROTHERMGMBHCOKGJOHANNESSCHMIDSTR89143BLAUBEUREN,GERMANYTEL4907344/91860FAX4907344/9186388EMAILDOCENTROTHERMDE指定传送炉类型DO11900300FFHTON2/AIRCANTROL组建于22尺寸技术数据可在设计布局图中找到，见122章图画、规格、电路图，121。23炉管数据技术数据可在设计布局图中找到，见122章图画、规格、电路图，121。231传送带炉管技术数据可在设计布局图中找到，见122章图画、规格、电路图，121及在备件列表，见127备件和耗材，122。材料NICRV网孔,宽螺旋线连接带232加热载片盒干燥器HTO的加热加热长度3,230MM热区数量3对流加热1233加热载片盒快速烧结FF的加热加热长度2,150MM热区数量6234冷却冷却线长度3,500MM冷却盒数量124加工温度校准设置HTO最高至530最大过程温度300校准设置FF最高至1050最大温度1区至4区700最大温度5区至6区105025媒介供应连接251水进一步的技术数据可以在设计布局图中找到，见122章图画、规格、电路图，121冷却水入口大约2025最小65升/分钟无悬浮物质和粒子最大8BAR，绝对量冷却水出口最小比入口小2BAR名称要求新水温度冷却水温度152599/995的安全清洁器或危险材料用清洁器）粉尘级别H的真空清洁器来清洁设备。如果设备操作于洁净室内，清洁器必须满足清洁室所有的应用要求。由于石英棒和传送带导致的粒子和磨损沉降在冷却载片盒上。此污染必须周期性清除以确保高质量硅片。按以下步骤进行1允许传送带空转。2使用手动操作气动阀炉管背面的开启冷却载片盒。3使用上面提到的真空清洁器和柔软管清洁冷却载片盒和棱纹冷却器。如果必要则清洁传送带下的加工空间。这需要移除传送带，见9241章传送带的更换，928。当进行此项工作时，通过视觉检查石英棒是否磨损或损坏。更换损坏的石英棒，见9223章冷却载片盒石英棒更换，925。10452清洁加热载片盒干燥器传送带的石英棒易碎此预防性维护程序影响生产过程。只使用满足欧洲标准EN60335269/IEC60335369（达到效率99/995的安全清洁器或危险材料用清洁器）粉尘级别H的真空清洁器来清洁设备。如果设备操作于洁净室内，清洁器必须满足清洁室所有的应用要求。由于石英棒和传送带导致的粒子和磨损沉降在加热载片盒干燥器HTO上。此污染必须周期性清除以确保高质量硅片。按以下步骤进行4允许传送带空转。5使用手动操作气动阀炉管背面的开启冷却载片盒。6使用上面提到的真空清洁器和柔软管清洁冷加热载片盒。如果必要则清洁传送带下的加工空间。这需要移除传送带，见9241章传送带的更换，928。当进行此项工作时，通过视觉检查石英棒是否磨损或损坏。更换损坏的石英棒，见9221章加热载片盒干燥器石英棒更换，924。10453重新调整加热载片盒干燥器HTO的加热器此预防性维护程序影响生产过程。加热器的电力供应线通过加热和冷却被机械和热力压迫。这就是为什么它们需要重检查和重新调整，如果必要。按以下步骤进行1冷却设备。2设置主电源开关至位置“0”并确保不能开启。3移除加热载片盒干燥器HTO区域尾部设备的SHEETMETALCOVER。4移除此区域的操作者面热偏转板。5移除此区域的保护板。6重新调整加热器连接。7安装保护板。8插入操作者面热偏转板。9固定SHEETMETALCOVER。10重启设备。10454检查对流加热的流速检控表此监控表安置于入口过滤器和对流加热风扇之间。其监控注入至加工腔室的空气速度。按以下步骤进行流速表监控器的更换1移除对流加热区域设备尾部的SHEETMETALCOVERS。2移除加热载片盒干燥器HTO区域的偏转板。3插入外部风速计至运动空气中加热载片盒干燥器HTO入口过滤器之后。4在可视化系统的“HEATING”标签上选择一介于10至100的热空气风扇速度。外部风速计显示的数值必须与可视化系统“GASSUPPLYSYSTEM”标签显示的数值一致，允许误差10。重复此步骤数次。5如果偏移过大则清洁流速表，必要时更换。更换组件时，遵循9252章对流加热流速表监控器的更换，931的描述。6在加热载片盒干燥器HTO区域插入偏转板。7插入SHEETMETALCOVERS89开启设备。10455检查废气冷凝器热的流速检控表流速表监控器安置于外部排气管的连接管中废气冷凝器的高度。其监控排出的加工气体。足够高的流速保证加工气体不能从加工腔室逃逸出。按以下步骤检查此流速表监控器1移除SHEETMETALCOVERS。2插入外部风速计至直接开启于废气冷凝器流注点之后的测量装置，其连接车间废气系统。3与设备用户配合进行测量。控制值必须由设备用户预先定义。外部风速计显示的数值必须与可视化系统“GASSUPPLYSYSTEM”标签显示的数值一致，允许误差10。重复此步骤数次。4如果偏移过大则清洁流速表，必要时更换。更换组件时，遵循92532章对流加热流速表监控器的更换，933的描述。5插入SHEETMETALCOVER。6重启设备1046每年预防性维护程序10461清洁加热载片盒快速烧结FF有关有害盒刺激性粉尘气体的警告工作于加热载片盒快速烧结FF上的隔热板可能导致有害粉尘粒子的释放工作于加热载片盒快速烧结时常留意“有害材料技术规则”TRGS521（德国有效），其有可能需要隔热板移除。预防性维护工作只能由专业、授权并受训员工进行。在进行预防性维护工作时封闭工作区域并确保未授权人员无权进入工作区域装配一外部废气系统于工作区域加热载片快速烧结FF之上当工作于隔热板时穿戴安全手套当工作于隔热板时保持穿戴FFP2过滤罩我们建议穿戴FFP2过滤罩作为粉尘聚集的保护。当工作于隔热板时穿戴安全服留意破损石英碎片传送带的石英棒易碎。操作时要格外小心。排汗或脂肪可能损坏传送带的石英棒。当工作于石英棒穿戴乙烯基安全手套注意，灼热表面文氏管喷嘴十分灼热。您可能灼伤。在开始任何维护工作前需使文氏管冷却，这样接触才无危险。当工作于文氏管喷嘴时穿戴安全手套此预防性维护程序影响生产过程。此预防性维护程序劳动强度大并耗时。我们建议此预防性维护程序由CENTROTHERM服务人员进行。只使用满足欧洲标准EN60335269/IEC60335369（达到效率99/995的安全清洁器或危险材料用清洁器）粉尘级别H的真空清洁器来清洁设备。如果设备操作于洁净室内，清洁器必须满足清洁室所有的应用要求。由于石英棒和传送带导致的粒子和磨损沉降在加热在加热载片盒快速烧结FF上。此污染必须周期性清除以确保高质量硅片。按以下步骤进行1冷却设备。2设置主电源开关至位置“0”并确保不能开启。3关闭外部媒介阀。4移除加热载片盒快速烧结FF区域设备尾部两边的SHEETMEATLCOVERS。5移除此区域的热保护板。6断开文氏管喷嘴，移除加热载片盒盖包括空气盒。7使用上面提到的真空清洁器来清洁加热载片盒。8移除隔层的上部隔热。使用毡制尖笔将一ID做至所有零部件并标出布局图，利用这些ID方便组装。9断开每个加热器和热电偶的的电力供应线并标记连接。10松开加热器和热电偶的固定装置并小心的将其移除。将安装位置画入一布局图。另外，移除热区5和6的灯冷却器的石英管。11使用上面提到的真空冷却器和软管清洁上部加工空间。12如果必要