ESD 静电放电手册.doc

静电放电手册Page 15 of 15RevDateDescriptionOriginator0012010-6-12New ReleasePatricia Jin目录 ( page)1. 目的-3 2. 适用范围-33. 职责-34. 概要-45 5. 本公司的静电敏感器件列表-56. 静电防护区域（EPA）的界定和标识-587.静电敏感区域的工程环境防静电规范-89 8.静电敏感区域的人员防静电规范-9 11 9.静电敏感区域的防静电操作规范-1112 10.静电敏感区域的工作台、工装、设备以及防静电器材的防静电规范-12-14 11. 参考文件-14161 目的规定防静电控制技术规范，为产品在元器件进料、制造、贮存、包装等各个环节提供明确可靠的ESD 技术支持，从整体上提高公司静电防护和控制水平，提高客户的满意度。2 范围范围本规范适用于公司内部静电防护工程的设计、使用、管理、维护和检测。同时，此标准也适用于公司的电子设备的最终用户的静电放电控制。 3 公司ESD组织结构和职责任 命 书本公司依据ESD S20.20:2007防静电管理体系要求建立的，为确保公司防静电管理体系有效地建立、健全、运行和保持，特任命朱雪峰为ESD小组组长，全面负责ESD体系的建立、实施、保持、改进，并负责与ESD体系有关的内外部各方的联系协调工作。总经理：郭锦标2010年06月12日3.1 ESD小组组长确保职责和权限被明确定义并得到充分沟通，以保证公司ESD体系有效运行。3.2 ESD 小组：3.2.1 制定ESD程序文件、检测标准、和检测项目和检测频率。3.2.2 建立ESD培训制度，包括每年的周期性培训。3.2.3 制定ESD稽核项目、稽核频率并指定稽核人员。3.2.4 抽样检查公司ESD日常执行情况。3.2.5 ESD相关的计量仪器定期校验。3.2.6 ESD基础设施的建立。3.2.7 各静电防护区域静电防护线网的维护和检测。3.2.8 温度和湿度的管控。3.2.9 对新进厂的职员工进行防静电知识的培训。3.3 采购部：3.3.1 按要求购置防静电物品。3.3.2 需要时取得防静电物品的防静电证书。3.4 生产部：3.4.1 执行防静电措施。3.4.2 部门防静电知识的宣导与培训。3.4.3 部门防静电项目的检查。4 概要本文主要从静电控制的五个方面(即人员、设备、物料、方法和环境)来论述 ESD 规范，贯穿了公司产品设计、制造、贮存、包装等各个环节防静电控制，详细介绍了防静电设施的技术要求、检测方法和作业指导等内容。4.1 定义4.1.1 ESD： Electro-Static Discharge 静电释放。4.1.2 抗静电材料：同种材料或类似材料相互摩擦，几乎不产生静电荷的材料。4.1.3 导静电材料：材料表面电阻率每平方米小于105的材料。4.1.4 静电消散性材料：表面电阻率介于每平方米105与1012之间的材料。4.1.5 绝缘材料：表面电阻率每平方米大于等于1012的材料。4.1.6 表面电阻率：每平方米材料表面两个电极间的电阻。4.1.7 静电敏感器件：指IC类与晶体管（二极管）类电子元件。4.1.8 静电敏感区：指生产区域、存储区域、检验区域。4.1.9 非静电敏感区：指除了静电敏感区以外的所有区域,其中包括部分在静电敏感区中划分的非静电敏感区.4.1.10 防静电工作区：配备各种防静电设备和器材、能限制静电电位、具有确定边界和专门标记的适于从事静电防护操作的场所。4.1.11 接地：电子连接到能供给或接受大量电荷的物体（如大地、舰船或运载工具外壳等）。4.1.12 硬接地：直接与大地电极作导电性连接的一种接地方式。4.1.13 软接地：通过一足以限制流过人体的电流达到安全值的电阻连接到大地电极的一种接地方式。4.1.14 大地电极：埋于地下与大地保持良好的电气连接的金属体或金属体组。它可以是杆状的、板状的或网状的，为接地系统提供接大地的基准点。4.1.15 高静电材料：容易产生静电及累积静电的材料，例如：普通纸张、普通塑胶袋、塑胶笔等。5 本公司的静电敏感器件列表5.1 本公司的静电敏感器件列表表1 静电敏感器件列表序号型号抗静电值(Volts)1MOSFET（贴片式场效应管）100-2002SAW150-5003JEET140-72004CMOS(电脑用芯片)250-30005JFET(J结型场效应管)140-7006双极性晶体管380-70007肖特基二极管300-30008运算放大器190-25009膜片电阻（厚、薄）300-30006 静电防护区域（EPA）的界定和标识 6.1 EPA划分 6.1.1 EPA必须具有如下的基本环境要求：6.1.1.1 明确的区域界限和防静电警示标6.1.1.2 对区域内的所有导体包括人员可靠接地6.1.1.3 消除一切不必要的静电产生源。 6.1.1.4 静电敏感器件必须离静电源大于30厘米处。6.1.2 根据本公司产品器件的静电敏感度等级，将本公司静电敏感度等级防范要求为100V。防护要求为：（我们公司的敏感等级）6.1.2.1 静电敏感度等级防范要求为100V，应尽量避免产生100V以上的静电电荷源，如不能避免，应通过有效方式消除。6.1.2.2 采用防静电标识与其它区域分隔开，未采取有效防静电措施的人员、设备、物料、工具等皆不得入内。6.1.2.3 进入本区域应作好人员防静电要求，包括防静电服、防静电帽和防静电鞋，并做人体综合电阻测试合格后才能进入。对于配备静电手环的岗位，还要做腕带检测，检测合格，表示该腕带可以使用。6.2 EPA静电控制措施（控制措施按照表2实施）：6.2.1 表2 EPA静电控制措施要求ESD控制措施要求静电电压控制标准小于100V防静电标识要求防静电地板要求防静电桌垫要求防静电腕带可选防静电工作手套、指套要求防静电工作服要求防静电帽要求防静电工作鞋要求防静电工作椅要求防静电周转工具要求防静电包装材料要求防静电烙铁要求防静电吸锡器要求装配、调试及辅助工具防静电要求静电产生材料禁止带入EPA要求人体电阻测试仪(带腕带测试仪)要求区域封闭性可选出入口控制可选静电电压表可选兆欧表可选接地系统监控仪可选离子风静电消除器可选离子风机静电消除器测试仪可选防静电液可选非防静电包装的拆包区域外操作或独立工位操作办公区区域外或独立工区6.3 EPA标识防静电工作区、防静电包装材料和转运工具、设备仪器、防静电接地系的接地等都应该具有防静电标识。防静电标识的作用是警示任何靠近防静电工作区的人员，区域内存在静电敏感器件的操作；警示任何接触静电敏感器件的人员，对该器件的操作必须进行静电防护。6.3.1 静电标识上应注意说明如“注意：静电安全工作区“或其同意语。“放电”，“注意”，“危险”等标示对静电控制是不合适的。6.3.2 EPA 标识所在的位置及其大小应该至少保证在距离工作区 1 米时清晰可见。6.3.3 在边界线内贴静电敏感区的区域界限标识（如图 A）,其宽度为 45cm。 图 A静电敏感区域警示标志6.3.4 需要在静电安全工作区的每一个入口和出口放置防静电标识牌和控制说明。6.3.5 防静电器材、工具和静电敏感物料都必须具有明显的防静电标识， 6.3.6 防静电容器（防静电周转箱，防静电组件盒等），组件架和运输车等器材上应有防静电标志，其标志应置于明显且不易受到磨损的地方。如图 B，图 B 防静电标志6.4 防静电性能标准6.4.1 防静电性能标准 表3 项目要求限定检测频率检验比例检测人员防静电服 1 x 1011欧姆新购每批5%IQC每月20件ESD Group防静电帽 1 x 1011欧姆新购每批5%IQC每月20个ESD Group防静电鞋 3.5 x 107欧姆新购每批5%IQC每月20个ESD Group防静电手套/手指套 1 x 1011欧姆新购每批5%IQC放静电地板 1 x 109欧姆新安装100%ESD Group清洁后100%ESD Group每月20个ESD Group半年100%ESD Group防静电工作台 1 x 109欧姆新安装100%ESD Group每月20个ESD Group半年100%ESD Group防静电工作椅 1 x 109欧姆新购100%ESD Group每月20个ESD Group半年100%ESD Group移动货架 1 x 109欧姆新购100%ESD Group每月20个ESD Group半年100%ESD Group固定货架 1 x 109欧姆新购100%ESD Group每月20个ESD Group半年100%ESD Group手推车 1 x 109欧姆新购100%ESD Group每月20个ESD Group半年100%ESD Group接地线 1 欧姆新安装100%ESD Group半年100%ESD Group监视报警器是否正常工作(检测方法参考相关指导书)新安装100%ESD Group每周100%ESD Group维修设备（烙铁对地阻值）=2 Ohm每天100%T/S离子风静电消除器+/- 50V年(外校)100%ESD Group防静电包装材料 1 x 1011欧姆新购IQC抽样检验标准IQC机器接地电阻2半年100%ESD Group防静电容器（周转） 1 x 1011欧姆半年100%物品所属部门7 静电敏感区域的工程环境防静电规范7.1 防静电工程环境的要求：7.1.1 环境的温度、湿度要求根据公司环境要求文件对公司内部各个生产区域的温湿度进行管控，静电控制环境内应配备温度计和湿度计，温度计和湿度计必须放置在垂直固定于墙壁上，并按要求做好点检记录。7.2 地面的技术要求7.2.1 地板的防静电要求: 为有效地使人体静电能通过地板尽快泄漏到大地，除了操作人员穿用防静电服、防静电鞋外，其先决条件是地板必须具有一定的导电性能，即是防静电的。7.2.2 防静电地板的静电特性定期检查与维护保养:7.2.3 当地板上附着有绝缘性的油膜、树脂、橡胶和脏污时，7.2.4 清扫防静电地板时不得使用绝缘性的地板腊。7.3 防静电保护接地技术要求:防静电系统必须有可靠的接地装置，主要技术要求如下:7.3.1 接地线（总地线）：也称为地线母线。接地主干线的截面面积应不小于100mm2，支干线（黄绿双色）的截面面积应不小于 6mm2 设备和工作台的接地线采用截面面积应不小于 1.25mm2 的黄绿双色导线。7.3.2 防静电设备的连接端子应确保接触可靠，易装拆，必须使用插头座等。7.3.3 接地电阻：指接地体与大地之间的接触电阻，静电保护接地电阻应小于2。7.3.4 地线的埋设： 埋设地线的原则是埋设地点的土壤电阻系数愈小愈好接地体与土壤的接触面积要大，接触密度要高，接触要紧。7.3.4.1 地设地线的注意事项：7.3.4.1.1 接地线与接地线接头必须焊接牢固，要有足够的机械强度，引线不要过长。7.3.4.1.2 要采用耐腐蚀的接地体金属。7.3.4.1.3 要保持接地体附近土质的质量，并不断采取措施防止接地电阻变大。7.3.4.1.4 防静电地线必须是永久性的。7.3.5 7.接地线需要定期检查：7.3.5.1 接地线需要定期维护：7.3.5.2 对于检查不过关的接地线必须采取措施及时解决。7.3.5.3 确保接地线有效接地。7.3.5.4 对于生锈的或接触不好的接地线要及时更换。7.3.5.5 对于松动的接地线要重新连接。7.3.5.6 按接地线相关规定进行维护。8 静电敏感区域的人员防静电规范8.1 各类人员的防静电知识培训要求及职责：8.1.1 有可能进入静电敏感区域的人员或有可能接触静电敏感器件的人员都必须接受防静电知识培训。这既是对每位员工的基本要求，也是减少静电危害的根本方法和途径之一。8.1.2 所有新员工在接受入厂培训时，必须接受 ESD 知识的培训。培训结束后，所有被培训者需要通过 ESD 的考试，合格者才能上岗。8.1.3 所有在职人员必须每年接受2次ESD 知识再培训。培训内容包括介绍 ESD 的新技术，新规范等。8.1.4 采购部人员必须接受 ESD 基本知识培训，帮助生产部门采购合格的ESD防护材料。8.1.5 负责防静电接地和布生产线的人员，应接受更为专业的 ESD 知识培训。了解防静电接地系统要求并掌握地桩、地线和其它防静电设施的敷设或安装。8.1.6 计量检定人员也应了解 ESD 基本知识，尤其是关于防静电仪器的校验知识，要定期校验防静电检 测器材，保证其安全、有效，现仪器全部外校，每年 1 次。8.2 人体静电防护系统：8.2.1 防静电工作服：防静电工作服是指为防止静电荷积累，用防静电织物作为面料而制成的工作服，样式有连体式、分体式等。防静电工作服主要用来泄放人体高绝缘性能的服装所产生的静电或减少人体静电产生。8.2.1.1 防静电服使用要求:8.2.1.1.1 进入防静电区域的人员必须按规定穿防静电大褂衣，夹克衣或防静电连体服，严禁穿一般合成纤维 工作服。8.2.1.1.2 防静电衣必须在更衣室更换，不允许在 ESD 区域穿或脱防静电衣。8.2.1.1.3 禁止在防静电衣上附加或佩带与工作无关的金属物品或装饰品。8.2.1.1.4 不能把非防静电衣的衣领翻出盖住防静电衣的衣领，防静电衣须将拉链拉好，扣子扣好。非不准将防静电衣的袖子挽起，不准将手表、手饰等与工作无关的装饰物品露出防静电衣外。8.2.1.1.5 防静电大褂衣和夹克衣，应保持清洁，工作服的洗涤应尽量采用简易方法进行， 采用中性洗涤剂 要避免受到较强的机械和化学操作的洗涤。8.2.1.1.6 防静电服需要检测，检测频率和检测标准参考表3。8.2.1.2 防静电服的检测： 8.2.1.2.1 检测项目：表面电阻。8.2.1.2.2 检测位置：袖与袖之间。8.2.1.2.3 检测仪器：阻抗测试仪。8.2.2 防静电帽8.2.2.1 防静电帽应正确佩戴，帽沿朝前头发不能露出防静电帽外后脑 部分的短细的头发。8.2.2.2 防静电帽需要检测，检测频率和检测标准参考表3。8.2.2.3 防静电服的检测： 8.2.2.3.1 检测项目：表面电阻8.2.2.3.2 检测位置：静电帽表面8.2.2.3.3 检测仪器：阻抗测试仪8.2.3 防静电工作鞋：8.2.3.1 作业人员必须穿防静电鞋，经过人体综合电阻测试合格后，方可进入静电敏感区域工作。8.2.3.2 防静电鞋需要检测，检测频率和检测标准参考表3。8.2.3.3 防静电鞋的检测： 8.2.3.3.1 检测项目：对地电阻。8.2.3.3.2 检测仪器：人体综合测试仪 8.2.4 防静电手套或指套：8.2.4.1 操作员工在接触静电敏感材料时，需要戴上防静电手套或指套。8.2.4.2 防静电防静电手套或指套需要检测，检测频率和检测标准参考表3。8.2.4.3 防静电手套或指套的检测：8.2.4.3.1 检测项目：对地电阻8.2.4.3.2 检测仪器：表面阻抗仪 8.2.4.4 防静电手套或指套较脏或破损时，应及时更换。8.2.5 防静电腕带：防静电腕带是通过腕带与皮肤的直接接触和静电线接地的方式，将人体皮肤表面静电泄放掉装置8.2.6 作业员坐着接触静电敏感材料时，需要佩戴防静电手腕。8.2.7 防静电腕带佩带方法：将腕带扎于手腕处，不能松动，手腕感觉四周握紧。 保证手腕带内表面与皮肤良好接触。8.2.8 防静电腕带接地应采用插孔的连接方式，应避免使用鳄鱼夹的接地方式。8.2.9 防静电腕带需要检测，检测频率和检测标准参考表3。8.3 临时或外来人员的防静电管理：临时(外来)人员，包括参观人员、非本车间联系工作人员、临时施工人员(包括电工、修理工、装 饰工等)，进入防静电区域时，必须遵守防静电区域和生产过程的各项防静电要求。8.3.1 临时(外来)人员进入EPA区域，必须有本公司内部经过ESD培训的人员陪同。不能有违背公司ESD规定的举动。8.3.2 临时施工作业在正常生产时间内要避免瞬时高压、瞬时放电的操作(如电焊、启动电机、开关高压 电源等)或事前采取防范措施，或安排在非生产时间内施工作业。8.3.3 防静电区域内需要进行某种维护、修理作业时，维护人员应遵守防静电区域的有关规定。9 静电敏感区域的防静电操作规范9.1 所有的 静电敏感器件及其部件的操作必须在静电安全工作台上进行。9.2 贮存和运输静电敏感器件及其部件时，应妥善进行防静电包装。9.3 拒绝接受未包装在防静电容器里的静电敏感器件及其部件。9.4 所有用非 ESD 材料包装的电子元器件都应在指定的静电泄放区域，经过拆包和静电泄放处理后，方可 用防静电中转工具将其转到静电敏感区域。9.5 不允许在静电敏感区域内存放和处理非 ESD 的材料，不允许在非静电敏感区域内存放和处理未包装的 静电敏感材料，不允许非 ESD 的材料与 静电敏感材料 混放。9.6 进入静电敏感区域的人员，都要必须穿好防静电工作服，必须戴上防静电环，腕带必须与皮肤有良好接触并将腕带接入可靠的防静电接地系统中，防静电鞋和脚必须与防静电地板或 ESD 地垫保持良好接触 防静电帽也必须按规定戴好。9.7 不得随意拆除和改变静电敏感器件及其部件的封装。9.8 测试静电敏感器件时必须遵守加电和去电顺序，严禁带电插拔静电敏感器件。9.9 操作员工在接触静电敏感材料时，需要戴上防静电手套或指套。9.10 清洁静电敏感器件及其部件时，不得使用塑料刷，必须使用防静电刷。9.11 不具备防静电功能的必备工具和用具，应放在防静电桌垫上。如果需要加装离子分机，并将这些工具置于离子风机的作用范围内。9.12 静电敏感材料必须使用防静电材料盛放和包装。9.13 静电敏感材料初始包装应在静电敏感区域内完成，并要用防静电材料包装。完成了初始包装的 静电敏感材料 器件 进行二次包装时可以在非 ESD 区域内完成，可不采用防静电材料。9.14 禁止使用超过有效期的防静电材料来接触或包装 静电敏感材料 器件。9.15 在任何场合均不允许未采取防静电措施的人员接触 静电敏感材料及其部件。9.16 生产过程中使用的设备必须采取接地等防静电措施。9.17 生产过程中运输静电敏感材料及其部件时，应将其放入防静电包装内进行。必要时，应用离子风机来消除在运输过程中产生的静电。9.18 新布置的生产线或工位等都应进行 ESD 认可，只有认可合格后，方可给生产线使用。9.19 新投入防静电敏感区域的防静电材料，包括主料，辅料和包装材料都应进行 ESD 认可，只有认可合格后，方可给生产线使用。9.20 新投入防静电敏感区域的防静电工具等都应进行 ESD 认可，只有认可合格后，方可给生产线使用。10 静电敏感区域的工作台、工装、设备以及防静电器材的防静电规范10.1 基本防静电要求: 防静电工作区内的各种设备、工具、工装仪器都应实施静电防护措施，如接触元器件的部分应使用防静电材料(体积电阻1012)应采用静电中和或涂抹防静电涂液、涂层 等其它防护措施进行有效的接地(硬接地软接地)。10.2 防静电工作桌的技术要求： 防静电工作桌是防静电工作区的主要组成部分，下面所示为标准的防静电工作台构成图:10.3 静电敏感区域的工作台、工装、设备以及防静电器材的主要技术要求参考表3。10.4 工作桌的安装要求:10.4.1 按照工作桌面的大小选择所需的防静电台垫的尺寸。10.4.2 从防静电桌垫正面压下旋钮接头(可用不锈钢螺钉、螺母、垫片组成的连接点代替)，使其穿过 桌垫和箔带(多层箔带时应保证全部穿过)，以保证电接触良好。10.4.3 将经过以上准备好的防静电桌垫平整的铺于工作桌面上。10.4.4 将工作桌置于防静电地板上。10.4.5 防静电工作桌的接地，使用横截面不小于 2mm2 的绞合铜芯软线或电缆把防静电桌垫串联1M电阻后连接到地线配置系统上。10.4.6 全部安装完毕后，对各参数指标进行检验合格后，方可开始使用。10.5 防静电工作台接地要求:10.5.1 防静电工作桌的桌垫，串联 1M+-10%的电阻接地(即软接地)。10.5.2 防静电工作桌垫和地垫上任意一点与地线配置系统间的电阻为 11061109。10.5.3 接地电缆应中间无接头。10.5.4 多台防静电工作桌的接地线不能相互串接。10.5.5 防静电工作桌上的测试仪器、稳压电源、电动工具、和电离器等所有外部零件表面、屏蔽面均应接地，对地线配置系统电阻值不大于 2， 所有接地点应集中接于一点，就近牢固搭接至地线系统上。10.5.6 对载流接地线，应使用同轴电缆来接地和屏蔽。10.5.7 防静电工作区内的各种设备、仪器、工装（装备）、工具都应实施静电防护措施。例如接触或靠近静电敏感器件（静电敏感材料）的部分应尽可能使用防静电材料（静电耗散材料）。10.6 防静电工作桌、货架静电皮使用与维护要求:10.6.1 防静电工作桌、货架静电皮在日常使用中，必须确保正常接地状态。10.6.2 防静电工作桌、货架静电皮上不允许存放塑料盒、橡皮、玻璃、白色塑料袋等易产生静电的物品 图纸、资料等应放入防静电文件袋中。10.6.3 防静电防静电手套或指套需要检测，检测频率和检测标准参考表3。10.6.4 防静电工作桌、货架静电皮的检测：10.6.4.1 检测项目：表面和对地电阻10.6.4.2 检测仪器：表面阻抗仪10.7 防静电工作椅：为全面控制人体静电，操作者所坐的工作椅必须具有防静电性能。如果椅腿是非金属材料或有绝缘套脚时，应将防静电椅、凳 面接地。10.7.1 防静电工作椅需要检测，检测频率和检测标准参考表3。10.7.2 防静电工作椅的检测：10.7.2.1 检测项目：表面和对地电阻10.7.2.2 检测仪器：表面阻抗仪10.8 防静电容器(包括周转箱、元器件存放盒、印制板架等)： 在各工位、各工序间用于传递和储存 静电敏感材料 和单板的各类容器，以及用于产品包装发货的容器，都应具备防静电性能。10.8.1 防静电容器需要检测，检测频率和检测标准参考表3。10.8.2 防静电容器的检测：10.8.2.1 检测项目：表面和对地电阻10.8.2.2 检测仪器：表面阻抗仪10.9 防静电周转车、料车：转运、暂存静电敏感材料或含有静电敏感材料的整、部件产品时，应使用有防静电性能的周转车。为保证接地良好，可在车底加装接地金属链活加装导电车轮。金属链接触地面的长度必须超过10cm。10.9.1 防静电周转车、料车需要检测，检测频率和检测标准参考表3。10.9.2 防静电周转车、料车的检测：10.9.2.1 检测项目：表面和对地电阻10.9.2.2 检测仪器：表面阻抗仪10.10 静电消除器(离子风机)： 在不能有效泄放静电的场合，可采用电离器通过电离空气产生的正负离子，来防止和中和在元器件 上及其它物体上的电荷积累。10.10.1 静电消除器需要检测，检测频率和检测标准参考表3。10.11 落地设备的防静电技术要求:10.11.1 落地设备如印刷机 、贴片机、回流焊、波峰焊机、流水线等等应采用硬接地，即 直接或通过一个低阻抗同防静电地线相连设备的接地线应采用截面积不小于 1.25mm2的敷塑导线，接地线颜色为黄绿双色导线。10.11.2 具有自动传送带或滚筒式的流水线，线体应统一接入大地网，并使线体上任一点与大地的接地电 阻均小于 2。10.11.3 流水线的自动传送带应使用防静电材料，并通过导线或导体与线体连接。10.11.4 流水线体上的工装板应通过静电导体与线体连接，达到与线体等电位。10.11.5 自动线体上按作业岗位需要，设置接地点，以便操作者能随时连接防静电腕带。10.12 工具的防静电技术要求:10.12.1 带有金属外壳的便携工具及仪器、设备提供的电源插头座，应选用安全型。10.12.2 电烙铁需要有接地保护措施。10.12.3 电烙铁需要检测，检测频率和检测标准参考表3。10.12.3.1 检测项目：对地电阻10.12.3.2 检测仪器：万用表10.13 工装的防静电技术要求：10.13.1 如果工装使用的如果接触静电敏感元器件的部分使用了金属材料，则注意一定要将工装进行软接地(例如放在防静电垫上接地)。10.13.2 如果工装上接触静电敏感元器件的部分使用了非防静电材料(表面电阻1012) 则应该采用静电中和的方式进行静电防护。10.14 公司内部允许使用防静电液。11 参考文件11.1 ESD ADV 1.0 静电放电协会名词表11.2 ANSI/ESD S1.1 防静电手腕带11.3 ANSI/ESD STM2.1 工作服11.4 ANSI EOS/ESD S3.1 电离化11.5 ANSI