浙江拓感科技有限公司年产1500套红外焦平面探测器项目环评报告

建设项目环境影响报告表（污染影响类）项目名称：浙江拓感科技有限公司年产1500套红外焦平面探测器项目 建设单位（盖章）：浙江拓感科技有限公司 中华人民共和国生态环境部制 三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业39——/□是：表1-1专项评价判定表专项评价的类别设置原则本项目概况是否设置专项大气排放废气含有毒有害污染物1、二噁英、苯并[a]芘、氰化物、氯气且厂界外500米范围内有环境空气保护目标2的建设项目本项目废气虽涉及氯气排放，但是厂界外500米范围内无环境空气保护目标，最近环境空气保护目标距离厂界750m否地表水新增工业废水直排建设项目（槽罐车外送污水处理厂的除外）；新增废水直排的污水集中处理厂本项目生产废水依托园区污水处理站处理达标后纳管排放；生活污水依托园区化粪池预处理达标后纳管排放否环境风险有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量3的建设项目本项目有毒有害和易燃易爆危险物质Q值＜1，存储量未超过临界量否生态取水口下游500米范围内有重本项目不涉及取水否要水生生物的自然产卵场、索饵场、越冬场和洄游通道的新增河道取水的污染类建设项目海洋直接向海排放污染物的海洋工程建设项目本项目不属于海洋工程建设项目否注：1.废气中有毒有害污染物指纳入《有毒有害大气污染物名录》的污染物（不包括无排放标准的污染物）。2.环境空气保护目标指自然保护区、风景名胜区、居住区、文化区和农村地区中人群较集中的区域。3.临界量及其计算方法可参考《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ169）附录B、附录C。规划环境影响评价文件名称：《海宁经济开发区（中心区）总体规划•修编总体规划•修编（2017-2035）环保意见的浙江省海宁经济开发区成立于1992年8月，其前身是嘉兴海宁市经济开都开发区、袜业区进行了整合，并于2006年3月通过国务院审核，同年获长三角最具价值投资开发区第五位（综合实力第四位）。在2006年10月举办的首届“长三角最具投资价值开发区”评选中荣获综合年5月，由中国城市规划设计研究院编制完成了《海宁经济开发区总体规划（2006-2020）》，规划范围为海宁经济开发区管辖范围，基本属于海昌街开发区全面合作，在区内设立上海漕河泾新兴技术开发区海宁分区。2012年位列浙江省省级经济开发区综合排名前十强，划，海宁经济开发区2012年起对开发区规划内容进行了适当调整，2012年8月，委托杭州市城市规划设计研究院编制《海宁经济开发区总体规划•修编（2013-2030）》，并于2013年4月召开了初稿征求意见会，2014年3月完成为了适应新一轮的土地利用规划修编调整，2012年8月浙江省海宁经济开发区管理委员会曾委托编制《海宁经济开发区总体规划•修编（2013-2030）》。为了促进海宁经济开发区可持续协调发展，海宁市人民能区优化调整方案，并于2018年11月经省政府同意该调整要求（浙环便函[2018]951号）。为此，浙江省海宁经济开发区管理委员会于2018年根据调规划面积依据《浙江海宁经济开发区整合提升工作方案（2012-2015）》确规划面积50.448km2，城市规划区范围调整为：海宁经济开发区行政区图1-1规划范围示意图图1-2用地规划图规划以2017年为现状基准年；近期为2017~2022年，远期为2023~2035本项目位于海宁经济开发区谷水路306号A16，用地性质为工业用地，（2）与《海宁经济开发区（中心区）总体响报告书》（浙环函[2019]237表1-2生态空间清单符合性（摘自规划环评）规划区域生态空间名称及编生态空间范围示意图空间布局约束管控要求产业集聚重点管控单元海宁市海昌街道产业集聚重点管控（ZH33048120001）-漕河泾区块和结构，实施分区差别化的产业准入条件。1、严格实施污染物总量据区域环境三类工业项目，控制三类工业项目布局范围和总体规模，鼓励对现有三类工业项目进行淘汰和提升改造。质量改善目物排放总量。三类工业项目污染物排放水平要达到同行业国3、禁止新增钢铁、铸造、水泥和平板玻璃等行业产能，严格执行相关污染物排放量削减替代管理要求和产能置换实施办法；提高电力、化工、印染、造纸、化纤等重点行业环保准入门槛，控制新增污染物排放量。内先进水平。3、加快落实污水处理厂建设及提升进工业园区（工业企业）“污水零直排区”建设，所有企业实现雨污分流。4、加强土壤和地下水污染防治与修4、严格限制新、化纤、合成革、工业涂装、包装印刷、塑料和橡5、定期评估沿江河湖库业集聚区环胶等涉VOCs重污染项目，新建涉VOCs排放的工业企业全部进入工业功能区，严格执行相关污染物排放量削减替代管理要求。耗煤项目，严格执行相关新增燃煤和污染物排放减量替代管理要能效和碳排放水平必须达到国内先进水平。区，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生态绿地等隔离带。保护区按照《中华人民共和国水污染防治法》、《浙江省饮用水《饮用水水源保护区污染防治管理规定》等相关法律法规实施管理。境和健康风6、强化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常强重点环境风险管控企业应急预案态化的企业隐患排查整治监管机制，加强风险防控体系建设。7、推进工业集聚区生态企业清洁生节水型企业、节水型工业实煤炭消费减量替代要能源利用效率。于C3979其他电子器件制造，主要生产红外焦平面探测器，属于二类工业表1-3环境准入条件清单符合性（摘自规划环评）分类清单制定依据产业集聚重点管控单元（漕块）禁止准入产业（一）禁止新增钢铁、铸造、水泥和平板玻璃等行业产能。（二）耗煤项目。（三）焦化、电解铝、造纸行业。（四）在饮用水水源准保护区内，禁止下列行为：①新建、扩建水上加油站、油库、规模化畜禽养殖场等严重污染水体的建设项目，或者改建增加排污量的建设项目。②设置装卸垃圾、粪便、油类和有毒物品的码头。③运输剧毒物品、危险废物以及国家规定禁止通过内河运输的其他危险化学品。④其他法律、法规禁止污染水体的行为。《海宁市“三线一单”生态环境分区管控方案》（2020）、《浙江省饮用水水源保护条例》限制准入类产业工业涂装、包装印刷、塑料和橡胶等涉VOCs重污染项目，新建涉VOCs排放的工业企业全部进入工业功能区，严格执行相关污染物排放量削减替代管理要求。其他（一）合理规划布局三类工业项目，控制三类工业项目布局范围和总体规模。（二）提高电力、化工、印染、造纸、化纤等重点行业环保准入门槛，控制新增污染物排放量。（三）合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生态绿地等隔离带。本项目位于海宁经济开发区谷水路306号A16，为工业用地，本项目属橡胶等涉VOCs重污染项目，但本项目涉及排放VOCs，之间设置了一定的防护隔离带，能够确保人清单、污染物排放总量管控限值清单等6张清单要求，本项目符合规划环境析析表1-4“三线一单”符合性分析汇总“三线一单”符合性分析是否符合生态保护红线根据《浙江省人民政府关于发布浙江省生态保护红线的通知》（浙政发[2018]30号文本项目位于海宁经济开发区谷水路306号A16，不在生态红线范围内。符合环境质量底线本项目消耗的能源、资源较小，不新增用地，不会突破地区能源、水、土地等资源消耗上线，不触及资源利用上线。符合资源利用上线本项目所在区域环境空气、声环境质量和地表水环境质量能达到环境质量目标，区域环境质量现状良好。根据环境影响分析，若能依照本环评要求的措施合理处置各项污染物，则本项目各项污染物不会改变项目所在区域环境质量等级，不触及环境质量底线。符合生态环境准入清单管控的要求经对照《海宁市“三线一单”生态环境分区管控方案》，本项目符合《海宁市“三线一单”生态环境分区管控方案》中海宁市海昌街道产业集聚重点管控单元（ZH33048120001）-漕河泾区块的管控要求，具体对照见下文。符合市海昌街道产业集聚重点管控单元（ZH33048120001）-漕河泾区块。符合表1-5海宁市“三线一单”生态环境分区管控方案符合性分析类别管控要求本项目结论空间布局约束1、优化产业布局和结构，实施分区差别化的产业准入条件。2、合理规划布局三类工业项目，控制三类工业项目布局范围和总体规模，鼓励对现有三类工业项目进行淘汰和提升改造。3、禁止新增钢铁、铸造、水泥和平板玻璃等行业产能，严格执行相关污染物排放量削减替代管理要求和产能置换实施办法；提高电力、化工、印染、造纸、化纤等重点行业环保准入门槛，控制新增污染物排放量。4、严格限制新、扩建医药、印染、化纤、合成革、工业涂装、包装印刷、塑料和橡胶等涉VOCs重污染项目，新建涉VOCs排放的工业企业全部进入工业功能区，严格执行相关污染物排放量削减替代管理要求。5、所有改、扩建耗煤项目，严格执行相关新增燃煤和污染物排放减量替代管理要求，且排污强度、能效和碳排放水平必须达到国内先进水平。6、合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生态绿地等隔离带。7、饮用水水源准保护区按照《中华人民共和国水污染防治法》、《浙江省饮用水水源保护条例》、《饮用水水源保护区污染防治管理规定》等相关法律法规实施管理。本项目位于海宁经济开发区谷水路306号A16，为工业用地，项目属于C3979其他电子器件制造，主要生产红外焦平面探测器，为二类工业项目，本项目已取得海宁市经济和信息化局，项目符合规划及规划环评产业准入要求。本项目不属于医药、印染、化纤、合成塑料和橡胶等涉VOCs重污染项目，项目涉及VOCs排放，项目所在区域属于工业区，污染物排放符合总量控制要求。本项目为新建项目，不涉及使用煤炭等，本项目所在地与周边的居住区之间设置了一定的防护隔离带，能够确保人居环境安全和群众身体健康。此外，本项目与饮用水水源准保护区最近760m，距2640m，不属于饮用水水源保护区内和饮用水水源准保护区内。符合污染物排放管控1、严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，削减污染物排放总量。2、新建二类、三类工业项目污染物排放水平要达到同行业国内先进水平。3、加快落实污水处理厂建设及提升改造项目，推进工业园区（工业企业）“污水零直排区”建设，所有企业实现雨污分流。4、加强土壤和地下水污染防治与修复。本项目新增污染物严格实行区域替代削减，符合总量控制，项目污染物排放水平达到同行业国内先进水平，项目雨污分流，污水纳管。符合—10—环境风险防控1、定期评估沿江河湖库工业企业、工业集聚区环境和健康风险。2、强化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行监管，加强重点环境风险管控企业应急预案制定，建立常态化的企业隐患排查整治监管机制，加强风险防控体系建设。根据分析，企业Q＜1，虽风险较小，但要求企业加强企业隐患排查，加强环境风险防范设施的正常运行监管。符合资源开发效率推进工业集聚区生态化改造，强化企业清洁生产改造，推进节水型企业、节水型工业园区建设，落实煤炭消费减量替代要求，提高资源能源利用效率。本项目不新增土地指标，用水、用电量不大。/），根据国务院第682号令《建设项目环境保护管理条例表1-6“四性五不批”相符性分析审批要求符合性分析是否符合要求四性建设项目的环境可行性本项目符合土地利用总体规划的要求，不触及生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线，不在负面清单内，因此符合建设项目的环境可行性。符合环境影响分析预测评估的可靠性本项目使用技术和方法均较为成熟，环境影响分析预测评估可靠。符合环境保护措施的有效性本项目产生的污染物有较为成熟的技术进行处理，从技术上分析，只要切实落实本报告提出的污染防治措施，本项目废气、废水、噪声可做到达标排放，固废可实现零排放。符合环境影响评价结论的科学性本环评结论客观、过程公开、评价公正，并综合考虑建设项目实施后对各种环境因素可能造成的影响，环评结论是科学的。符合五不批建设项目类型及其选址、布局、规模等不符合环境保护法律法规和相关法定规划项目选址和布局符合当地总体规划，符合国家、地方产业政策，项目营运过程中各类污染源均可得到有效控制并能做到达标排放，符合总量控制和达标排放的原则，对环境影响不大，项目实施不会改变所在地的环境质量水平和环境功能，可实现经济效益、社会效益、环境效益的统一，符合环境保护法律法规和相关法定规划。不属于不予批准的情形所在区域环境质量未达到国家或者地方环境质量标准，且建设项目拟采取的措施不能满足区域环境质量改善目标管理要求本项目所在区域环境空气质量和地表水环境质量能达到环境质量目标，区域环境质量现状良好。根据环境影响分析，若能依照本环评要求的措施合理处置各项污染物，则本项目各项污染物不会改变项目所在区域环境质量等级，不触及环境质量底线。不属于不予批准的情形建设项目采取的污染防治措施无法确保污染物排放达到国家和地方排放标准，或者未采取要措施预防和控制生态破坏本项目采取的污染防治措施能确保污染物排放达到国家和地方排放标准要求，符合环境保护措施的有效性。不属于不予批准的情形改建、扩建和技术改造项目，未针对项目原有环境污染和生态破坏提出有效防治措施本项目为新建项目，无原有环境污染和生态破坏。不属于不予批准的情形建设项目的环境影响报告书、环境影响报本环评报告基于建设单位提供的相关资料、设计等资料编制，符合审批要求。不属于不予批—12—告表的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺陷、遗漏，或者环境影响评价结论不明确、不合理准的情形指南（试行，2022年版）》，制定浙江省实施细则。本项目对照该细则要表1-7细则符合性分析序号要求项目实际情况结论1港口码头项目建设必须严格遵守《中华人民共和国港口法》、交通运输部《港口规划管理规定》、《港口工程建设管理规定》以及《浙江省港口管理条例》的规定。本项目不涉及港口、码头建设内容。符合2禁止建设不符合《全国沿海港口布局规划》、《全国内河航道与港口布局《浙江省内河航运发展规划》以及项目所在地港口总体规划、国土空间规划的港口码头项目。经国务院或国家发展改革委审批、核准的港口码头项目，军事和渔业港口码头项目，按照国家有关规定执行。城市休闲旅游配套码头、陆岛交通码头等涉及民生的港口码头项目，结合国土空间规划和督导交通专项规划等另行研究执行。本项目不涉及港口、码头建设内容。符合3禁止在自然保护地的岸线和河段范围内投资建设不符合《浙江省自然保护地建设项目准入负面清单（试行）》的项目。禁止在自然保护地的岸线和河段范围内采石、采砂、采土、砍伐及其他严重改变地形地貌、破坏自然生态、影响自然景观的开发利用行为。禁止在I级林地、一级国家级公益林内建设项目。自然保护地由省林业局会同相关管理机构界定。本项目为海宁经济开发区内，不涉及自然保护地、I级林地、一级国家级公益林。符合4禁止在饮用水水源一级保护区、二级保护区、准保护区的岸线和河段范围内投资建设不符合《浙江省饮用水源保护条例》的项目。饮用水水源一级保护区、二级保护区、准保护区由省生态环境厅会同相关管理机构界定。本项目不涉及饮用水水源一级保护区、二级保护区、准保护区的岸线和河段。符合—13—5禁止在水产种质资源保护区的岸线和河段范围内新建围湖造田、围海造地或围填海等投资建设项目。水产种质资源保护区由省农业农村厅会同相关管理机构界定。本项目不涉及水产种质资源保护区。符合6在国家湿地公园的岸线和河段范围（一）禁止挖沙、采矿；（二）禁止任何不符合主体功能定位的投资建设项目；（三）禁止开（围）垦、填埋或者排干湿地；（四）禁止截断湿地水源；（五）禁止倾倒有毒有害物质、废弃物、垃圾；（六）禁止破坏野生动物栖息地和迁徙通道、鱼类洄游通道，禁止滥采滥捕野生动植物；（七）禁止引入外来物种；（八）禁止擅自放牧、捕捞、取土、取水、排污、放生；（九）禁止其他破坏湿地及其生态功能的活动。国家湿地公园由省林业局会同相关管理机构界定。本项目属于海宁经济开发区，不涉及国家湿地公园。符合7禁止违法利用、占用长江流域河湖岸本项目位于海宁经济开发区内，不涉及利用、占用长江流域河湖岸线。符合8禁止在《长江岸线保护和开发利用总体规划》划定的岸线保护区和保留区内投资建设除事关公共安全及公众利益的防洪护岸、河道治理、供水、生态环境保护、国家重要基础设施以外的项目。本项目不在《长江岸线保护和开发利用总体规划》划定的岸线保护区和岸线保留区内。符合9禁止在《全国重要江河湖泊水功能区划》划定的河段及湖泊保护区、保留区内投资建设不利于水资源及自然生态保护的项目。本项目不涉及《全国重要江河湖泊水功能区划》划定的河段及湖泊保护区、保留区。符合禁止未经许可在长江支流及湖泊新设、改设或扩大排污口。本项目废水纳管排放，不涉及设、改设或扩大排污口。符合禁止在长江支流、太湖等重要岸线一公里范围内新建、扩建化工园区和化工项目。本项目不属于长江支流、太湖等重要岸线一公里范围内，且本项目不属于新建、扩建化工园区和化工项目。符合禁止在长江重要支流岸线一公里范围内新建、改建、扩建尾矿库、冶炼渣库和磷石膏库，以提升安全、生态环境保护水平为目的的改扩建除外。本项目不属在长江重要支流岸线一公里范围内，且不属于新建、改建、扩建尾矿库、冶炼渣库和磷石膏库项符合—14—禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色、制浆造纸等高污染项目。高污染项目清单参照生态环境部《环境保护综合目录》中的高污染产品目录执行。本项目位于海宁经济开发区内，该开发区属于合规园区，且已经通过规划环评审批，且本项目不属于钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色、制浆造纸等高污染项目，此外，对照《环境保护综合目录》，本项目不属于目录中的高污染产品。符合禁止新建、扩建不符合国家石化、现代煤化工等产业布局规划的项目。本项目不属于石化、现代煤化工项目。符合禁止新建、扩建法律法规和相关政策业结构调整指导目录》淘汰类中的落后生产工艺装备、落后产品投资项目，面清单）》的外商投资项目，一律不得核准、备案。禁止向落后产能项目和严重过剩产能行业项目供应土地。本项目不属于落后产能项目，不属于《产业结构调整指导目录》淘汰类中的落后生产工艺装备、落后产品投资项目，不属于外商投资项目，本项目属于不属于落后产能项目和严重过剩产能行业。符合禁止新建、扩建不符合国家产能置换要求的严重过剩产能行业的项目。部门、机构禁止办理相关的土地（海域）供应、能评、环评审批和新增授信支持等业务。本项目不属于严重过剩产能项目，无需进行产能置符合禁止新建、扩建不符合要求的高耗能高排放项目。本项目不属于高耗能高排放项目。符合禁止在水库和河湖等水利工程管理范围内堆放物料，倾倒土、石、矿渣、垃圾等物质。本项目用地不涉及在水库和河湖等水利工程管理范围内。符合表1-8与《浙江省空气质量改善“十四五”规划》符合性分析（摘选）要求项目实际情况结论严控“两高”行业产能。严格执行质量、环保、耗能、安全等法规标准和《产业结构调整指导目录》。严禁新增钢铁、焦化、铸造、水泥、平板玻璃等产能，严格执行产能置换实施办法。禁止建设生产VOCs含量限值不符合国家标准的涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等项目。加大钢铁、水泥熟料、烧结砖瓦、化工、印染、炼化等行业本项目属于C3979其他电子器件制造，不涉及新增钢铁、焦化、铸造、水泥、平板玻璃等产能。本项目不涉及生清洗剂等。符合—15—落后产能淘汰和过剩产能压减力度，严格控制化纤、制革、橡胶、塑料等行业产能。加快城市建成区重污染企业搬迁改造、兼并重组、转型升级或退出。大力推进VOCs源头替代。全面推行工业涂装企业使用低VOCs含量原辅材料，加大非溶剂型低VOCs含量原辅材料替代溶剂型原辅材料的力度，引导技术和工艺创新，促进源头减排。全面排查使用涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等原辅材料的企业，按照“可替尽替、应代尽代”的原则，实施一批源头替代项目。到2025年，溶剂型工业涂料、油墨、胶粘剂等使用量下降比例达到国家要求。本项目不属于工业涂装企业，企业使用溶剂型清洗剂，要求企业尽量实施源头替代，降低溶剂型清洗剂的用量。符合有序开展超低排放改造。持续推进钢铁、水泥行业超低排放改造，有效提高废气收集率和治理水平，提升清洁运输水平。有组织废气坚持源头减排、过程控制、末端治理并重，统筹实现全流程多污染物协同控制，严格控制生产工艺过程及相关物料储存、输送等无组织排放，实施大宗物料清洁运输。本项目不涉及钢铁、水泥行业超低排放改造。符合全面推进深度治理。全面推进砖瓦、玻璃、石灰、耐火材料、建筑陶瓷、铸造、有色金属冶炼等行业深度治理，对标先进治理技术，形成一批深度治理先进示范项目。稳步推进使用煤、煤矸石、石油焦等高污染燃料的砖瓦烧结窑、玻璃熔窑、石灰窑等污染治理设施转型升级，配套高效末端治理设施。严格控制生产工艺过程及相关物料储存、输送等环节无组织排放。到2022年，平板玻璃、建筑陶瓷企业实现全部取消脱硫脱硝烟气旁路或设置备用脱硫脱硝等设施。本项目不涉及工业炉符合大力推行清洁低碳改造。深挖工业炉窑用能清洁低碳化潜力，使用煤、石油焦、渣油、重油等高污染燃料的工业炉窑，加快用能转型。坚持增气减煤、以电代煤、充分利用工厂余热、电厂热力等进行替代。到2025年，全面淘汰10吨及以下铸造行业冲天炉，基本完成以煤为燃料的工业炉窑清洁燃料替代改造。本项目不涉及燃料使符合），表1-9本项目与浙环发〔2021〕10号符合性分析（摘选）序号文件要求本项目情况是否符—16—1禁止建设生产和使用VOCs含量限值不符合国家标准的涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等项目。贯彻家鼓励的有毒有害原料（产品）替代品目录》，依法依规淘汰涉VOCs排放工艺和装备，加大引导退出限制类工艺和装备力度，从源头减少涉VOCs污染物产生。本项目不涉及涂料、油墨、胶粘剂的使用，使用溶剂型清洗剂符合国家标准。本项目不属于《产业结构调整指导目录（2019年本）》（2021年版）中的限制类和淘汰类，也不属于《嘉兴市当前限制和禁止发展产业目录》中的所列项目。符合2严格执行“三线一单”为核心的生态环境分区管控体系，制（修）订纺织印染（数码喷印）等行业绿色准入指导意见。严格执行建设项目新增VOCs排放量区域削减替代规定，削减措施原则上应优先来源于纳入排污许可管理的排污单位采取的治理措施，并与建设项目位于同一设区市。根据《关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知》（环环评[2016]150号）中“三线一单”以及《海宁市“三线一单”生态环境分区管控方案》符合性分析，本项目的建设符合生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线和生态环境准入清单管控的要求。本项目新增VOCs总量进行区域平衡替代削减。符合3大力推进低VOCs含量原辅材料的源头替代。全面排查使用溶剂型工业涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等原辅材料的企业，各地应结合本地产业特点和本方案指导目录，制定低VOCs含量原辅材料源头替代实施计划，明确分行业源头替代时间表，按照“可替尽替、应代尽代”的原则，实施一批替代溶剂型原辅材料的项目。加快低VOCs含量原辅材料研发、生产和应用，在更多技术成熟领域逐渐推广使用低VOCs含量原辅材料，到2025年，溶剂型工业涂料、油墨、胶粘剂等使用量下降比例达到国家要求。本项目不涉及涂料、油墨、胶粘剂的使用，使用溶剂型清洗剂符合国家标准。要求企业制定低VOCs含量原辅材料源头替代实施计划，按照“可替尽替、应代尽代”的原则，尽量实施溶剂型原辅材料。符合4严格控制无组织排放。在保证安全前提下，加强含VOCs物料全方位、全链条、全环节密闭管理，做好VOCs物料储存、转移和输送、设备与管线组件泄漏、敞开液面逸散以及工艺过程等无组织排放环节的管理。生产应优先采用密闭设备、在密闭空间中操作或采用全密闭集气罩收集方式，原则上应保持微负压状态，并根据相关规范合理设置通风量；采用局部集气罩的，距集气罩开口面最远处的VOCs无组织排放位置控制风速应不低企业车间全密闭，有效减少有机废气的无组织排放。符合—17—于0.3米/秒。对VOCs物料储罐和污水集输、储存、处理设施开展排查，督促企业按要求开展专项治理。5建设适宜高效的治理设施。企业新建治理设施或对现有治理设施实施改造，应结合排放VOCs产生特征、生产工况等合理选择治理技术，对治理难度大、单一治理工艺难以稳定达标的，要采用多种技术的组合工艺。采用活性炭吸附技术的，吸附装置和活性炭应符合相关技术要求，并按要求足量添加、定期更换活性炭。组织开展使用光催化、光氧化、低温等离子、一次性活性炭或上述组合技术等VOCs治理设施排查，对达不到要求的，应当更换或升级改造，实现稳定达标排放。对收集后的有机废气经活性炭吸附处理后高空排放。要求企业定期更换废活性炭，保证废气稳定达标排放。符合6加强治理设施运行管理。按照治理设施较生产设备“先启后停”的原则提升治理设施投运率。根据处理工艺要求，在治理设施达到正常运行条件后方可启动生产设备，在生产设备停止、残留VOCs收集处理治理设施发生故障或检修时，对应生产设备应停止运行，待检修完毕后投入使用；因安全等因素生产设备不能停止或不能及时停止运行的，应设置废气应急处理设施或采取其他替代措施。本项目按照治理设施较生产设备“先启后停”的原则提升治理设施投运率。在治理设施达到正常运行条件后方可启动生产设备，在生产设备停止、残留VOCs收集处理完毕后，方可停运治理设施。VOCs治理设施发生故障或检修时，对应生产设备应停止运行，待检修完毕后投入使用。符合—18—置各类生产和辅助设备，实施红外焦平面探测器的生产。本项目实施后将形成年产表2-1建设项目环境影响评价分类管理名录环评类别项目类别报告书报告表登记表三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业39电子器件制造397/显示器件制造；集成电路制造；使用有机溶剂的；有酸洗的以上均不含仅分割、焊接、组装的/此外，依据《关于要求批准<海宁经济开发区（中心区）“区域环评+环境标准”），烫金、印花等工艺，但本项目涉及VOCs排放，经与此外，根据《固定污染源排污许可分类管理名录》（2019年版），本项目属于），表2-2本项目主要工程组成工程名称建设内容和规模主体工程红外焦平面探测器的生产企业拟投资11000万元，租赁海宁经开产业园区开发建设有限公司位于海宁经济开发区谷水路306号A16的部分空置厂房，新购置各类生产和辅助设备，实施红外焦平面探测器的生产。本项目实施后将形成年产1500套红外焦平面探测器的生产能力。辅助工程//公用工程给水生活用水由当地自来水厂供给，纯水由园区供应排水雨污分流，雨水接入雨水管网后排入市政雨水管网。划片清洗废水经自备废水处理装置处理后回用于划片清洗工序，不外排；软水制备废水直接纳管；其他生产废水经园区工业废水处理站处理达标后纳管；生活污水经园区化粪池预处理达标后纳管。供热/供电由当地供电部门供应污水处理厂纳管废水进入丁桥污水处理厂集中处理后达《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）一级A标准后排至钱塘江环保工程废气有机废气：两级活性炭吸附装置1套；酸碱和工艺废气：碱喷淋装置1套、POU净化装置（干式吸附）1套废水划片清洗废水经自备废水处理装置处理后回用于划片清洗工序，不外排；软水制备废水直接纳管；其他生产废水经园区工业废水处理站处理达标后纳管；生活污水经园区化粪池预处理达标后纳管固体废物一般固废仓库（位于生产车间南侧，占地约20m2）危废仓库（位于生产车间北侧，占地约20m2）减振垫、消声器等储运工程储存本项目一般原辅料储存于仓库内，危化品原辅料储存在园区的危化品仓库，气体钢瓶不设厂内储存，在用完之前直接由厂商更换钢瓶运输汽车输送依托工程/园区污水处理站、化粪池、园区氮气系统、园区纯水系统、园区冷却水系统、危化品仓库、事故应急池（245m3）表2-3本项目产品方案序号产品名称设计年生产时间（d）产品计量单位本项目生产能力其他1红外焦平面探测器300套/年0.53kg/套，合重795kg/a，包括探测器芯片、读出电路、金属杜瓦、制冷机表2-4本项目设备清单序号主要生产单元主要工艺名称生产设施名称设施型号设施参数单位数量位置设计参数计量单位主要产污设施1有机清有机清洗设备/清洗剂量50L/h台5清洗抛光间2光刻胶匀烤胶机/涂胶速度4片/h台1光刻间HMDS胶HMDS涂胶机/涂胶速度4片/h台1光刻间曝光光刻机/光刻速度4片/h台3光刻间显影显影机/显影速度4片/h台1光刻间4光刻板有机擦拭光刻板有机擦拭有机操作台///台1光刻间3刻蚀干法刻蚀干法刻蚀机（ICP）/刻蚀速度台2操作区4剥离离去胶剥离机/清洗剂量50L/h台1清洗抛光间5酸碱清酸碱清洗设备/清洗剂量50L/h台3清洗抛光间6化学气相沉积侧壁钝化ICPECVD等离子体化学气相/镀膜速度2片/h台1操作区沉积系统7物理气相沉积长PVD磁控溅射镀膜机/镀膜速度2片/h台1操作区电子束蒸发（钛、铂、金）/镀膜速度2片/h台1操作区铟生长热蒸发/镀膜速度2片/h台1操作区增透膜生长热蒸发/镀膜速度2片/h台1操作区8划片划片划片机//台2划片间9倒焊倒焊倒装机///台2倒焊间机///台2倒焊间点胶后烘干点胶后烘干烘箱///台2倒焊间减薄减薄减薄机///台1减薄间贴片、取片有机擦拭片有机擦拭有机操作台台1减薄间抛光抛光抛光机///台1清洗抛光间清洗超声波清洗超声波清洗机///台2清洗抛光间清洗后烘干清洗后烘干烘箱///台2清洗抛光间整机封装整机封装激光焊///台1封装间钎焊///台2封装间测试测试台阶仪/速度台1测试区IV测试仪/速度台1测试区探针台/速度台1测试区光谱测试/速度台1测试区金相显微镜/速度台2测试区SEM/速度台1测试区其他设施封装封装真空除气炉运行频次台6封装间封装封装大视场投影仪/速度台2封装间20封装封装球楔一体机///台2封装间21软水软水软水设备//台1/22环保废气处理有机废气处理装置/处理量12500m3/h套2用一备）碱喷淋装置/处理量11000m3/h套2用一备）干式化学吸附装置/处理量30m3/h套1设备灰区废水处理划片废水处理装置/处理量4t/d套1清洗抛光间表2-5本项目原辅材料及燃料的种类和用量生产单元种类名称原辅料计量单位设计年使用其他有机清洗原料外购外延片kg/a2.209GaSb锑化镓外延片规格直径2英寸（约5cm厚0.05cm辅料丙酮kg/a500/kg/a500/异丙醇kg/a700/纯水t/a900园区直供涂布辅料HMDSkg/a2100%六甲基二硅氮烷光刻胶kg/a3770%乳酸乙酯、20%乙酸正丁酯、5%酚醛树脂多元醇、5%萘醌衍生物光刻板有机擦拭辅料丙酮kg/a90/显影辅料显影液kg/a浓度2.38%四甲基氢氧化铵水溶液干法刻蚀辅料氢气kg/a罐装kg/a30罐装三氯化硼kg/a罐装氯气kg/a罐装六氟化硫kg/a罐装三氟甲烷kg/a20罐装四氟化碳kg/a罐装氩气kg/a罐装氦气kg/a罐装氧气kg/a罐装氮气t/a园区直供去胶辅料NMPkg/a350100%N-甲基吡咯烷酮酸碱清洗辅料磷酸kg/a4085%质量浓度柠檬酸kg/a50氨水kg/a6025%质量浓度盐酸kg/a38%质量浓度，和纯水以1:10稀释后使用双氧水kg/a4030%质量浓度硫酸kg/a4098%质量浓度BOE（氢氟酸和氟化铵溶液）kg/a氢氟酸和氟化铵40%质量浓度硝酸kg/a2570%质量浓度，和纯水以1:10稀释后使用纯水t/a540纯水t/a盐酸和硝酸稀释用，园区直供侧壁钝化辅料硅烷kg/a罐装氨气kg/a5罐装笑气kg/a罐装四氟化碳kg/a50罐装氧气kg/a罐装氩气kg/a罐装氮气t/a园区直供电极生长原料片/a钛kg/a0.8/铂kg/a0.8/金kg/a0.8/辅料氧气kg/a罐装氩气kg/a罐装氮气t/a园区直供铟生长原料铟kg/a4/剥离辅料丙酮kg/a200/kg/a200/划片辅料纯水t/a园区直供倒焊辅料kg/a0.5/辅料环氧树脂胶kg/a0.2/减薄辅料切削液kg/a40/贴片取片有机擦拭辅料kg/a30/抛光辅料纯水t/a1园区直供氧化硅抛光粉kg/a5/增透膜生长原料硫化锌kg/a8/超声波清洗原料不锈钢材料kg/a20.36/钛合金材料kg/a37.4/陶瓷基板kg/a2250pcs制冷机kg/a720单套0.48kg辅料丙酮kg/a300/kg/a300/异丙醇kg/a300/纯水t/a园区直供整机封装原料钎料kg/a7.5Ag72%、Cu28%生活、废气处理、空调加湿水软化辅料t/a6994自来水管网/燃料////注：根据物料平衡，400片GaSb锑化镓外延片合重2.209kg，可以满足年产1500套红外焦平面探测器的能力。），）：—25—）：）：几乎不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿、硅氯仿和氢氟酸是一种弱酸，具有极强的腐蚀性，能强烈地腐蚀金通用双组份环氧树脂胶粘剂，为常温固化型、透明蜜蜂图2-1本项目氯平衡图（单位：t/a）图2-2本项目氟平衡图（单位：t/a）图2-3本项目氮平衡图（单位：t/a）图2-4本项目有机物平衡图（单位：t/a）表2-6主要元素物料平衡表投入（t/a）产出（t/a）种类投入量含量氯种类产出量含量氯盐酸0.10038%0.037进入酸碱清洗HCl废气0.00760.0074氯气0.0150.015进入干法刻蚀HCl废气0.0060.0058三氯化硼0.0150.014干法刻蚀未反应氯气0.0120.012干法刻蚀未反应三氯化硼0.0120.011进入酸碱清洗废液0.02850.028进入酸碱清洗废水0.00190.002合计0.066合计0.066异丙醇投入（t/a）产出（t/a）种类投入量含量异丙醇种类产出量含量异丙醇异丙醇进入有机废气0.4000.400进入有机异丙醇废液0.5500.550进入有机清洗废水0.0500.050合计合计丙酮投入（t/a）产出（t/a）种类投入量含量丙酮种类产出量含量丙酮丙酮进入有机废气0.4900.490进入有机丙酮废液0.5600.560进入有机清洗废水0.0400.040合计合计氟化物投入（t/a）产出（t/a）种类投入量含量氟化物种类产出量含量氟化物六氟化硫0.0150.012进入干法刻蚀废气0.0410.041三氟甲烷0.0200.016进入侧壁钝0.0430.043化废气四氟化碳0.0650.056进入酸碱清洗废气0.00460.0046BOE（氢氟酸和氟化铵溶液）0.10040%0.023进入酸性清洗氢氟酸废液0.01730.0173进入酸碱清洗废水0.00120.0012合计0.107合计0.107氮投入（t/a）产出（t/a）种类投入量含量氮种类产出量含量氮氨水0.06025%0.0124进入酸碱清洗废气NH30.00300.0025氨气0.0050.0041进入酸碱清洗氨水废液0.01130.0093笑气0.0100.0064进入氨水酸碱清洗废水0.000750.0006四甲基氢氧化铵0.0020.0003进入侧壁钝化废气NH30.0040.003六甲基二硅氮烷0.0020.0002进入侧壁钝化废气NO20.0170.005进入产品钝化层0.0010.0010.0020.001进入显影废液0.00200.0003进入有机废气0.0002进入酸碱清洗硝酸废液0.0037进入硝酸酸碱清洗废水0.0002合计0.027合计0.027备注：该表中产出一栏的产出量为对应废水或废液中纯物质含量如NH3含量，因此含量一栏对应为100%。投入（t/a）产出（t/a）种类投入量含量磷种类产出量含量磷磷酸0.04085%0.011进入酸性清洗磷酸废液0.03885%0.0102进入酸碱清洗废水0.0020.0006合计0.011合计0.011NMP投入产出种类投入量含量NMP种类产出量含量NMPNMP0.3500.350进入有机废气0.1400.140进入危废0.2100.210合计0.350合计0.350投入（t/a）产出（t/a）种类投入量含量种类产出量含量进入有机废气0.4300.430进入有机乙醇废液0.5600.560进入有机清洗废水0.0400.040合计合计投入（kg/a）产出（kg/a）种类投入量含量锑种类产出量含量锑锑化镓2.209进入划片废水污泥*10.090进入干法刻蚀废气*2微量微量微量进入酸碱废液*3微量微量微量进入产品2.068合计合计注：1、根据划片工艺参数，一年400片锑化镓外延片大概需划10000刀，每刀产生外延片渣的尺寸约长5cm*宽0.01cm*厚0.05cm，计算得到年废渣体积约25cm3，锑化镓密度约5.62g/cm3，则得到废锑化镓渣重量约141g。2、本项目锑化镓晶圆上参与刻蚀反应的面积约占外延片面积0.8m2（直径5cm，年400片，则面积约0.8m2）的0.5%，为0.004m2，刻蚀厚度以50μm计，则参与反应的锑化镓结合锑化镓密度5.62t/m3和分子量，计算可知废气中锑的产生量约0.00071kg/a，且经喷淋洗涤后绝大部分进入喷淋废水，废气中锑排放很小可忽略不计，本次环评不作定量分析。3、根据酸碱清洗工序，酸碱湿法清洗对锑化镓腐蚀厚度为几十纳米，本环评按照50nm考虑，外延片面积（0.8m2），则腐蚀的锑化镓体积约为4×10-8m3，结合锑化镓密度5.62t/m3，计算可知腐蚀掉锑化镓量约0.00022kg/a，且绝大部分进入酸碱废液中，后道纯水清洗废水中近乎没有，本次环评不作定量分析。表2-7产品生产过程主要物料平衡表投入，kg/a产出，kg/a外购外延片2.209产品795不锈钢材料20.36不合格芯片钛合金材料37.4污泥中锑化镓陶瓷基板2钛0.8铂0.8金0.8铟4硫化锌8制冷机7200.1合计796.47合计796.47图2-5本项目水平衡图单位t/a22m，本项目租用一层，二层为租赁方空表2-8本项目污染治理投资估算污染源环保设施名称投资（万元）运营期废水化粪池（依托园区）、污水处理站（依托园区）、划片废水处理设施5废气废气处理装置、废气管道、排气筒减振垫、消音器等2一般固废暂存间、危废仓库3环境风险地面防腐防渗等、事故应急池（依托园区）5合计本项目主要为红外焦平面探测器的生产，主要工艺流程图及产污环节如下图2-6图2-6本项目生产工艺流程图及产污环节（1）有机清洗：外购外延片在有机清洗设备操作台内依次放入不同的培养皿中进行浸泡清洗（丙酮、乙醇、异丙醇，浸泡3-5mi洗废水收集后进入园区污水站处理，清洗和吹干不同的气体进行干法刻蚀，反应气体：氢气、甲烷、三氯化硼、氯气、氩气、氦气、（5）酸碱清洗：基片依次放入不同的培养皿中进行浸泡清洗（磷酸、柠檬酸、），集后进入园区污水站处理，清洗过程产生酸碱废气。清（6）侧壁钝化：基片在化学气相沉积台中通过两种以上的气体离化后在器件表（8）铟生长、剥离：基片放入热蒸发设备中，通过加热铟，使铟形成蒸汽喷射（9）划片：划片工艺采用机械砂轮刀切割的方法，把需要切片的器件放入划片），表2-9建设项目主要污染因子类别生产单元污染源/工艺名称主要污染因子去向废气清洗、吹干有机清洗、吹干非甲烷总烃两级活性炭吸附系统，排气筒1#光刻涂布非甲烷总烃烤胶非甲烷总烃去胶去胶非甲烷总烃剥离剥离非甲烷总烃清洗超声波清洗非甲烷总烃光刻板丙酮擦拭光刻板丙酮擦拭非甲烷总烃贴片取片酒精擦拭贴片取片酒精擦拭非甲烷总烃刻蚀干法刻蚀氯气、氟化物POU净化装置（干式筒2#化学气相沉积CVD侧壁钝化硅烷、氨、NOx、氟化物清洗酸碱清洗硫酸雾、盐酸雾、氨直接进入碱喷淋系统，排气筒2#倒焊倒焊各生产过程各生产过程臭气浓度进入以上废气处理系统废水清洗有机清洗pH、CODCr、SS园区有机废水处理系统+酸碱废水处理系统清洗酸碱清洗总氮园区含氟废水处理系统+酸碱废水处理系统划片划片pH、CODCr、SS自备划片废水处理装置清洗超声波清洗pH、CODCr、SS园区有机废水处理系统+酸碱废水处理系统废气处理碱喷淋含氟废水处理系统+酸碱废水处理系统软水制备软水制备CODCr、SS、直接纳管各类生产过程各类生产过程Leq（A）/清洗有机清洗、剥离、超声波清洗有机废液委托危废单位处置光刻涂布、去胶废光刻胶委托危废单位处置光刻显影废显影液委托危废单位处置清洗酸碱清洗酸碱废液委托危废单位处置减薄减薄废切削液委托危废单位处置抛光抛光抛光废液委托危废单位处置废气处理废气处理废活性炭委托危废单位处置危化品使用危化品使用废危化品包装材料委托危废单位处置测试测试不合格芯片委托危废单位处置划片清洗废水处理划片清洗废水处理污泥委托危废单位处置划片清洗废水处理划片清洗废水处理废过滤材料委托危废单位处置生产过程生产过程废擦拭布和无尘纸委托危废单位处置废气处理废气处理POU装置废吸附剂委托危废单位处置软水制备软水制备废离子交换树脂出售给物资单位包装包装废包装材料出售给物资单位职工活动职工活动生活垃圾环卫清运量标准》（GB3095-2012）中的二级标准以及关于发布《环境空气质量标准》（GB附录D标准值、非甲烷总烃执行《大气污染物综合排放标准详解》一次值。详见表表3-1环境空气质量标准污染因子取值时单位二级浓度限值标准来源二氧化硫SO2年平均μg/m360《环境空气质量标准》（GB3095-2012）及其修改单24小时平均μg/m31小时平均μg/m3500二氧化氮NO2年平均μg/m34024小时平均μg/m31小时平均μg/m3200PM10年平均μg/m37024小时平均μg/m3PM2.5年平均μg/m33524小时平均μg/m375一氧化碳CO24小时平mg/m341小时平均mg/m3臭氧O3日最大8小时平均μg/m31小时平均μg/m3200TSP年平均μg/m320024小时平均μg/m3300氮氧化物（NOx）年平均μg/m35024小时平均μg/m31小时平均μg/m3250氟化物（F）1小时平均μg/m32024小时平均μg/m37丙酮1小时平均μg/m3800《环境影响评价技术导则大气环境》（HJ2.2-2018）附录D氯化氢1小时平均μg/m35024小时平均μg/m3氯1小时平均μg/m324小时平均μg/m330NH31小时平均μg/m3200非甲烷总烃一次值μg/m32000《大气污染物综合排放标准详解》为了了解评价基准年（2021年）项目所在区域环境质量情况，本次评价收集了表3-2区域空气质量现状评价表污染物年评价指标现状浓度ug/m3标准值ug/m3达标情况SO2年平均浓度5608.3%达标98百分位日均浓度9.3%达标NO2年平均浓度264065.0%达标98百分位日均浓度6885.0%达标PM10年平均浓度527074.3%达标95百分位日均浓度73.3%达标PM2.5年平均浓度293582.9%达标95百分位日均浓度647585.3%达标CO年平均浓度556///第95百分位日平均800400020.0%达标O3年平均浓度99///第90百分位8h平均93.8%达标同时，根据《海宁市生态环境状况公报》（2021年度），海宁市2021年空气质《浙江精瓷半导体有限责任公司半导体高功率元器件生产和研发项目环境影响报告（报告编号：万润环检（2022）检字第2022010017号、万润环检（2022）检字第表3-3环境空气其他污染因子监测结果监测因子取值时间浓度限值ug/m3浓度范围ug/m3最大监测值ug/m3最大占标率（%）最大超标倍数氮氧化物24小时平均01小时平均25031-36360氟化物24小时平均70.03*0.030.4301小时平均200.25*0.250注*：《环境空气质量监测规范（试行）》若样品浓度低于监测方法检出限时，则该监测数据应标明未检出，并以1/2最低检出限报出，同时用该数值参加统计计算。氟化物均可达到《环境空气质量标准》（GB3095-2012）其修改单标准，项目所在区根据海宁市水环境功能区划图和《浙江省水功能区水环境功能区划分方案》），水源保护区湿地，长山河水源地取水口已调整至长水塘，水环境功能区划分调整方案的复函》（浙环便函[2018]95对照浙环便函[2018]951号附件，本项目所在区域距离长水塘海宁饮用水源保护区较远，本项目与饮用水水源准保护区最近距离约760m，距离水源二级保护区约760m4270m2640m760m4270m2640m图3-1调整后水环境功能区划图江晟蓝检测有限公司对项目附近的地表水环境进行监测数据（报告编号：在项目西侧225m罗秋港设1个地表水表3-4地表水水质监测结果单位：除pH外，均为mg/L测点监测项目单位监测时间Ⅲ类标准值平均值标准指2022.3.212022.3.222022.3.23罗秋港pH值无量纲7.17.27.26~97.20.08BOD5mg/L3.63.43.4≤43.50.87石油类mg/L＜0.01＜0.01＜0.01≤0.050.010.10CODCrmg/L≤200.72氨氮mg/L0.7130.7070.710≤10.710.71总磷mg/L0.020.040.03≤0.20.030.15CODMnmg/L3.23.03.0≤60.51铜mg/L＜0.001＜0.001＜0.001≤10.00050.001锌mg/L＜0.05＜0.05＜0.05≤10.0250.03铅mg/L＜0.01＜0.01＜0.01≤0.050.0050.10镉mg/L＜0.001＜0.001＜0.001≤0.0050.00050.10汞μg/L＜0.04＜0.04＜0.04≤0.10.020.20砷μg/L＜0.3＜0.3≤500.150.003氟化物mg/L0.360.370.38≤10.370.37六价铬mg/L＜0.004＜0.004＜0.004≤0.050.0020.04挥发酚mg/L＜0.0003＜0.0003＜0.0003≤0.0050.000.03LASmg/L0.0650.0670.060≤0.20.0640.32硫化物mg/L＜0.01＜0.01＜0.01≤0.20.0050.03DOmg/L7.897.948.05≥57.960.51量标准》（GB3838-2002）Ⅲ类标准，本项目所在区域属于地表水环境质量达标区，项目厂界外50米范围内不存在声环境保护目标。根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类试行）》，无需监测声环境质量现状。根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类试行）》，本项目厂界外500米范围内不存在大气环境保护目标，500m范围内无规划居住软水制备废水直接经DW001纳管，纳管标准执行《电子工业水污染物排放标准》表3-5《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1单位：mg/L，除pH外序号污染物项目间接排放限值*1污染物排放监控位置1pH值6.0-9.0废水总排放口2悬浮物（SS）4003石油类204CODCr5005总有机碳（TOC）2006氨氮457总氮708总磷8.09LAS20氟化物20总铜20*2注1）当企业废水排向城镇污水集中处理设施时，执行本表规定的间接排放限值。（2）适用于有电镀、化学镀工艺的电子终端产品生产企业（本项目不涉及）。其他生产废水达到经园区污水处理站进水指标要求后进入园区污水处理站处理表3-6园区污水站协议进水指标接收废水类别pHCODCrNH3-NTPFTN/mg/Lmg/Lmg/Lmg/Lmg/Lmg/L含氟废水2~7200355080070有机废水300//生活污水经园区独立的生活污水收集系统收集后经园区化粪池预处理达标后经表3-7《污水综合排放标准》单位：除pH外，mg/L序号污染物三级标准1pH6～92化学需氧量（CODCr）5003悬浮物（SS）4004氨氮35①5总磷6生化需氧量（BOD5）3007石油类20注：①NH3-N、总磷纳管执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013）中其它企业标准限值。产品基准排水量，本项目中间产品为2英寸芯片，参照执行半导体器件中6英寸及以表3-8《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表2适用企业产品规格单位单位产品基准排水量排水量计量单位半导体器件6英寸及以下芯片m3/片3.2与污染物排放监控位置一致8英寸芯片m3/片6.0掩膜层数35层及以下m3/片掩膜层数35层及以上20封装产品传统封装产品m3/千块产品2.0圆片级封装产品m3/片分立器件m3/万块产品3.5表3-9《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）单位：除pH外，mg/L序号基本控制项目一级A标准1pH6～92化学需氧量（CODCr）503生化需氧量（BOD5）4悬浮物（SS）5氨氮5（8）6总磷0.5注：括号外数值为水温＞12℃时的控制指标，括号内数值为水温≤12℃时的控制指标。气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中的二级标准。丙酮排放浓度参照执行上海市地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）中附录A。具表3-10《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）污染物最高允许排放浓度（mg/m3）最高允许排放速(kg/h)无组织排放监控浓度限值排气筒(m)二级监控点浓度（mg/m3）氯气65270.7周界外浓度最高点0.40氟化物9.00.520HCl0.20非甲烷总烃42.24.0硫酸456.9NOx2403.5丙酮*3.2*注：①允许排放速率依据《制定地方大气污染物排放标准的技术方案》（GB/T13201-91）中第6节所推荐公式计算：Q=Cm×R×Ke②根据《大气污染物综合排放标准详解》无组织监控点浓度取环境质量标准的4倍。表3-11《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）污染物排放标准值厂界标准值排放量，kg/h新扩改建，mg/m3NH327臭气浓度276000（无量纲）20（无量纲）企业厂区内VOCs无组织排放监控点浓度执行《挥发性有机物无组织排放控制标表3-12挥发性有机物无组织排放控制标准（GB3782-2019）单位：mg/m3污染物项目特别排放限值限值含义无组织排放监控位置NMHC6监控点处1h平均浓度值在厂房外设置监控点20监控点处任意一次浓度值本项目运营期厂界噪声控制标准执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》表3-13工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）单位：dB（A）标准类别昼间夜间6555废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020），采用库房、包装工具（于同一设区市。上一年度环境空气质量达标的区域，对石），质量达到要求的区域，CODCr、NH3本项目实施后污染物排放量为废水量4440t/a、CODCr0.222t/a、NH3-N0.022t/a、表3-14总量控制值单位t/a类型指标本项目排放量区域内替代削减区域内替代削减总量控制建议企业排放增减废水废水量4440//4440+4440CODCr0.2220.2220.222+0.222NH3-N0.0220.0220.022+0.022废气VOCs0.3710.7420.371+0.371NOx0.0010.0020.001+0.001本项目施工期主要为设备安装，不涉及厂房建设表4-1废气源强核算情况表序号工序/生产线装置污染污染物污染物产生治理措施污染物排放排放/h核算方法产生浓mg/m3产生量收集方式收集效率%工艺是否可行技术治理效率%行业整治规范符合排放浓mg/m3排放量kg/ht/akg/ht/a1洗、丙酮擦声波清洗机等有组织丙酮物料平衡法6.1820.1360.490洁净通过不断向室内引入洁净空气来增强两级活性炭吸附是75符合2.7200.0340.1233600非甲烷总烃12.5450.2760.992是75符合5.5200.0690.24836002干法刻蚀干法刻蚀机有组织氯气物料平衡法/0.0030.012POU净化装置（干式吸附）+碱喷淋是93.8符合/0.00020.00073600氟化物/0.0110.041是93.8符合/0.00070.00253600三氯化硼/0.0030.012是93.8符合/0.00020.00073600HCl/0.0020.006室内的气持室内微并通过对设备设置密闭负压收集柜或通过设备管道密闭连接收集废气至主可实现车间内废气密闭收集是93.8符合/0.00010.00043600侧壁钝化等离子体化学气相沉积系统有组织氨/0.0010.004是93.8符合/0.00010.00023600NOx/0.0050.017是93.8符合/0.00030.00113600氟化物/0.0120.043是93.8符合/0.00080.00273600干法刻蚀和侧壁钝化干法刻离子体化学气相沉积系统有组织氯气0.0030.012是93.8符合/0.00020.00073600氟化物7670.0230.084是93.8符合/0.00140.00523600三氯化硼0.0030.012是93.8符合/0.00020.00073600HCl670.0020.006是93.8符合/0.00010.00043600氨330.0010.004是93.8符合/0.00010.00023600NOx0.0050.017是93.8符合/0.00030.00113600焊酸碱清装机有组织氨/0.0010.003碱喷淋是75符合/0.00020.00083600HCl/0.0020.0076是75符合/0.00050.00193600氟化物/0.0010.005是75符合/0.00040.00133600清洗、倒焊干法刻离子体化学气相沉积碱清洗机有组织氯气/0.0030.012干法刻蚀和侧壁钝化废气先经本地POU净化装置（干式吸附）处理后再和其他废气一起经碱喷淋装置处理是93.8符合0.0180.00020.00073600氟化物/0.0250.089是92.7符合0.1640.00180.00653600三氯化硼0.0030.012是93.8符合0.0180.00020.00073600HCl/0.0040.014是83.6符合0.9090.0010.00233600氨/0.0020.007是85.7符合0.0270.00030.00103600NOx/0.0050.017是93.8符合0.0270.00030.00113600企业采用HMDS和光刻胶对基片进行涂布，涂布和烤胶过程产生一定量的涂布和烤胶废气。HMDS为六甲基二硅氮烷，考虑全部挥发进入光刻胶中含70%乳酸乙酯、20%乙酸正丁酯、5%酚醛树脂多元醇、5%萘醌衍生物，本项目HMDS年用量2kg/a、光刻胶年用量为37kg/a，光刻胶约30%洗废气，乙醇和异丙醇以非甲烷总烃计。考虑丙酮、乙醇、异丙醇约55液作为危废，5%残留在表面，经后续纯水清洗进入废水，则进入废气量约40%。丙表4-2有机废气收集及处理方式废气种类对应设备设备位置集气方式处理方有机清洗废气有机清洗设备*5清洗抛光间密闭负压收集柜*5洁净车间，通过不断向室内引入洁净空气来增强室内的气压，保持室内微正压，并通过对设备设置密闭负压收集柜或通过设备管道密闭连接收集废气至主管道，可实现车间内废气密闭12500m3/h经两级活性炭吸附处理经离地27m排气筒DA001高空排放去胶废气、剥离废气机*1密闭负压收集柜*1超声波清洗废气洗机*2密闭负压收集柜*1涂布烤胶废气匀烤胶机光刻间设备管道密闭连接HMDS涂胶机*1设备管道密闭连接光刻板酒精擦拭有机操作密闭负压收集柜*1贴片取片丙酮擦拭废气有机操作减薄间密闭负压收集柜*1干法刻蚀工艺主要通过不同的气体对基片进行干法刻蚀，根据企业提供的资料，GaCl3和SbCl3等遇水极易反应生成HCl，统计时按），化硼产生量约0.012t/a。考虑三氯化硼无相关排放标准和环境质量标准，本环评不对干法刻蚀废气先经独立的本地POU处理装置（干式化学吸附处理）后再和其他侧壁钝化工艺是通过两种以上气体理化后在基片表面发生化学反应形成钝化膜，供的资料其侧壁钝化工艺所用的各类气体年用量为硅烷15kg/a、氨气5kg/a、笑气该股未反应完的硅烷和生成的颗粒物、H2排放量很小，再经过独立的本地POU计，因此本次环评对侧壁钝化废气中硅烷、颗粒物70%硝酸进行酸碱清洗产生一定量的湿法清洗酸性废气，主要污染物为物（氟化氢）等。企业采用氨水进行酸碱清洗产生一定量的酸碱清洗碱性废气，主要量少，约40kg/a，常温下操作，约95%进入酸碱废液，5%进入废水，废气不作定量时间短，常温下操作，且稀释后的稀硝酸不易挥发，70%硝酸形成的NOx本环评不对其进行定量分析，总体考虑约95%进入酸碱废液，5%进入废本项目38%质量浓度盐酸溶液用量100kg液，5%进入废水，则各污染物产生量为氯化氢0.0076t/a、氟化物0.0046t/a、氨气表4-3酸碱和工艺废气收集及处理方式废气种类对应设备设备位置集气方式处理方式干法刻蚀废气干法刻蚀机*2操作区设备管道密闭连接向室内引入洁净空气来增强室内的气压，保持室内微正置密闭负压收集柜或通过设备管道密闭连接收集废气至内废气密闭收集，POU净化装置风量约30m3/h，总体集气风量11000m3/h干法刻蚀和侧壁钝化废气先经独立的本地POU净化装置（干式吸附）处理后，再和其他废气一起经碱喷淋装置处理后经离地27m排气筒DA002高空排放侧壁钝化废气等离子体化学气相沉积系统设备管道密闭连接酸碱清洗废气酸碱清洗设备*3清洗抛光间密闭负压收集柜*3倒焊废气倒装机倒焊间设备管道密闭连接表4-4非正常排放源强表序号非正常排放源非正常排放原污染物非正常排放浓度/(mg/m3)非正常排放速率/(kg/h）单次持续时间年发生频次/次应对措施1有机清洗、吹干、涂布、烤胶、去胶、剥离、超声波清洗、有机擦拭废气装置故障，效率降为50%丙酮5.440.0680.51检修非甲烷总烃0.1382干法刻蚀、侧壁钝化、酸碱清洗、倒焊废气装置故障，效率降为50%氯气0.1820.0020.51检修氟化物0.013HCl0.002氨0.0910.001NOx0.2730.003图4-1废气处理工艺流程图表4-5废气处理设施可行性对照分析主要生产单元污染物项目可行技术本项目是否可行有机清洗、吹干、涂布、烤胶、去胶、剥挥发性有机物燃烧法、浓缩+两级活性炭吸附法是离、超声波清洗、丙酮和酒精擦拭燃烧法酸碱清洗等雾等本地处理系统（POU）、酸碱喷淋洗涤吸收法干法刻蚀和侧壁钝化废气先经独立的本地POU净化装置（干式吸附）处理后，再和其他废气一起经碱喷淋装置处理是图4-2干式化学吸附装置（DryScrubber）系统图表4-6干式吸附装置（DryScrubber）吸附材料主要成分废气种类污染因子吸附材料主要成分吸附容量侧壁钝化和干法刻蚀废气氯气、氟化物、HCl氢氧化钙30L/L吸附材料氨硫酸铜60L/L吸附材料NOx氧化锰-氧化铜23L/L吸附材料硅烷氧化铝、氧化铜20L/L吸附材料三氯化硼氢氧化锶25L/L吸附材料图4-3干式吸附装置吸附材料形态照片为了提高净化塔的净化效率，本项目废气洗涤塔填料采用特殊PP海胆型保尔环自动加药系统对洗涤塔进行中和液的药剂添加补充，每套系统包括加药箱、pH计及表4-7大气排放口基本信息表排放排放污染物种类排放口地理坐标排气筒高排气筒出口内排气温排放排放标准其他经度纬度有机废气排气筒丙酮120.66101130.57392270.925℃一般排放口上海市地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）中附录A（参照）/非甲烷总烃《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2中的二级标准2#酸碱和工艺废气排气筒氯气120.6610030.57388270.825℃一般排放口《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2中的二级标准/氟化物HClNOx氨《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2标准臭气浓度注：由于有机废气排气筒风机设计风量为22000m3/h，实际运行风量为12500m3/h，酸碱和工艺废气排气筒风机设计风量为18000m3/h，实际运行风量为11000m3/h，企业排气筒内径根据设计风量设置的，所以实际运行时出口