UPW(纯水系统).ppt

1、UPW(纯水系统),讲解人：方青,引言,UPW是服务生产工艺的一部分,另外还有CDS、特气、大宗气体等。 超纯水的制程随原水水质而有不同的方式，主要是去除水中的不纯物，如微粒子、有机物、无机盐类、重金属及生菌等,主要用途（GMIC）,超纯水主要供集成电路芯片生产的清洗用水，且用量较大。另外还提供一些生活用水，以及PCW（工艺冷却水系统）、膨胀水箱、加湿器等都会用到不同程度的纯水。 为了满足工艺设备对水质的要求，必须考虑输送材料、流速、合理的输送系统的设计,Typical Components of a Semiconductor UPW System,纯水系统的组成单元,MMF和AC RO U

2、F MB EDI POLISH UV 脱气塔 以下介绍各部分的作用,MMF和AC,MMF(多介质过滤器)和AC（活性炭过滤器）是作为RO的预处理，对RO膜起保护作用。 预处理原水首先加入絮凝剂和混凝剂，可以降低浑浊度（使微小颗粒凝聚变大，重力沉降有助于过滤）,去除悬浮物和胶体等杂质。 加入NaHSO3去除余氯（将氯还原），防止RO膜被氧化，活性炭也有吸附余氯的作用。 为了提高出水质量和加强对RO膜的保护，现在通常用UF作为预处理 。,UF,超滤是一种以筛分为分离原理，以压力为推动力的膜分离过程，过滤精度在0.005-0.01m范围内， 可有效去除水中的微粒、胶体、细菌垫层及高分子有机物质。可广

3、泛应用于物质的分离、 浓缩、提纯。超滤过程无相转化，常温操作，对热敏性物质的分离尤为适宜，并具有良好的耐温、耐酸碱和耐氧化性能（可以耐受高浓度的余氯和过氧化氢溶液），能在60 以下，pH为2-11的条件下长期连续使用。,中空纤维超滤膜是超滤技术中最为成熟与先进的一种形式。中空纤维外径0.5-2.0mm，内径0.3-1.4mm，中空纤维管壁上布满微孔，孔径以能截留物质的分子量表达，截留分子量可达几千至几十万。原水在中空纤维外侧或内腔加压流动，分别构成外压式与内压式。超滤是动态过滤过程，被截留物质可随浓缩小排除，不致堵塞膜表面，可长期连续运行。 一般采用外压式，这样增大表面积，过滤充分。,Ultr

4、afiltration Design,RO,反渗透是用足够的压力使溶液中的溶剂(一般常指水)通过反渗透膜(一种半透膜)而分离出来，方向与渗透方向相反，可使用大于渗透压的反渗透法进行分离、提纯和浓缩溶液。反渗透膜的主要分离对象是溶液中的离子范围。反渗透法分离过程有如下优点：不需加热、没有相变；能耗少；过程连续稳定；设备体积小、操作简单，适应性强；对环境不产生污染。,反渗透纯水系统根据不同的源水水质采用不同的工艺。一般自来水经一级反渗透系统处理后，产水电导率10-20S/cm，经二级反渗透系统后产水电导率5S/cm甚至更低，在反渗透系统后辅以离子交换设备或EDI设备可以制备超纯水，使电阻率高达18

5、兆欧姆.厘米)。 反渗透膜老化或受污染后，产水质量会下降.,反渗透的基本性能参数是运行压力、产水量、水回收率和脱盐率、测试液PH值。 大部分离子依靠反渗透方式除去，可去除颗粒、胶体、有机杂质、微生物等有害物质，Ca、Mg之类的硬度离子及99%溶解性离子。 给水总含盐量（TDS）和需去除的主要离子的浓度是反渗透系统设计的基本依据，主要离子有钙、镁、钠、钾、铵、硫酸根、重碳酸根、氯、氟、硝酸根和二氧化硅。,Osmosis and Reverse Osmosis,1,2,Feed water,Purified water,Reverse osmosis membrane (RO),Osmosis,R

6、everse Osmosis,2,Osmotic pressure,P,1,2,The Spiral Wound Reverse Osmosis Module,MB,MB是继RO的进一步脱盐 MB的工作原理是通过阴阳树脂上所带的活性基团来置换水中的阴阳离子，同时释放出H+和OH-化合成H2O 。,EDI,近几十年以来，混合床离子交换技术一直作为超纯水制备的标准工艺。由于其需要周期性的再生且再生过程中使用大量的化学药品（酸碱）和纯水，并造成一定的环境问题，因此需要开发无酸碱超纯水系统。 EDI技术是将膜、树脂和电化学原理相结合的成为水处理技术的一场革命。其离子交换树脂的再生使用的是电，而不再需要

7、酸碱，因而更满足于当今世界的环保要求。,EDI 装置是应用在反渗透系统之后，取代传统的混合离子交换技术（MB-DI）生产稳定的去离子水。EDI技术与混合离子交换技术相比有如下优点: 水质稳定容易实现全自动控制不会因再生而停机不需化学再生运行费用低厂房面积小无污水排放。,EDI 工作原理: EDI装置将离子交换树脂充夹在阴/阳离子交换膜之间形成EDI单元。EDI工作原理如图所示。 EDI组件中将一定数量的EDI单元间用网状物隔开，形成浓水室。又在单元组两端设置阴/阳电极。在直流电的推动下，通过淡水室水流中的阴阳离子分别穿过阴阳离子交换膜进入到浓水室而在淡水室中去除。而通过浓水室的水将离子带出系统

8、，成为浓水. EDI设备一般以反渗透（RO）纯水作为EDI给水。RO纯水电阻率一般是40-2S/cm（25)。EDI纯水电阻率可以高达18 M.cm(25)，但是根据去离子水用途和系统配置设置，EDI纯水适用于制备电阻率要求在1-18.2M.cm(25)的纯水。,A,A,C,Anode,Cathode,A - Anion Membrane C - Cation Membrane,Na+,Na+,Na+,Na+,H+,H+,OH-,OH-,Cl-,Na+,waste,+,_,Cl-,Cl-,Cl-,Cl-,Source water,Product,POLISH,POLISH（抛光混床）是更进一步

9、的精度处理，主要去除像弱电解质（棚、SiO2）较难清除离子的任务 We should understand just how much (or little) 1 ppb really is! For example: 1 second in 32 years = 1 ppb or 1 inch in 15,700 miles = 1 ppb,UV Photo-oxidation Module,O-ring seal Water out High transmittance quartz sleeve PVDF housing Low pressure mercury vapour lamp with high transmittance quartz envelope Water in,UV,一般选用UV185nm和UV254nm。 UV254nm具有杀菌效能，原理是通过紫外线对微生物的照射，以改变及破坏微生物的组织结构（DNA-核酸），导致核酸结构突变，生物体丧失复制、繁殖能力，功能遭受破坏，从而达到消毒、杀菌的目的，消灭水中的细菌、病菌和其它微生物。可参照下表。 UV185nm主要去除TOC（总有机碳），波长185nm的放射线会产生羟基（OH）自由基，自由基将水中透过反渗透膜的少量有机物分解成CO2和H2O而去除，确保系统的TOC指标达到用户要求。,脱气塔