04.水专项分析

江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆级芯片封装技术改造项目环境影响报告表水专项分析江苏纳沛斯半导体有限公司2020年3月目 录1总则11.1项目由来11.2编制依据11.3评价原则31.4评价范围及保护目标42工程废水污染分析63 水环境影响分析74.水污染防治措施84.1厂区污水处理可行性分析84.2厂区污水处理设施处理建设项目生产废水的可行性分析84.3污水处理厂接纳建设项目废水的可行性分析145.总量控制因子及建议指标215.1总量控制因子215.2总量建议指标216生产运营期监测计划226.1环境质量监测226.2监测仪器设备227结论237.1建设项目概况237.2 地表水环境质量现状237.3 污染物排放情况247.4 主要环境影响247.5 环境保护措施可行24晶圆级芯片封装技术改造项目环境影响报告表水专项分析1总则1.1项目由来江苏纳沛斯半导体有限公司于2014年6月注册成立，目前企业在江苏淮安工业园区建成年产12吋晶圆凸块3万张和8吋晶圆凸块12.4万张，PKG封装2.28亿颗，晶圆检测1.2亿张/年项目。厂区西邻昆仑路，南邻发展大道，北邻智能制造产业园。江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆片级芯片封装项目由2014年6月经淮发改投资备【2014】13号文予以立项备案，2015年8月25日由淮安市环保局以淮环发2015 254号文予以批复。2015年10月企业补充了江苏纳沛斯半导体晶圆片级芯片封装项目一期项目废水排放体系环境影响补充报告，2018年1月又补充了江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆片级芯片封装项目一期项目变动环境影响分析，2018年4月28日，项目一期建设项目通过淮安市环境保护局工业园区分局组织的竣工环境保护验收。现因原有项目产能及设备发生变化等因素，需要对原项目一期工程进行调整，进行技术改造，并取消原项目二期及三期工程，根据企业现有的实际情况及发展需要，企业现进行晶圆级芯片封装技术改造项目，目前已取得江苏淮安工业园区经济发展局备案（备案号：淮工经发备20203号）。依据关于修改建设项目环境影响评价分类管理名录部分内容的决定（2018.4.28）中“二十八、计算机、通信和其他电子设备制造业83 电子元件及电子专用材料制造中印刷电路板”，本项目需按要求编制报告表，并对水等要素进行专项分析。我公司受江苏纳沛斯半导体有限公司委托，承担该新建项目的环境影响评价工作，编制环境影响报告表，并对水污染防治措施及环境影响作专项评价。评价单位在实地踏勤，工程分析、环境现状监测和类比调查的基础上，编制了本项目水环境影响专项评价，报请审查，以作为主管部门对该项目的审批依据。1.2编制依据1.2.1国家法律、法规(1) 中华人民共和国环境保护法(修订版2015年1月1日施行)(2) 中华人民共和国环境影响评价法(修订版2018年12月29日施行)(3) 中华人民共和国水污染防治法(修订版2018年1月1日施行)(4) 中华人民共和国环境噪声污染防治法(1997年3月1日施行，2018年12月29日修订)(5) 中华人民共和国固体废物污染环境防治法(修正版2016年11月7日)(6) 中华人民共和国节约能源法(修订版2016年9月1日施行)(7) 中华人民共和国清洁生产促进法(修订版2012年7月1日施行)(8) 中华人民共和国循环经济促进法(2009年1月1日施行，2018年10月26日修订)(9)建设项目环境保护管理条例(国务院令2017年第682号)(10)淮河流域水污染防治暂行条例(修正版2011年1月8号施行)(11)国务院办公厅关于加强和规范新开工项目管理的通知(国办发200764号)(12)产业结构调整指导目录(2019年本)(发改委2019年第29号令)(13)工业和信息化部关于进一步加强工业节水工作的意见(工信部节2010218号)(10)关于印发的通知（环发2014197号）(12)关于加强环境保护重点工作的意见(国发201135号，2011年10月)(13)国务院关于印发水污染防治行动计划的通知，(国发201517号，2015年4月)(14)关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知(环环评2016150号)1.2.2地方法律、法规(1)江苏省排污口设置及规范化整治管理办法(苏环控97122号)(2)省政府办公厅关于加快节水型社会建设的意见(苏政办发200756号)(3)江苏省地表水新增水功能区划方案（苏政复2016106号）(4)关于印发江苏省建设项目主要污染物排放总量区域平衡方案审核管理办法的通知(苏环办201171号)(5)省政府办公厅关于印发(2012年本)的通知(苏政办发20139号)及关于修改江苏省工业和信息产业结构调整指导目录(2012年本)部分条目的通知(苏经信产业2013183号)(6)关于印发江苏省环保厅实施工作规程的通知(苏环办2013365号)(7)省政府关于印发江苏省水污染防治工作方案的通知(苏政发2015175号)(8)淮安市产业结构调整指导目录(2018-2020年版)(淮政办发2018号)1.2.3技术标准及文件依据（1）环境影响评价技术导则总纲（HJ2.1-2016）；（2）环境影响评价技术导则 地面水环境（HJ/T 2.3-2018）；1.3评价原则1.3.1评价目的本次环评根据项目的工程分析，给出水污染物、源强、污染物排放方式和去向等参数，结合该项目的污染特点，对地表水污染防治措施及环境影响进行专项分析，为评价污染防治对策的可行性提出完善改进建议，从而实现污染物排放总量控制创造了条件，保证实现达标排放，减少项目对环境产生的危害。1.3.2评价工作等级根据环境影响评价技术导则-地面水环境HJ/T2.32018中的有关规定，建设项目地表水环境影响评价等级按照影响类型、排放方式、排放量或影响情况、受纳水体环境质量现状、水环境保护目标等综合确定。水污染影响型建设项目根据排放方式和废水排放量划分评价等级，见表1-1。表1-1 水污染影响型建设项目评价等级判定评价等级判定依据排列方式废水排放量 Q /（m3/d）;水污染物当量数 W/（无量纲）一级直接排放Q20000或W6000二级直接排放其他三级A直接排放Q200且W60三级B间接排放注1：水污染物当量数等于该污染物的年排放量除以该污染物的污染当量值（见附录A），计算排放污染物的污染物当量数，应区分第一类水污染物和其他类水污染物，统计第一类污染物当量数总和，然后与其他类污染物按照污染物当量数从大到小排序，取最大当量数作为建设项目评价等级确定的依据。注2：废水排放量按行业排放标准中规定的废水种类统计，没有相关行业排放标准要求的通过工程分析合理确定，应统计含热量大的冷却水的排放量，可不统计间接冷却水、循环水以及其他含污染物极少的清净下水的排放量。注3：厂区存在堆积物（露天堆放的原料、燃料、废渣等以及垃圾堆放场）、降尘污染的，应将初期雨污水纳入废水排放量，相应的主要污染物纳入水污染当量计算。注4：建设项目直接排放第一类污染物的，其评价等级为一级；建设项目直接排放的污染物为受纳水体超标因子的，评价等级不低于二级。注5：直接排放受纳水体影响范围涉及饮用水水源保护区、饮用水取水口、重点保护与珍稀水生生物的栖息地、重要水生生物的自然产卵场等保护目标时，评价等级不低于二级。注6：建设项目向河流、湖库排放温排水引起受纳水体水温变化超过水环境质量标准要求，且评价范围有水温敏感目标时，评价等级为一级。注7：建设项目利用海水作为调节温度介质，排水量500万m3/d，评价等级为一级；排水量500万m3/d，评价等级为二级。注8：仅涉及清净下水排放的，如其排放水质满足受纳水体水环境质量标准要求的，评价等级为三级A。注9：依托现有排放口，且对外环境未新增排放污染物的直接排放建设项目，评价等级参照间接排放，定为三级B。注10：建设项目生产工艺中有废水产生，但作为回水利用，不排放到外环境的，按三级B评价本项目废水处理原则为“雨污分流、清污分流、分类收集、分质处理”。其中一般清洗废水经预处理后排入淮安市第三污水处理厂。电镀工段清洗废水部分回用于生产，其余汇同含氰废气吸收塔废水经车间电镀废水处理设施进行处理，处理后的废水排入淮安市第三污水处理厂处理。生活污水经化粪池预处理后排入淮安市第三污水处理厂处理，纯水站浓缩废水作为清下水部分用于厂区绿化，其余经雨水管网就近排入水体。淮安工业园污水处理厂处理达到城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)中一级A标准后，排入清安河。因此，本次环评地表水环境评价等级确定为三级B，因此本项目可不进行水环境影响预测。1.4评价范围及保护目标1.4.1评价范围根据环境影响评价技术导则 地面水环境（HJ/T2.3-2018）的有关规定，三级B其评价范围应符合以下要求：a)应满足其依托污水处理设施环境可行性分析的要求；b)涉及地表水环境风险的，应覆盖环境风险影响范围所及的水环境保护目标水域。1.4.2保护目标经现场实地调查，本项目所在地无自然保护区和其它人文遗迹，评价范围内有关水环境保护目标见表1-1。表1-1 主要环境保护目标环境要素环境保护目标方位距离（m）规模（人）执行标准地表水清安河东5600纳污/中型河流地表水环境质量标准（GB3838-2002）类项目属于江苏淮安工业园区规划用地，根据江苏省生态红线区域保护规划，项目主要的生态红线保护区域详见附图4。2工程废水污染分析本项目废水源强分析见“工程分析专项第6.1节”，水平衡见“工程分析专项第5章”。3 水环境影响分析含镍废水、含铜废水、含银废水、含氰废水及含氰废气吸收塔排水经各自预处理达到半导体行业污染物排放标准（DB32/3747-2020）间接排放标准后接管至园区污水处理厂（淮安市第三污水处理厂）电镀污水处理设施处理；非电镀工段清洗废水及酸性废气吸收塔排水经厂区污水处理站处理后与预处理后的生活污水一起达到污水处理厂接管要求后通过污水管网排入园区污水处理厂（淮安市第三污水处理厂）一般工业废水污水处理设施集中处理。淮安工业园污水处理厂处理达到城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)中一级A标准后，排入清安河。本项目生活污水、一般清洗废水可接管至园区一般废水处理系统处理，共计1317t/d，占园区污水处理厂一般工业废水处理系统剩余余量的8.78%，因此从水量上淮安工业园区污水处理厂完全有能力接纳本项目污水。污水管网已经铺设到本项目所在地，本项目废水水质远低于淮安工业园区污水处理厂接管标准，不会对淮安工业园区污水处理厂的正常运行产生冲击，且废水排放量相对于设计能力来讲较小，污染物浓度较低，经淮安工业园区污水处理厂处理后能够做到达标排放，对周边水环境影响较小。含镍废水、含铜废水、含银废水、含氰废水及含氰废气吸收塔排水经各自预处理达到半导体行业污染物排放标准（DB32/3747-2020）间接排放标准后接管至园区污水处理厂（淮安市第三污水处理厂）电镀污水处理设施处理，目前淮安工业园区污水处理厂电镀污水处理设施已经运营，且废水排放量相对于设计能力来讲较小，污染物浓度较低，不会对淮安工业园区污水处理厂的正常运行产生冲击，经淮安工业园区污水处理厂处理后能够做到达标排放，对周边水环境影响较小。4.水污染防治措施4.1厂区污水处理可行性分析本项目废水处理原则为“雨污分流、清污分流、分类收集、分质处理”。其中一般清洗废水经预处理后排入淮安市第三污水处理厂。电镀工段清洗废水部分回用于生产，其余汇同含氰废气吸收塔废水经车间电镀废水处理设施进行处理，处理后的废水排入淮安市第三污水处理厂处理。生活污水经化粪池预处理后排入淮安市第三污水处理厂处理，纯水站浓缩废水作为清下水部分用于厂区绿化及冲厕，其余经雨水管网就近排入水体。淮安工业园污水处理厂处理达到城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)中一级A标准后，排入清安河。4.2厂区污水处理设施处理建设项目生产废水的可行性分析（1）废水水质建设项目废水为纯水制备废水、生活污水、清洗废水及废气处理设施排水。水制备废水定期排水，年排放量为465337t，部分用于厂区绿化，其余全部作为清下水排入雨水管网。生活废水，建设项目生活污水产生量为11880t/a，主要污染物及浓度分别约为COD350mg/L、SS250mg/L、氨氮30mg/L、总磷3.5mg/L。一般清洗废水，生产过程中非电镀清洗工序产生清洗废水，主要污染物及浓度分别为COD200mg/l、SS200mg/l、氨氮10mg/l、总磷3mg/l。废气处理废水，建设项目酸性废气吸收塔产生的废水无重金属离子及其他有毒有害物质，因此只需排入一般废水处理设施中处理，含氰废气吸收塔产生的清洗废水中含有氰化物，需排入含氰废水处理设施中处理。电镀废水本项目电镀废水分为含铜废水、含氰废水、含镍废水、含银废水。含铜废水主要污染物及浓度分别为COD120mg/l、铜2mg/l；含氰废水主要污染物及浓度分别为COD120mg/l、氰化物2.82mg/l、总金0.25mg/L、总铊0.004mg/L。含镍废水主要污染物及浓度分别为COD120mg/l、镍12mg/l。含银废水主要污染物及浓度分别为COD120mg/l、银0.24mg/l。（2） 废水水质特点本项目工业废水分为一般废水以及电镀废水。一般废水主要包括非电镀工序清洗废水和酸性废气处理废水，电镀废水包括含铜废水、含镍废水、含氰废水、含银废水和含氰废气处理废水。一般废水的污染物主要包括COD、SS等，电镀废水主要的污染物是铜、镍、氰、银等重金属。本项目电镀废水，主要是对电镀后的芯片清洗产生的废水，清洗之前对镀金工序的带出液设置了回收装置，并在清洗槽底部设置了金回收装置，其余电镀工序不在设置回收装置。本项目清洗用超纯水枪清洗，清洗时晶圆高速旋转，每个晶圆电镀后清洗一次，水洗温度为22左右。（3） 各股废水预处理本项目废水处理示意图见工程分析第5章水平衡图。具体废水预处理效率及水质变化情况见工程分析第6章表6-36-5。（4） 厂区现有废水处理设施工艺流程本项目废水处理原则为“雨污分流、清污分流、分类收集、分质处理”。其中一般清洗废水经预处理后排入淮安市第三污水处理厂。电镀工段清洗废水部分回用于生产，其余汇同含氰废气吸收塔废水经车间电镀废水处理设施进行处理达到半导体行业污染物排放标准（DB32/3747-2020）间接排放后排入淮安市第三污水处理厂电镀污水处理设施处理。生活污水经化粪池预处理后排入淮安市第三污水处理厂处理，纯水站浓缩废水作为清下水部分用于厂区绿化及冲厕，其余经雨水管网就近排入水体。淮安工业园污水处理厂处理达到城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)中一级A标准后，排入清安河。厂内设有两套污水处理系统，一般清洗废水处理系统现有设计处理能力能力为500t/d,采用混凝沉淀的工艺，目前正常运行。电镀废水处理系统处理能力为50t/d,已建成且尚有余量。项目对各类废水分质进行收集，项目各类废水管道均采用明管进行收集、排放。本项目设置废水收集池，具体设置情况如下：项目设置980m3一般清洗废水收集池，位于废水站地下，对一般清洗废水等进行收集后，通过泵将废水接入污水处理厂；设置四个10m3重金属废水收集池，对电镀废水等进行收集。工艺如下：电镀废水电镀废水处理包括含铜废水处理系统、含镍废水处理系统、含氰废水处理系统、含银废水处理系统。含银废水处理工艺流程图见图4-1,含铜废水处理工艺流程图见图4-2，含镍废水处理工艺流程图见图4-3，含氰废水处理工艺流程图见图4-4。含银废水序批式反应池达标排放含银废水收集池压滤机污泥外运处置污泥浓缩池上清液含氰废水收集池滤液NaOH、PAC、PAM、H2SO4图4-1 含银废水处理系统含铜废水序批式反应池达标排放NaOH、PAC、PAM、H2SO4含铜废水收集池压滤机污泥外运处置污泥浓缩池池上清液含氰废水收集池滤液图4-2 含铜废水处理系统含镍废水序批式反应池达标排放含镍废水收集池压滤机污泥外运处置污泥浓缩池池上清液含氰废水收集池滤液NaOH、PAC、PAM、H2SO4图4-3 含镍废水处理系统序批式反应池压滤机污泥外运处置污泥浓缩池池上清液含氰废水收集池滤液达标排放含氰废水NaOH、NaClO、PAC、PAM、H2SO4图4-4 含氰废水处理系统本项目电镀废水处理均采用批次处理，一日分三次处理，为节约成本，四股废水共用一个污泥浓缩池和一台压滤机，污泥浓缩池上清液和压滤机滤液均回到含氰化物废水收集池，主要考虑到污泥浓缩池上清液及压滤液可能存在处理不彻底，需要进行二次再处理，已确保压滤液和污泥浓缩池上清液达标排放；含银废水进入收集池，通过废水提升泵，提升进入含银废水序批式反应池，加入NaOH进行酸碱中和至中性，主要产生氢氧化银，氢氧化银极其不稳定，很快转化为氧化银的沉淀物，随后加入混凝剂PAC及絮凝剂PAM，形成絮状沉淀，银离子转化进入污泥中，污泥由污泥泵泵入污泥浓缩池，随后用H2SO4将上清液PH值回调到69后，排放入园区电镀废水管道；含铜废水进入收集池，通过提升泵进入含铜废水序批式反应池，加入NaOH，使水的pH值在8.59.5之间，使Cu2+生成Cu(OH)2沉淀，随后加入混凝剂PAC及絮凝剂PAM，形成絮状沉淀，将Cu2+转化沉淀物进入污泥中，污泥由污泥泵泵入污泥浓缩池，随后用H2SO4将上清液PH值回调到69后，排放入园区电镀废水管道；含镍废水进入收集池，通过提升泵进入含镍废水序批式反应池，加入NaOH，使水的pH值在1113之间，使Ni2+生成Ni(OH)2沉淀，随后加入混凝剂PAC及絮凝剂PAM，形成絮状沉淀，将Ni2+转化沉淀物进入污泥中，污泥由污泥泵泵入污泥浓缩池，随后用H2SO4将上清液pH值回调到69后，排放入园区电镀废水管道；含氰废水进入收集池，通过提升泵进入含氰废水序批式反应池，加入足够量的NaClO进行破氰反应，并控制pH值在89左右，具体反应如下:CN-+ClO-+2H2O=CNCl+2OH-CNCl+2OH-=CNO-+Cl-+H2O2CNO-+3 ClO - +2H+ =2CO2+N2+3Cl-+H2O只要氧化剂足够，氰根离子很快就转化毒性极低的氰酸根，随后继续被被氧化，转换为无毒的氮气和二氧化碳。待反应结束后时，投加混凝剂PAC及絮凝剂PAM，将反应后产生的悬浮物转移到污泥中，经沉淀后用泵泵入污泥浓缩池，再用H2SO4将上清液pH值回调到69后，排放入园区电镀废水管道。其他清洗废水处理设施见图4-5。图4-5 厂区污水处理设施（其他清洗废水）示意图厂内污水处理设施处理废水工艺简介：车间排放的生产废水由调节池收集，以调匀水质，并用泵提升至pH粗调池。在pH粗调池中投加液碱，将废水pH值调整至接近最佳反应pH值，然后在pH精调池中投加液碱以确保废水的pH在最佳反应pH值范围内。同时在pH精调池中投加CaCl2，使废水中的F-、PO43-与Ca2+反应，在此池中生成CaF2、Ca3(PO4)2沉淀。随后废水自流进入混凝反应池，在混凝反应池中投加混凝剂（PAC），利用网捕作用，将废水中的污染物凝结成小颗粒。废水由混凝反应池自流入絮凝反应池，在絮凝反应池池中投加絮凝剂（PAM），利用吸附架桥的作用，将废水中的污染物形成大的，易沉淀的絮状物。一系列混凝、絮凝反应后废水自流入斜板沉淀池去除，上清液自流进入中间水池，经泵提升至后续石英砂过滤器、活性炭过滤器，进一步去除水中的悬浮物以及有机物，确保废水达到接管标准排放。斜板沉淀池沉降的污泥进入污泥浓缩池、板框压滤机经脱水后委外处置，污泥浓缩池上清液及滤液自流回到调节池等待再次处理。重金属回收装置本项目在镀金的清洗槽底部设置了金回收装置。金回收采用树脂塔吸附，树脂塔吸附重金属的原理是：溶液中的离子向树脂颗粒表面扩散并向树脂颗粒内部运移，进行离子交换反应；被交换出的反离子从树脂颗粒内部向表面扩散，进而扩散到溶液中，最终完成了金的回收。金回收有效减少了电镀废水中金的排放量，并实现了资源的回收利用。项目废水回用情况根据相关要求，电镀废水30%以上回用于的生产，本项目设备电镀环节采用逆流清洗，可满足相关要求，其设备按要求做好防渗措施。运行情况目前，污水处理系统稳定，一般废水实际处理量为161t/d,电镀废水实际处理量为100t/a。根据企业的验收监测报告数据可知，企业现有污水处理系统可达标接管。二期废水的情况二期废水的水质与一期完全相同。电镀废水处理能力为50t/d，实际处理量为0.3t/d，拟建项目全厂电镀废水0.92t/d，余量可满足本项目需要，电镀废水处理系统可依托现有装置。一般废水处理能力为500t/d，拟建项目一期技改后废水产生量为259t/d，完全可以依托现有设施。二期废水的产生量为1150t/d,现有设施已经无法满足需要，因此企业需要再扩建厂区污水处理设施，处理工艺不变，使一般废水处理能力达到1500t/d。（4）技术可行性分析厂区废水处理工艺中生化处理对氨氮、总磷以及有机物等都具有很好的去除效率，经厂内污水处理设施处理后的废水与生活废水混合接管至园区污水处理厂（淮安市第三污水处理厂）一般废水处理设施集中处理；电镀后各股清洗废水经各自预处理后可实现达标排放。4.3污水处理厂接纳建设项目废水的可行性分析淮安工业园区污水处理厂（淮安市第三污水处理厂）处理工艺简介划调整后，淮安市第三污水处理厂污水收集范围不变和总处理规模不变，污水处理工艺调整为两套，其中一套是仍以改良型A2/O为主体工艺的一般工业废水和生活污水处理工艺，处理规模为2万m3/d。另一套用于专门处理电子元器件（含电镀）生产产生的电镀工业废水，处理规模为2万m3/d。目前，淮安第三污水处理厂一期一般废水处理系统（2万t/d）已建成并处于试运行阶段，收集范围为整个淮安工业园区，即西起宁连一级公路，南至淮河入海水道北侧、北至通甫路、东至徐淮盐高速公路，共约58平方公里范围。目前处理量为0.5万t/d，剩余余量为1.5万t/d。从水质上看，规划调整后园区电镀废水主要污染物为COD、石油类、氨氮、挥发酚、悬浮物、总氰、铜和镍，园区一般工业废水、生活污水及其他废水主要污染物为COD、石油类、氨氮、挥发酚、悬浮物；污水处理厂电镀废水处理系统采用以RO系统为主的组合工艺；一般废水处理系统采用采用细格栅+旋流沉砂池+A2/O百乐克生化池+纤维转盘滤池+紫外线消毒工艺进行处理，园区电镀废水接管至污水处理厂电镀废水处理系统处理达半导体行业污染物排放标准（DB32/3747-2020）间接排放标准限值要求后排入清安河；园区一般工业废水、生活污水及其他废水经企业预处理后达接管标准后接管至一般废水处理系统，处理达城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)表1一级A标准后排入清安河。（1） 一般工业废水处理工艺流程。污水处理采用细格栅+旋流沉砂池+A2/O百乐克生化池+纤维转盘滤池+紫外线消毒工艺进行处理，其详细工艺流程见图4-7及图4-8。图4-7 污水处理工艺流程图图4-8 污泥处理工艺流程图流程说明：（1）粗格栅4#污水提升泵站建于发展大道与栖霞路交叉口，规划红线面积为1917.6m2，该提升泵站距离本项目的距离约为1km，规划服务区域的污水均经该污水提升泵站进入本项目污水处理厂，在该污水提升泵站内设置了两台粗格栅，主要去除大尺寸的漂浮物和悬浮物以保护水泵，并去除不利于后续处理过程的杂质。因此，本项目厂区内不设置粗格栅。（2）细格栅及旋流沉砂池一般情况下，由于在污水系统中有些井盖密封不严，有些支管连接不合理以及部分家庭院落和工业企业雨水进入污水管，在污水中会含有相当数量的砂粒等杂质。设置沉砂池可以避免后续处理构筑物和机械设备的磨损，减少管渠和处理构筑物内的沉积，避免重力排泥困难，防止对生物处理系统和污泥处理系统运行的干扰。沉砂池一般按去除相对密度2.65、粒径0.2mm以上的砂粒设置。在前面加设细格栅，可以进一步去相对较大杂物，保护后续处理设备、防止管道堵塞。（3）A2/O百乐克系统本项目生化系统结合A2/O和百乐克工艺各自的优点，采用A2/O百乐克工艺对废水进行处理。A2/O百乐克系统由缺氧区、厌氧区、好氧区、二沉池及稳定池组成，旋流沉砂池出水首先进入缺氧区，同时二沉池污泥回流到缺氧区，在其中完成反硝化；随后进入厌氧区，在其中完成厌氧释磷；厌氧区出水进入好氧区，通过好氧菌的作用完成有机物的去除及硝化过程；好氧区出水进入二沉池，进行泥水分离，二沉池的部分污泥回流至缺氧区，其余作为剩余污泥进行排放；二沉池出水进入稳定池，在其中加入絮凝剂（PAC、PAM），可进一步去除水中的悬浮物质，降低水中的溶解性磷酸盐，同时对水中的重金属离子有一定的去除作用。（4）纤维转盘滤池纤维转盘滤池可以对稳定池后的污水再进行进一步的过滤，去除水中残留的少量悬浮类和胶体类杂质，同时可以进一步降低污水中的BOD、COD、SS等，从而保证出水水质，满足城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)的规定的一级A标准。（5）紫外线消毒渠污水经过以上处理后，水质已经改善，细菌含量也大幅度减少，但细菌的绝对值仍很可观，并存在有病原菌的可能。因此在排放水体前利用紫外线进行消毒处理。（6）污泥处理系统二沉池、稳定池及纤维转盘滤池的污泥进入污泥浓缩池中，经浓缩后的混合污泥含水率可降低至98%左右，随后打入带式浓缩脱水一体机，并在进入带式浓缩机前加入PAM对污泥进行调理，经压滤后污泥含水率可降至80%以下。进出水水质及污染物去除效率淮安市第三污水处理厂设计进出水水质及污染物去除效率见表4-3。表4-3 第三污水处理厂设计进、出水水质 mg/L污染物指标CODCrBOD5SSNH3-NTPpH进 水5002002003556-9出 水5010105(8)*0.56-9去除率（）90959585.7（77.1）90/（2） 电镀废水处理工艺流程电镀废水处理站为专门处理电子元器件（含电镀）生产产生的电镀工业废水，处理规模为2万m3/d。电镀废水处理采用以RO系统为主的组合工艺，详细工艺流程见图4-10。各处理工艺的处理效率见表4-4。园区机械电子（含电镀）废水经第三污水处理厂RO系统处理后，净水浓度Ni2+0.02 mg/L、CN-0.15mg/L、Cu2+0.002mg/L、CODCr3.59mg/L、电导率小于100，Ph 69，满足城市污水再生利用 城市杂用水水质（GB/T 18920-2002）中绿化、冲渣清扫等杂用水质标准和城市污水再生利用 工业用水水质（GB/T19923-2005）标准，可回用于园区绿化用水和园区工业企业用水，中水回用于园区企业可行。表4-4 各种废水的处理效率污水类型含镍废水含氰废水显影去膜废水处理工艺精密过滤、SI-RO（二级）两级氯氧化破氰后与一般清洗废水一起处理酸化、吸附、过滤后与一般清洗废水一起处理污染指标CODNi2+SSCODCN-SSCODCu2+NH3-N进水水质(mg/L)150 50 50 275 50 30 30943 0.63去除率97%99.95%98%70%99.7%0%70%10.0%10%出水水质(mg/L)4.50 0.02 1.00 82.50 0.1530.00 9282.7 0.57污水类型络合废水有机废水一般清洗废水处理工艺FENTON氧化（二级）后与一般清洗废水一起处理混凝沉淀、厌氧好氧混凝、TFS-OF膜系统、RO膜系统污染指标CODCu2+NH3-NCODCu2+NH3-NCODCu2+EC进水水质(mg/L)601.615.05.52531.26.294.33120 50 2000 去除率40%0.0%30%30%95.0%10%92%99.0%95%出水水质(mg/L)36115.00 3.87371.840.323.90 3.59 0.002 100 20去污泥池调节池含镍废水两级精密过滤SI-RO系统委外回收浓缩液储存池废水调节池含氰废水废水调节池反应/浓缩池TFS-OF系统一级破氰池PH/缓冲池二级破氰池TFS-RO系统浓液显影去膜废水废水调节池酸化池脱水机干污泥外运有机废水废水调节池混凝沉淀络合废水废水调节池PH调节反应池高浓度废水调节池PH调节Fenton混凝沉淀PH调节/缓冲池回用水池生化系统污泥池脱水机滤液去污泥池一般清洗废水排放回用厌氧好氧图4-10 电镀废水处理工艺流程图江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆级芯片封装技术改造项目水专项分析接管可行性分析淮安市第三污水处理厂一期一般废水处理系统的污水管网已经建成，本项目生活污水、一般工业废水可接管至园区一般废水处理系统处理。电镀废水处理系统已建设完成并已运行，园区电镀废水专用管道共规划6条管道，分别是含镍废水、含氰废水、显影去膜废水、络合废水、有机废水以及一般清洗废水。本项目共涉及到其中的3条管道，分别是含镍废水、含氰废水以及络合废水。含镍废水、含铜废水、含银废水、含氰废水经各自预处理达到半导体行业污染物排放标准（DB32/3747-2020）间接排放标准后接管至园区污水处理厂（淮安市第三污水处理厂）电镀污水处理设施处理，其中含镍废水排放至园区含镍废水管道、含氰废水排放至园区含氰废水管道、含银和含铜废水排放至络合废水管道。电镀废水占电镀废水处理系统0.04%，电镀废水接管至电镀废水处理系统集中处理是可行的。275.总量控制因子及建议指标5.1总量控制因子根据江苏省排放污染物总量控制暂行规定及江苏省建设项目主要污染物排放总量平衡方案审核管理办法（试行），结合该工程项目排污特征，确定本项目废水总量控制因子为：废水中COD、氨氮。5.2总量建议指标在本报告前述工作成果的基础上，得建设项目污染物排放情况及总量控制建议指标。最终排入园区污水处理厂的生产废水的废水量一期：84856m3/a、COD12.96/a、氨氮0.81t/a；二期：349591m3/a、COD50.03t/a、氨氮2.93t/a;全厂：434447m3/a、COD62.99t/a、氨氮3.74t/a，其他污染物作为考核指标。本项目废水满足半导体行业污染物排放标准（DB32/3747-2020）间接排放标准，其水污染物排放总量纳入淮安工业园区总量指标，不需另外申请总量。6生产运营期监测计划6.1环境质量监测为了有效的了解本单位的排污情况和环境现状，必须对各类排污口（点）进行定期监测。根据项目特点，环境监测应包括对废水、废气、噪声进行例行监测。监测设施可根据实际情况由厂方自测或委托有资质的环境监测单位监测。具体内容如下：（1）废水本项目废水设有在线监测仪表，对车间排口及厂区总排口的流量、COD、NH3-N进行自动监测，总氰化物、总铜、总镍、总银车间排口每日监测一次，厂区总排口每月监测一次。若自身监测设备不能满足需要，可通过委托当地环境监测部门进行。监测内容汇总见表6-1。表6-1 环境监测内容及监测频率表监测类别监测位置监测内容监测频率废水车间废水排口（排入污水处理厂）流量、COD、NH3-N自动监测总氰化物、总铜、总镍、总银、总金、总铊每日一次厂区废水总排口（排入污水处理厂）流量、COD、NH3-N自动监测总氰化物、总铜、总镍、总银、总金、总铊每月一次雨水雨水排口流量、COD需要时监测发生事故时必须对厂界和保护目标进行实时监测，并对所有废水排放口进行实时监测。6.2监测仪器设备企业可根据需要监测的项目，以及对化验人员的培训情况配套必要的仪器，也可委托当地环境监测站进行监测。7结论7.1建设项目概况江苏纳沛斯半导体有限公司于2014年6月注册成立，目前企业在江苏淮安工业园区建成年产12吋晶圆凸块3万张和8吋晶圆凸块12.4万张，PKG封装2.28亿颗，晶圆检测1.2亿张/年项目。厂区西邻昆仑路，南邻发展大道，北邻智能制造产业园。江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆片级芯片封装项目由2014年6月经淮发改投资备【2014】13号文予以立项备案，2015年8月25日由淮安市环保局以淮环发2015 254号文予以批复。2015年10月企业补充了江苏纳沛斯半导体晶圆片级芯片封装项目一期项目废水排放体系环境影响补充报告，2018年1月又补充了江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆片级芯片封装项目一期项目变动环境影响分析，2018年4月28日，项目一期建设项目通过淮安市环境保护局工业园区分局组织的竣工环境保护验收。现因原有项目产能及设备发生变化等因素，需要对原项目一期工程进行调整，进行技术改造，并取消原项目二期及三期工程，根据企业现有的实际情况及发展需要，企业现进行晶圆级芯片封装技术改造项目，目前已取得江苏淮安工业园区经济发展局备案（备案号：淮工经发备20203号）。7.2 地表水环境质量现状项目废水纳污河流清安河是淮安市区和楚州部分地区主要排涝、排污沟渠，源于西南化工区，流经楚州区后穿涵洞进淮河入海水道南偏泓，总长20.1km，其间无清水补给。主要受纳主城区污水处理厂排水，其中淮安农校断面至清安河口断面因为有淮安区居民生活污水及排涝水排入，导致清安河口断面污染加重。清安河水质状况属于重度污染，未达到水质功能区划类要求。所监测的2个断面水质均为劣V类。其中淮安农校断面主要污染物为氨氮、总磷、五日生化需氧量，年均值分别超标2.87、2.20、0.55倍。清安河口断面主要污染物为氨氮、动植物油、化学需氧量，年均值分别超标9.38、9.00、2.26倍。总磷最大值出现在淮安农校断面，氨氮、动植物油、化学需氧量、五日生化需氧量最大值出现在清安河口断面。7.3 污染物排放情况本项目水污染物接管量控制指标为：废水量一期：84856m3/a、COD12.96/a、氨氮0.81t/a；二期：349591m3/a、COD50.03t/a、氨氮2.93t/a;全厂：434447m3/a、COD62.99t/a、氨氮3.74t/a，其他污染物作为考核指标。本项目废水满足半导体行业污染物排放标准（DB32/3747-2020）间接排放标准，其水污染物排放总量纳入淮安工业园区总量指标，不需另外申请总量。7.4 主要环境影响本项目废水处理原则为“雨污分流、清污分流、分类收集、分质处理”。其中一般清洗废水经预处理后排入淮安市第三污水处理厂。电镀工段清洗废水部分回用于生产，其余汇同含氰废气吸收塔废水经车间电镀废水处理设施进行处理，处理后的废水排入淮安市第三污水处理厂处理。生活污水经化粪池预处理后排入淮安市第三污水处理厂处理，纯水站浓缩废水作为清下水部分用于厂区绿化及冲厕，其余经雨水管网就近排入水体。淮安工业园污水处理厂处理达到城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)中一级A标准后，排入清安河。各股废水可通过污水管网排入园区污水处理厂集中处理，对周围水环境影响较小。各股废水均可通过污水管网排入园区污水处理厂集中处理，对周围水环境影响较小。7.5 环境保护措施可行厂区废水处理工艺中生化处理对氨氮、总磷以及有机物等都具有很好的去除效率，经厂内污水处理设施处理后的废水与生活废水混合接管至园区污水处理厂（淮安市第三污水处理厂）一般废水处理设施集中处理；电镀后各股清洗废水经各自预处理后可实现达标排放。建设项目地表水环境影响评价自查表工作内容自查项目影响识别影响类型水污染影响型 R；水文要素影响型 水环境保护目标应用水水源保护区 ；饮用水取水口 ；涉水的自然保护区 ；重要湿地 ；重点保护与珍稀水生生物的栖息地 ；重要水生生物的自然产卵地及索耳场、越冬场和洄游通道、天然渔场等水体；涉水的风景名胜区 ；其他 影响途径水污染影响型水文要素影响型直接排放 ；间接排放 R；其他 水温 ；径流 ；水域面积 影响因子持久性污染物 R；有毒有害污染物 ；非持久性污染物 R；pH值 ；热污染 ；富营养化 ；其他 水温 ；水位（水深） ；流速 ；流量 ；其他 评价等级水污染影响型水文要素影响型一级 ；二级 ；三级A ；三级B R一级 ；二级 ；三级 现状调查区域污染源调查项目数据来源已建 ；在建 ；拟建 ；其他 ；拟替代的污染源 排污许可证 ；环评 ；环保验收