【恒锐知产】2025年静电卡盘创新主体创新体系评价报告

服务科技创新服务未来价值恒锐知识产权上海恒锐知识产权服务有限公司上海恒锐佳知识产权代理事务所持之以恒锐意进取垂直行业垂直行业恒锐知识产权是半导体垂直行业知识产权咨询与服务机构，通过与半导体产业深度融合，业务与客户覆盖集成电路产业设计、制造、封装、设备、材料等各领域，致力于为客户提供数据、分析、咨询、确权、行权和维权的全方位知识产权解决方案。双核互动作为国内和上海市专利信息与情报分析的先行者与领先者，恒锐知识产权是全国知识产权评议服务示范创建机构、中华代理师协会理事，致力于专利信息利用与高价值专利布局的双核互动服务，累计完成专利情报分析项目超过2000项，形成高价值专利布局超过5000件，助力10余家企业成功登陆科创板。·数据权威：基于全球专利数据、100+家创新主体分析，涵盖技术分类、法律状态等·规避专利风险：基于动态更新的专利数据库，检索高风险技术点，预警潜在侵权纠纷·深度解析：应用材料、东京电子等头部企业的核心专利布局逻辑，为国产研发提供“技术抄近道”指南苏州芯慧联半导体科技有限公司-一总公开静电卡盘-一总公开静电卡盘44333200创新评分专利情况创新评分9件苏州芯慧联半导体科技有限公司—Professiona/IPService融资历程龙鼎投资百奥化学浦科投资苏州芯慧联半导体科技有限公司公司情况WST未上市半导体零部件厂产品情况(图源芯慧联官网)主营业务静电卡盘产品苏州芯慧联是一家专注于半导体领域专用设备设计及技术研发的企业，主要面向泛半导体领域的生产制造企业，为其提供配套的工艺设备、零部件、系统单元以及技术服务支持。芯慧联的静电卡盘能够完全替代进口产品，技术达到国际领先水平。静电卡盘研发静电卡盘生产静电卡盘销售静电卡盘维护奖项荣誉高新技术企业、科技型中小企业广东海拓创新技术有限公司-一总公开一静电卡盘专利情况7件布局广度创新评分广东海拓创新技术有限公司战略融资广东海拓创新技术有限公司未上市半导体零部件厂(图源海拓创新官网)产品情况主营业务静电卡盘产品海拓创新是一家专注半导体及显示行业关键零部件进行国产化的技术型公司，在国产化静电卡盘及基于静电卡盘为技术核心设备领域的设计、生产具有领先地位，通过了ISO14001、ISO14001等国际质量体系认证，其静电卡盘系统涵盖晶圆搬运、氧化物/多晶硅刻蚀、离子注入、薄膜等工序。静电卡盘研发静电卡盘生产静电卡盘销售静电卡盘维护奖项荣誉高新技术企业、科技型中小企业苏州众芯联电子材料有限公司布局深度创新成果布局深度4433322布局广度保护强度布局广度累计授权专利累计授权专利创新体系评分国内排名累计相关专利8件苏州众芯联电子材料有限公司iFuture恒筑—Professiona//PServic公司情况未上市产品情况主营业务众芯联在静电卡盘领域内属于新兴企业，其生产的静电卡盘广泛应用于芯片和面板制造领域，主要服务于干刻、PVD、CVD等设备。主营业务静电卡盘产品静电卡盘研发静电卡盘生产静电卡盘销售静电卡盘维护奖项荣誉高新技术企业、科技型中小企业浙江新纳陶瓷新材有限公司—Professiona//PServic研发体系布局深度创新成果布局深度75544420布局广度保护强度创新评分专利情况创新评分累计发明申请累计相关专利8件累计发明申请累计相关专利8件国内排名累计授权专利浙江新纳陶瓷新材有限公司浙江新纳陶瓷新材有限公司拟在深交所上市半导体零部件厂(图源新纳陶瓷官网)产品情况主营业务静电卡盘产品新纳陶瓷是一家专业从事设计开发、生产制造、销售陶瓷材料和产品的高新技术民营企业，拥有国外先进、国内领先的陶瓷材料和产品生产线，已形成以陶瓷基板、结构陶瓷、陶瓷器件等为主导的多门类产品，专注于半导体、移动通讯、新能源等应用领域的陶瓷材料及器件的研发生产，是国内特种陶瓷材料和产品的主要生产厂家。静电卡盘研发静电卡盘生产静电卡盘销售静电卡盘维护奖项荣誉高新技术企业、专精特新中小企业北京华卓精科科技股份有限公司一一总公开一静电卡盘专利情况累计专利申请679件累计授权专利244件累计发明申请累计相关专利布局广度6th6th北京华卓精科科技股份有限公司融资历程水木创投C轮-1130万A+A+轮-1020万在册股东大华大陆D+轮-7587.5万浑璞投资，红星美凯龙B++轮-1200万在册股东B轮-3282万在册股东，大华大陆投资，中金公司等在册股东，大华大陆投资，中金公司等A轮-500万中海投资，中关村海淀园D轮-8700万浑璞投资，红星美凯龙，中金公司北京华卓精科科技股份有限公司iFuture恒筑退市834733中国·北京半导体零部件厂产品情况华卓精科在中国半导体用静电卡盘市场中属于领先企业之一，其12英寸PVD氮化铝静电吸盘已经实现量产，并在市主营业务场中获得了一定的份额，能够满足12英寸晶圆的加工需求。主营业务静电卡盘产品静电卡盘研发静电卡盘生产静电卡盘销售静电卡盘维护奖项荣誉高新技术企业、知识产权示范单位、科学技术奖、中国专利银奖君原电子科技(海宁)有限公司-一总公开一静电卡盘研发体系创新成果布局深度创新成果922保护强度布局广度保护强度专利情况创新评分专利情况82件2件82件2件37件君原电子科技(海宁)有限公司融资历程AA轮—3800万美元战略融资上海创投等战略融资战略融资战略融资上海创投等私募，兴橙资本等君原电子科技(海宁)有限公司公司情况未上市半导体零部件厂产品情况主营业务静电卡盘产品君原电子是国内第一家实现规模化生产半导体静电吸盘的公司，引领了国内相关产业的发展，其产品线实现了对14nm及以上的主要刻蚀机台静电吸盘产品的全覆盖，能够满足不同工艺节点和设备类型的需求，为客户提供一站式的解决方案。静电卡盘研发静电卡盘生产静电卡盘销售静电卡盘维护高新技术企业烟台睿瓷新材料技术有限公司-一总公开一静电卡盘专利情况24件6件13件14件布局广度创新评分4th烟台睿瓷新材料技术有限公司产品情况—Professiona/IPService奖项荣誉江苏鲁汶仪器股份有限公司-一总公开一静电卡盘22131专利情况累计专利申请734件累计授权专利累计发明申请累计相关专利创新评分LELEN江苏鲁汶仪器股份有限公司江苏鲁汶仪器股份有限公司未上市半导体设备厂产品情况主营业务静电卡盘产品鲁汶仪器致力于为集成电路制造产业提供先进的装备和工艺解决方案，研发了业界领先的离子束塑形设备(IBS)、离子束沉积设备(IBD)等，鲁汶仪器也提供电感耦合等离子体刻蚀设备(ICP)、薄膜沉积设备(CVD),以及气相分解金属沾污收集设备(VPD)等晶圆工艺制造设备与检测设备。静电卡盘研发静电卡盘生产静电卡盘销售静电卡盘维护高新技术企业、中国专利优秀奖-一总公开一静电卡盘创新评分专利情况创新评分8301件211件北京北方华创微电子装备有限公司融资历程股权融资中国中信金融资产等股权融资中国中信金融资产等定向增发北京京国瑞国企改革发展基金等2016.10.28战略融资芯动能投资，国家集成电路产业投资基金定向增发北京电控等股权融资七星华电定向增发—21亿人民币中国中信金融资产等定向增发—85亿北京市集成电路制造和装备基金，嘉实资本，广发基金等北京北方华创微电子装备有限公司公司情况NAURA半导体设备厂产品情况主营业务静电卡盘产品北方华创的主要产品包括刻蚀机、PVD、ALD、CVD、氧化/扩散炉、清洗机、气体质量流量计等高端半导体工艺装备及核心零部件，广泛应用于集成电路、先进封装、半导体照明、微机电系统、功率半导体、化合物半导体、新能源光伏、平板显示等领域。静电卡盘研发静电卡盘生产静电卡盘销售静电卡盘维护奖项荣誉中国半导体行业协会会员、中国半导体市场领军企业、高新技术企业、专精特新小巨人”企业、科学进步奖、知识产权创新奖、中国专利优秀奖中微半导体设备(上海)股份有限公司-一总公开一静电卡盘8创新评分专利情况创新评分2782件1621件279件—Professiona/IPService中微半导体设备(上海)股份有限公司公司情况AMEC科创板上市半导体设备厂产品情况(图源-中微官网)主营业务静电卡盘产品中微公司是一家以中国为基地、面向亚洲和全球的微观加工高端设备公司，其等离子刻蚀设备和硅通孔刻蚀设备已被广泛应用于从45纳米到1X纳米工艺的芯片加工制造及先进封装，用于LED和功率器件外延片批量生产的MOCVD设备静电卡盘研发静电卡盘生产静电卡盘维护奖项荣誉中国半导体行业协会会员、高新技术企业、中国专利金奖、中国专利银奖所在地区保护中国北京江苏鲁汶仪器股份有限公司中国江苏中国山东君原电子科技(海宁)有限公司中国浙江0广东海拓创新技术有限公司中国广东基于静电卡盘相关专利数据，从研发体系，创新成果、保护强度、布局深度、布局广度五个角度为国内创新主体进国内创新主体静电卡盘创新体系评价排行-一总公开一静电卡盘99创新评分专利情况创新评分261件261件日本特殊陶業日本特殊陶业株式会社日本特殊陶业株式会社公司情况公司情况零部件厂零部件厂产品情况日本特殊陶业在半导体设备零部件领域占据着显著的份额，提供着多种半导体制造设备用的精密陶瓷部件。日本特殊主营业务陶业是全球主要的静电卡盘翻新生产商之一，同时也是陶瓷型静电卡盘市场份额中排名靠前。主营业务静电卡盘产品静电卡盘研发静电卡盘生产静电卡盘销售静电卡盘维护6766创新评分专利情况创新评分84730件京瓷株式会社公司情况CKyOCERa京瓷零部件厂零部件厂产品情况图片来自于京瓷官网主营业务京瓷在电子陶瓷领域是全球规模最大的先进陶瓷供应商，被称为电子陶瓷之王。京瓷的静电卡盘具有高精度，高温耐久性和化学稳定性，适用于等离子体环境，更够在各种操作温度下保持良好的性能。静电卡盘产品静电卡盘研发静电卡盘生产静电卡盘销售静电卡盘维护奖项荣誉科睿唯安2023百强创新企业，BSFVSealforInnovation,SupplierExcellenceAwardfromEVGroup,日本文部科学省2021年科学技术奖—20202021创新评分专利情况创新评分3883件354件3883件354件8848件4689件住友大阪水泥股份有限公司产品情况奖项荣誉-一总公开一静电卡盘专利情况创新评分专利情况4129件326件9606件4129件326件9606件5434件新光电气工业股份有限公司公司情况SHINKO产品情况奖项荣誉2016年泛林半导体SupplierExcellenceAward,英特尔2017年度SupplierContinuousQualityImprovementAward,JapanFine株式会社创意科技-一总公开静电卡盘研发体系专利情况3337件1371件917件151件市场广度8.00保护强度创新评分—Professiona//PServic产品情况奖项荣誉研发体系总公开一一总公开一一布局深度创新成果保护强度市场广度2729保护强度市场广度创新评分专利情况创新评分35225件11546件486件东陶机器株式会社东陶机器株式会社—Professiona//PServic公司情况公司情况东京交易所上市东京交易所上市产品情况主营业务东陶机器株式会社(TOTO)除了主营的卫浴洁具和建材以外，其在精密套磁领域也有涉猎较深，其在半导体制造和光通信领域制造和销售高品质高精度的陶瓷产品，如气滑，静电卡盘和焊接毛细管等。主营业务静电卡盘产品静电卡盘研发静电卡盘生产静电卡盘销售静电卡盘维护奖项荣誉IF设计大奖，红点设计奖。日本碍子株式会社53专利情况创新评分专利情况16745件434件45779件16745件434件45779件26596件日本碍子株式会社日本碍子株式会社—Professiona/IPService公司情况公司情况零部件厂零部件厂产品情况日本碍子株式会社是一家以先进陶瓷为核心的公司，其在静电卡盘领域主要为下游厂家提供氮化铝，氧化铝等先进陶主营业务瓷件。静电卡盘产品静电卡盘研发静电卡盘生产静电卡盘销售静电卡盘维护日本第23届中部科学技术中心表彰振兴奖，最佳传感器奖，第78届日本陶瓷协会技术奖，SBT倡议的净零标准认证，JAXA宇宙探测创新宇宙探测创新中心选中。拉姆研究公司专利情况专利情况12653件相关专利486件12653件相关专利486件28778件累计授权专利15623件全球排名3rd专利情况创新评分79380件45501件79380件45501件1316件东京电子株式会社TEL公司情况设备厂设备厂产品情况主营业务东京电子是全球第四大半导体设备厂商，其涂胶显影设备全球市占率排名第一。东京电子所制造的静电卡盘在日本，台湾和韩国拥有较高的影响力，应用产业多数为半导体，平板显示器和数据存储器方面。主营业务静电卡盘产品静电卡盘研发静电卡盘生产静电卡盘销售静电卡盘维护奖项荣誉TSMC卓越表现奖，科睿唯安年度百强创新机构，全球百搭创新灵修，nikkei综合报告优秀奖。应用材料股份有限公司专利情况创新评分40527件41629件41629件应用材料股份有限公司公司情况APPLIED 纳斯达克上市设备厂产品情况(图片来源于J316.)主营业务应用材料股份有限公司是一家全球领先的材料工程解决方案供应商，其生产的静电卡盘占据了全球市场的主导地位。静电卡盘产品静电卡盘研发静电卡盘生产静电卡盘销售静电卡盘维护奖项荣誉美国国家技术奖，中国专利奖，全球500强，英特尔epic杰出供应商，入选《财富》杂志评选的全球最受尊敬公司。所在地区保护应用材料股份有限公司美日本东京拉姆研究公司美国加州4.422.897.588.158.5431.6日本东京基于静电卡盘相关专利数据，从研发体系，创新成果、保护强度、布局深度、布局广度五个角度为国外创新主体进国外创新主体静电卡国外创新主体静电卡盘创新体系评价排行半导体部件厂技术分类数量排名情况全球部件厂IPC小组数量排名前十权利人①①日本碍子株式会社②住友大阪水泥股份有限公司3日本特殊陶业株式会社东陶机器株式会社新光电气工业股份有限公司京瓷株式会社株式会社创意科技信越化学工业株式会社君原电子科技(海宁)有限公司美科陶瓷科技有限公司国内部件厂IPC小组数量排名前十权利人①①君原电子科技(海宁)有限公司24②苏州众芯联电子材料有限公司63北京华卓精科科技股份有限公司5浙江新纳陶瓷新材有限公司5建泓科技实业股份有限公司3力鼎精密股份有限公司3瑞耘科技股份有限公司3翔名科技股份有限公司3宁波江丰电子材料股份有限公司3芜湖通潮精密机械股份有限公司3半导体设备厂技术分类数量排名情况①中微半导体设备(上海)股份有限公司①中微半导体设备(上海)股份有限公司3江苏鲁汶仪器股份有限公司5盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司4东莞先导先进科技有限公司3天津鑫钰半导体设备有限公司2中微半导体设备(上海)股份有限 |41《全球IPC小组数量最多的企业是应用材料股份有限公司，技术分类达有128个；其次是东京电子株式会社，有103个；中国设备厂中微半导体(上海)股份有限公司，技术分类达有41个；其余的创新主体的IPC小组均小于10。9”国内外部件厂静电卡盘相关专利发明人数量TOP10全球部件厂静电卡盘专利发明人数量TOP10国内部件厂ESC专利发明人数量TOP10东陶机器株式会社日本特殊陶业株式会社日本碍子株式会社住友大阪水泥股份有限公司新光电气工业股份有限公司京瓷株式会社太平洋水泥株式会社巴川集团股份有限公司信越化学工业株式会社美科陶瓷科技有限公司北京华卓精科科技股份有限公司39建泓科技实业股份有限公司君原电子科技(海宁)有限公司苏州众芯联电子材料有限公司浙江新纳陶瓷新材有限公司衡阳凯新特种材料科技有限公司宁波江丰电子材料股份有限公司宁波江丰电子材料股份有限公司烟台睿瓷新材料技术有限公司10杭州大和热磁电子有限公司10翔名科技股份有限公司“在部件厂中，”Ⅲ川ⅢⅢ川Ⅲ“在设备厂中，中外厂商发明人人数差距明显全球范围内静电卡盘相关专利发明人数最多的是应用材料股份有限公司，有1290位发明人；其次是东京电子株式会社，有1039位发明人；相对的，中国企业相关专利发明人数最多是中微半导体设备(上海)股份有限公司，有207位发明人；其次是北京北方华创微电子装备有限公司，有188位发明人；全球创新主体有效发明专利排名“全球范围内，有效发明专利持有数量最多的企业是东京电子，有520件；排名第三位的是拉姆研究，有289件。9“从剩余期限分布来看，数量最多的为具有15-20年剩余期限的专利；数量最少的为具有0-5年剩余期限的专利。9中国部件厂商-被引总次数及被引用率TOP“在中国部件厂商中，被引总次数最多的企业是北京华卓精科科技股份有限公司，有16件，对应被引用率为31.03%全25.12%严被引总次数最多的企业是北京北方华创微电子设备有限公司，有174次，对应被引用率为25.12%;其次是中微半导体设备(上海)股份有限公司，有150次，对应的被引用率为18.28%;其他厂商的专利被引用总次数均不足10次。”全球部件厂商-近5年被引≥5次专利数及被引用率TOP10n/近5年被引次数≥5次的专利数最多的企业是新光电气公司，有148件，对应被引用率为24.23%;其次是东陶机器株式会社，有122件，对应的被引用率为38.68%;/近5年被引次数≥5次的专利数最多的企业是应用材料股份有限公司，有209件，对应被引用率为其次是东京电子，有136件，对应的被引用率为35.26%。”国内部件厂近五年静电卡盘专利申请量排名TOP10申请数量最多的企业是君原电子，有23件；从第三名开始申请量低于10件。君原电子科技(海宁)有限公司烟台睿瓷新材料技术有限公司苏州众芯联电子材料有限公司君原电子科技(海宁)有限公司烟台睿瓷新材料技术有限公司苏州众芯联电子材料有限公司浙江新纳陶瓷新材有限公司广东海拓创新技术有限公司北京华卓精科科技股份有限公司杭州之芯半导体有限公司北京中硅泰克精密技术有限公司衡阳凯新特种材料科技有限公司杭州大和热磁电子有限公司国内设备厂近五年静电卡盘专利申请量排名TOP10·中微半导体设备(上海)股份有限公司北京北方华创微电子装备有限公司江苏鲁汶仪器股份有限公司北京烁科中科信电子装备有限公司53盛吉盛半导体科技有限公司东莞先导先进科技有限公司申请数量最多的企业是中微公司，有78件；从第三名开始申请量低于10件。苏州芯慧联半导体科技有限公司上海谙邦半导体设备有限公司7富乐德科技发展(大连)有限公司得立亚科技有限公司全球部件厂近五年静电卡盘专利申请量排名TOP10·新光电气工业股份有限公司东陶机器株式会社日本特殊陶业株式会社住友大阪水泥股份有限公司日本碍子株式会社在全球部件厂中，申请数量最多的企业是新光电气，有148件；其次是东陶机器，有122件；恩特格里斯公司排名第三的是日本特陶，有79件。君原电子科技(海宁)有限公司工工美科陶瓷科技有限公司:翻和相7:翻和相京瓷株式会社全球设备厂近五年静电卡盘专利申请量排名TOP10?东京电子株式会社应用材料股份有限公司中微半导体设备(上海)股份有限公司细美事有限公司拉姆研究公司北京北方华创微电子装备有限公司在全球设备厂中，申请数量最多的企业是东京电子，达360件；其次是应材，有332件；排名第三的是中微公司，有78件。株式会社日立高新技术马特森技术公司株式会社迪思科7国内部件厂商静电卡盘专利申请量TOP10“平均12件申请数量最多的企业是华卓精科，有29件；其次是睿瓷新材，有14件；从第三名开始申请量低于10件。9广东海拓创新技术有限公司艾希纳半导体科技(苏州)有限公司君原电子科技(海宁)有限公司北京中硅泰克精密技术有限公司北京华卓精科科技股份有限公司苏州众芯联电子材料有限公司烟台睿瓷新材料技术有限公司建弘科技实业股份有限公司浙江新纳陶瓷新材有限公司力鼎精密股份有限公司448855全球部件厂ESC专利申请量排名TOP10东陶机器株式会社486日本碍子株式会社434住友大阪水泥股份有限公司354新光电气工业股份有限公司326“平均235件日本特殊陶业株式会社261“平均235件在全球部件厂中，排名前五位的申请量均高于平均值；京瓷株式会社200排名前五位的申请量均高于平均值；巴川集团股份有限公司83申请数量最多的企业是东陶机器，达486件；信越化学工业株式会社79其次是日本碍子，有434件；美科陶瓷科技有限公司太平洋水泥株式会社均值：235均值：235住友大阪排名第三位。”国内设备厂商静电卡盘专利申请量TOP10“平均54件在国内设备厂中，申请数量最多的企业是中微公司，达279件；其次是北方华创微电子，有211件；从第三名开始申请量低于15件。均值：53.9东莞先导先进科技有限公司上海凯世通半导体股份有限公司藩海精研股份有限公司汉辰科技股份有限公司盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司北京妖科中科信电子装备有限公司苏州芯慧联半导体科技有限公司江苏鲁汶仪器股份有限公司北京北方华创微电子装备有限公司中微半导体设备(上海)股份有限公司东莞先导先进科技有限公司上海凯世通半导体股份有限公司藩海精研股份有限公司汉辰科技股份有限公司盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司北京妖科中科信电子装备有限公司苏州芯慧联半导体科技有限公司江苏鲁汶仪器股份有限公司北京北方华创微电子装备有限公司中微半导体设备(上海)股份有限公司全球设备厂ESC专利申请量排名应用材料股份有限公司东京电子株式会社拉姆研究公司中微半导体设备(上海)股份有限公司北京北方华创微电子装备有限公司株式会社爱发科细美事有限公司株式会社日立高新技术株式会社迪思科瓦里安半导体设备公司211161149均值：467均值：467“平均467件申请数量最多的企业是应材，达1558件；拉姆研究排名第三位。从设备厂/部件厂，国内/国外的划分角度出发，从申请量，发明人，引用率等多维度出发对静电卡盘领域内的权利人静电卡盘相关专利多维排行中国各地区创新主体静电卡盘相关专利平均申请量浙江湖北辽宁司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司29同同同同同同同同同同同同同同同同同同同司同同后23同司同司司同6同同同同同5"29件创新主体静电卡盘相关专利平均申请数量最多的地区是北京，平均达29件；"29件创新主体静电卡盘相关专利平均申请数量最多的地区是北京，平均达29件；9中国地区静电卡盘相关创新主体分布情况中国地区，创新主体最多的地区是台湾，达18个；江苏地区有17个，位列第二；上海地区有13个，排名三位。4422222台湾地区、上海地区创新主体中各有4个上市公司。上海广东浙江中国地区静电卡盘相关专利申请分布在中国，静电卡盘相关申请最多的地区是上海，达299件；北京地区相关申请有261件；浙江地区相关申请有65件。全球各地区创新主体静电卡盘相关专利平均申请量美国司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司司16司司司司司司司司司司司司司司司司司司76中国英国84“136件全球范围内，创新主体静电卡盘相关专利平均申请数量最多的地区是美国，达136件；9全球静电卡盘相关创新主体分布情况创新主体数量创新主体数量"98个创新主体最多的地区是中国，达98个；日本、美国分列二三位。9311以色列韩国31“34家日本地区静电卡盘相关创新主体上市公司数量34家；中国地区创新主体中有18家上市公司。9653全球静电卡盘相关专利申请分布—Professiona//PSer全球范围内静电卡盘相关专利申请量排名前三地区：日本4499件、美国2592件、中国791件。”韩国，日本韩国，日本8静电卡盘相关专利技术分类发展历程…半导体器件半导体器件半导体器件半导体器件半导体器件—Professiona/IPService“44.60%部(电学)、B部部(化学、冶金)。静电卡盘技术领域的专利类型主要为发明。9发明，9596,96.2%PCTPCT指定期满，619,6.2%“38.8%静电卡盘相关专利中的有效专利有3871件；失效专利中，有接近一半的专利曾经获得授权，且专利权存续2过或长或短的一段时间。有效，3871,38.8%驳回申请终止放弃避免重复授权PCT指定期内，75,0.8%失效，4041,40.5%静电卡盘相关专利申请趋势中国88海外从全球申请趋势来看，静电卡盘技术领域的第一件专利出现于1975年，1975年-1990年，专利申请数量缓慢增长；1991年-2004年，总体呈现上升趋势，但增长速度比较缓慢；2006年-2015年，专利申请数量波动较大，且有几年呈明显下降趋势；2016年-2019年，专利申请数量快速上升，并在2019年达到了从中国申请趋势来看，与全球申请趋势基本一致，但中国静电卡盘相关技术的专利申请整体上落后于全球一个时期；中国目前处于快速发展期，结合全球申请趋势，中国主体的专利申请数量可能在几年之后有所下降。静电卡盘相关专利