无尘室验证标准及程序.ppt

1、無塵室验证标准及程序,大綱 壹. 測試驗證說明 貳. 測試驗證設備一覽表 參. 測試驗證步驟說明 肆. 測試驗證方法與程序,壹、測試驗證說明 無塵室驗收測試規範依據如下： ISO-14644: 世界標準組織制定無塵室測試之標準規範 NEBB: 美國國家環境平衡協會所制定無塵室測試之標準規範 無塵室測試分三階段: 第一階段 As Built 第二階段 At Rest (由吉威配合業主部份需求點進行抽測) 第三階段 Operation (由吉威配合業主部份需求點進行抽測),As Built 潔淨室建造完成，生產設備未搬入之狀態 At Rest 潔淨室建造完成，生產設備已搬入但未運轉之狀態 On O

2、peration 潔淨室建造完成，生產設備已搬入且運轉之狀態 測試前空調系統應已完成測試、調整、平衡，並已連續運轉48小時以上.,無塵室測試驗證項目,1. 濾網風速測試 (Air flow velocity testing) 2. 濾網洩漏測試 (Filter leakage testing) 3. 無塵室內溫溼度測試 (Temperature & Humidity testing) 4. 無塵室內壓差測試 (Room pressurization testing) 5. 無塵室內噪音測試 (Noise level testing) 6. 無塵室內照度測試 (Lighting level te

3、sting) 7. 無塵室內環境微粒子測試 (Air Particle counts) 8. 無塵室內地板靜電測試 (Floor Conductivity testing),貳. 測試驗證設備一覽表,參、測試驗證步驟說明,測試前準備工作: 竣工圖面與點數確認 備妥測試程序計劃及依據規範之標準. 測試前無塵室空調系統已完成,並已持續運轉48小時以上. 測試進行當中,業主需派人或代表在現場監工以表測試結果認同.,肆. 測試驗證方法與程序一.濾網風速測試 (Air flow velocity testing): As Built,目的 判定洁净室过滤器(ULPA/HEPA filter)的风速 规格

4、 对于每个2X4过滤器, 距离其表面150MM处均匀取2个读数 对于每个4X4过滤器, 距离其表面150MM处均匀取4个读数 平均风速：0.45 m/s 20% 测试状态：空态,方法 参照：IES Recommended Practice,IES-RP-CC006.2 Testing Cleanrooms NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 5.) 每个过滤器分成两个或四个测试格. 装置好仪表和十字支架并调整好仪表的内部设定. 十字支架尺寸为14X14，测试时把支架放在过滤器中间的位 置，接触

5、在过滤器的表面并且和过滤器边缘保持平行. 4. 读取和记录每个格子的数据.,二.濾網洩漏測試 (Filter leakage testing): As Built,目的 查证过滤器的安装瑕疵 (FILTER外緣和Ceiling Grid之间) 而且确定过滤器是否在安装中因过失产生小的漏洞. 规格 测试状态： 空态 1.没有额外的尘粒在被测试的过滤器的上游。 2.在ULPA/HEPA 过滤器下游0.1微米粒子检测后不能多于1 个. 3.对于每个过滤器，任何再修理过的表面不能超过 0.5 sq. 英寸.,方法 参照：IES Recommended Practice, IES-RP-CC006.2

6、Testing Cleanroom NEBB Procedural Standard for Certified of Cleanroom (Chapter 6.) 1.过滤器表面风速确保是在设计范围以内. 2.取上游气流，尘粒的尺寸在0.1 微米以上. 3.激光粒子计数器以 0.1 微米及以上 通道测试过滤器检漏，采样量为1 ft3/min. 4.用粒子计数器的探头扫描过滤器，探头选择可获取均匀采样量的尺寸, 扫描速度5cm/s. 濾網(filter)掃瞄路徑,采样头离过滤器之间的距离为1英寸，看是否有探测到多于1 个粒子在来源于同一个地方. 6. 所有已确定或是怀疑的过滤器做一下记录，在补

7、救及整改之后重新再测一次。当过滤器无法修补或更换,记录下来并反映重新替换.,三.無塵室內溫溼度測試 (Temperature & Humidity testing): As Built,目的 判定洁净室HVAC系统容量是否能将洁净室内的 温度和相对湿度维持在指定的范围内. . 规格 22 oC +/- 2 55% +/- 5% 测试状态：空态,方法 參照:NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 10.) 1.测试之前所有气流平衡已经成功完成. 2.测试开始前空调系统连续运行至少24小时以上. 3.

8、每个温控区测试一个测试点,每个房间至少一个测试点. 4.洁净室测试表格分成不大于9平方米. 5.温度连同湿度传感器置于测试格中央，距地板的1米的位置. 6.如果测试位置有障碍物, 可选择位于阻碍物上的6英尺处, 并避免洁净室入口位置进行测试 7.每次测量时间为10分钟. 8.采集所有读数并记录.,四.無塵室內壓差測試 (Room pressurization testing): As Built,目的 判定洁净室系统的性能，使洁净室保持指定的压差。 规格 压力差别： 依原設計各分區對外壓差 测试状态： 空态,方法： 參照:NEBB Procedural Standard for Certifi

9、ed Testing of Cleanroom (Chapter 8.) 1.测试之前所有气流平衡已经成功完成. 2.在此测试期间,洁净室相邻的门都是关闭的. 3.测量和记下两个洁净室之间的压力差别.,五.無塵室內噪音測試 (Noise level testing): As Built,目的 测量洁净室里的机械和电力系统所产生的噪声 规格 平均噪声：= NC 65 测试状态：空态,方法 參照:NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 9.) 1.测试之前所有气流平衡已经完成. 2.在读取读数之前所有

10、的风机单元和空调设备均已开启. 3.洁净室每个测试格不大于40平方米. 4.噪声仪距地板以上1米的位置, 同时探头指向运行的设备. 5.噪音仪测试单位NC,在每个测试点读取数据. 6.如果测试位置有障碍物, 可选择位于阻碍物上的6英尺处, 并於避免洁净室入口位置进行测试. 7.用算术的方法来计算房间的平均噪声数据.,六.無塵室內照度測試 (Lighting level testing): As Built,目的 在洁净室内工作高度位置的光照度 规格 平均光照度: 依原設計規範需求 测试状态：空态,方法 參照:NEBB Procedural Standard for Certified Test

11、ing of Cleanroom (Chapter 11.) 1.所有的荧光灯开过至少在100小时. 2.在测试前确保照明灯开着至少在2小时以上. 3.洁净室每个测试格不大于25平方米. 4.光照仪表在测试格中央，距地板上1米的位置. 5.如果测试位置有障碍物, 可选择位于阻碍物上的6英尺处, 并避免洁净室入口位置进行测试. 6.采集所有读数并记录.,七.無塵室內環境微粒子測試 (Air Particle counts): As Built,目的 用于检查或验证洁净室是否达到設計要求的洁净等级 规格 测试状态：空态,方法 参考： ISO 14644-1/2 NEBB Procedural St

12、andard for Certified Testing of Cleanroom 1.在测试前洁净室至少净化12小时以上. 2.洁净室的测试格以不少于总面积开平方根的数量来均匀划分。 3.取样量为每分钟1个立方英尺,取样时间为一分钟。 4.在每个点的中心最小取一分钟，高度在1米左右. 5.当有障碍物时采样点放在障碍物12 英寸上面.,ISO 14644-1 & Federal Standard 209E 潔淨等級比較表,懸浮顆粒潔淨等級對比表,八.無塵室內靜電地板導電度測試 (Floor Conductivity testing): As Built,目的 测试点与洁净室地板之间的电阻(欧姆) 规格 地板导电测试：104 106 .,方法 參照:NEBB Procedural Standard for Certifi