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文档简介
ICS31.180
CCSL30
中国电子电路行业团体标准
T/CPCA604X—202X
直接覆铜陶瓷印制板
Directbondingcopperceramicprintedboards
(征求意见稿)
在提交反馈意见时,请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。
XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施
中国电子电路行业协会发布
直接覆铜陶瓷印制板
1范围
本文件规定了直接覆铜陶瓷印制板的术语和定义、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运
输和贮存等。
本文件适用于采用DBC工艺制备的直接覆铜陶瓷印制板(以下简称印制板)。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用
于本文件。
GB/T9531.1-1988电子陶瓷零件技术条件
GB/T13841-1992电子陶瓷件表面粗糙度
GB/T2829-2002周期检验计数抽样程序及表(适用于对过程稳定性的检验)
GB/T4677-2002印制板测试方法
GB/T16921-2005金属覆盖层覆盖层厚度测量X射线光谱法国家标准
GB/T6569-2006精细陶瓷弯曲强度试验方法
GB/T191-2008包装储运图示标志
GB/T22588-2008闪光法测量热扩散系数或导热系数
GB/T2423.50-2012环境试验第2部分:试验方法试验Cy恒定湿热主要用于元件的加速试验
GB/T2828.1-2012计数抽样检验程序第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T14594-2014电真空器件用无氧铜板和带
GB/T1408-2016电气强度试验方法
GB/T6394-2017金属平均晶粒度测定方法
GB/T4798.1-2019环境条件分类环境参数组分类及其严酷程度分级第1部分:贮存
GB/T39863-2021覆铜板用氧化铝陶瓷基片
GJB6000-2001标准编写与规定
GJB362C-2021刚性印制板通用规范
GJB548C-2021微电子器件试验方法和程序
T/CPCA1001电子电路术语
T/CPCA1201印制板的包装、运输和保管
3术语和定义
T/CPCA1001界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1直接覆铜陶瓷印制板Directbondingcopperceramicprintedboards
将铜箔直接烧结在陶瓷表面而制成的一种电子基础材料,直接覆铜陶瓷印制板等同于直接覆铜陶
瓷载板。
3.2直接覆铜烧结Directbondingcopper:DBC
采用高温熔化和扩散工艺,在陶瓷绝缘体表面粘合纯铜层。
3.3氧化铝陶瓷基片(Al2O3)Aluminaceramicssubstrate
5
氧化铝占比96%以上的陶瓷基片。
3.4氧化锆增韧氧化铝陶瓷基片(ZTA)ZirconiaToughenedAluminaCeramicssubstrate
含一定量氧化锆的氧化铝陶瓷基片,简称:ZTA。
3.5氮化铝陶瓷基片Nitridealuminaceramicssubstrate
以氮化铝为主晶相的陶瓷基片。
3.6陶瓷破损CeramicBreakage
陶瓷边缘或拐角处的损伤。
3.7陶瓷毛刺CeramicBurrs
凸于陶瓷基准边的细陶瓷。
3.8陶瓷污染Ceramiccontamination
陶瓷表面被其他物质污染。
3.9陶瓷黑点Ceramicblackspots
陶瓷体表面呈现出的黑色色斑现象。
3.10短路Short-circuit
腐蚀后产品图形表面线路之间被铜连接在一起形成的短路现象。
3.11开路Open-circuit
铜层表面或侧面出现凹坑、缺损。
3.12裂纹Cracks
陶瓷表面出现的裂缝。
3.13烧结气泡Voids
烧结工序过程中因铜瓷界面的空隙而产生的铜面表面凸起或下凹不良现象。
3.14去应力点Dimple
图形边缘蚀刻出的圆形孔洞,通常为了释放应力。
3.15皱皮Wrinkles
烧结产品铜表面出现的起皱融化现象。
3.16凸起Bulged
6
烧结产品铜层表面的凸起。
3.17切割错位Staggercut
图形切割线与图纸位置发生偏移。
3.18色差Discoloration
铜表面局部出现的颜色差异。
3.19表面花纹Sinteringfigure
烧结过程中表面晶粒发生局部变化而出现的花纹。
3.20边距Margins
产品图纸规定的陶瓷片基准边(X、Y方向)与最近的铜片图形之间的距离。
3.21间距Spacing
产品图纸规定的陶瓷覆铜载板上相邻铜线路之间的距离。
3.22引线键合强度Wirebondingstrength
半导体芯片与印制板间、或印制板与印制板间,连接的焊线点的强度。
3.23铜表面离子污染Coppersurfaceionpollution
裸铜表面游离态离子造成的污染。
4结构
4.1单面覆铜陶瓷印制板
单面陶瓷覆铜印制板结构如图1所示,陶瓷单面覆铜。
图1单面陶瓷覆铜印制板
4.2双面覆铜陶瓷印制板
双面陶瓷覆铜印制板结构如图2所示,陶瓷双面覆铜。
图2双面陶瓷覆铜印制板
5技术要求
5.1总则
单面或双面覆铜陶瓷印制板的要求与检验方法都应符合本文件要求。当客户有特殊要求时,应在采
购文件中或图纸中规定;本文未提及的规定由供需双方商定。
7
5.2优先顺序
当本文件的要求与其他文件要求有矛盾时,文件采用的优先顺序如下:
a)印制板采购文件(包括订购合同、产品设计文件、技术协议、更改文件等);
b)客户规范或指定的其他文件;
c)本文件;
d)其他相关文件。
5.3材料要求
5.3.1陶瓷基片
a)陶瓷基片分为氧化铝陶瓷及氮化铝陶瓷,按照GB/T39863-2021要求陶瓷基板性能指标应符合
表1中的规定。
表1陶瓷基片的要求
陶瓷基板类型项目单位要求
≥22
热传导率W/m·K
备注:测试参考温度25℃
≥350(AlO)Weibullm>10
三点抗弯强度MPa23
≥600(ZTA)Weibullm>10
氧化铝陶瓷基片击穿(绝缘)强度kV/mm≥20
≤0.4%*L或按用户要求
翘曲度mm
备注:*L为产品对角线尺寸
厚度公差mm±10%
长、宽度公差mm±1%(最小的公差范围是0.1mm)
≥160
热传导率W/m·K
备注:测试参考温度25℃
三点抗弯强度MPa≥350Weibullm>10
击穿(绝缘)强度kV/mm≥20
氮化铝陶瓷基片
≤0.4%*L或按用户要求
翘曲度mm
备注:*L为产品长边尺寸
厚度公差mm±10%
长、宽度公差mm±1%(最小的公差范围是0.1mm)
b)陶瓷厚度类型,应与表2相对应。
表2陶瓷厚度及对应类型
类型
厚度
AL203ZTAALN
0.250mm✔✔✔
0.320mm✔✔
0.380mm✔✔✔
0.500mm✔✔
0.635mm✔✔
0.760mm✔
0.890mm✔
1.000mm✔✔
5.3.2铜材
8
a)按照GB/T14594-2014要求铜材应采用无氧压延铜,且性能符合表3中的规定。
表3铜材的要求
项目单位要求
纯度%≥99.99
硬度kgf/mm290-120
电导率S/m58*106
b)铜片厚度类型,除非另有规定,DBC用铜片厚度一般分为0.127mm、0.200mm、0.235mm、0.250mm、
0.300mm、0.400mm,特殊要求的除外。
5.3.3覆铜陶瓷印制板利用范围要求
单面或双面覆铜陶瓷印制板的母板最大利用范围为127mm×178mm。
5.3.4外观(缺陷描述)
直接覆铜陶瓷印制板应满足下列外观要求。
5.3.5陶瓷破损
允许破损长度≤瓷厚,破损深度≤1/2瓷厚,破损宽度≤1/2瓷厚。陶瓷边缘破损示意图如图3所示。
NGOK
NGOK
图3陶瓷边缘破损示意图
5.3.6陶瓷毛刺
允许满足图纸尺寸要求的陶瓷毛刺,如图4所示。
9
NGOK
图4陶瓷边缘破损示意图
5.3.7陶瓷污染
允许有陶瓷与铜材结合共晶层蚀刻后的残留发黄印记,陶瓷污染示意图如图5所示。
图5陶瓷污染
5.3.8陶瓷黑点
允许在热处理工段产生不影响印制板的电热机械性能并且小于1mm的陶瓷黑点(目视不可见),大
于1mm的陶瓷黑点不可接受,陶瓷黑点示意图如图6所示。
10
NGOK
NGOK
图6陶瓷黑点
影响印制板性能(特别是电性能)的陶瓷黑点,如金属污染(包括镀镍等工段)造成的密集型陶瓷
黑点不可接受,如图7所示。
NGOK
NGOK
图7密集型陶瓷黑点
11
5.3.9氧化、污渍
包装前不允许有板面氧化,污渍,如图8所示。
NGOK
图8氧化
5.3.10短路
不允许铜表面线路短路,短路示意图如图9所示。
NGOK
NGOK
图9短路
5.3.11划伤
不允许表面严重划伤,允许轻微划痕Rmax≤50μm,Rz≤16μm。划伤不良品如图10所示。
12
NGOK
NGOK
图10划伤
5.3.12开路
图形面:打线区域不允许,允许其它区域:开路≤Φ0.5mm,每处LAND(岛)有一个,允许铜线
路凹进去≤1/4线宽,铜面凹进去不良品示意图如图11所示。
非图形面:允许每2cm2有一个≤Φ0.5mm的开路,不允许能看到陶瓷的开路,开路不良品示意图如
图12所示。
NGOK
13
NGOK
图11开路不良品
NGOK
NGOK
图12开路不良品
5.3.13裂纹
不允许裂纹,裂纹不良品示意图如图13所示。
14
NGOK
NGOK
图13裂纹不良品
5.3.14烧结气泡
图形面:打线区不允许有烧结气泡;芯片区、焊接区允许≤Φ2mm且少于3个的烧结气泡;其它区
域≤Φ3mm且少于3个的烧结气泡;图形面的线条下:无贯通的气泡。
非图形面≤Φ3mm,数量少于3个。
允许独立的小铜粒图形区域内有面积小于铜粒面积的1/3的气泡,气泡不良品示意图如图14所示
(0.5mm以下不计为气泡)。
NGOK
图14烧结气泡不良品
5.3.15去应力点
15
允许3个及以下的不完整去应力点,去应力点不良品示意图如图15所示。
NGOK
NGOK
图15去应力点不良品
5.3.16皱皮
不允许肉眼可见的明显皱皮>Φ2mm,允许皱皮≤Φ2mm且单面合计数量≤3个,皱皮示意图如图16所
示。
NGOK
16
NGOK
图16皱皮示意图
5.3.17凸起
允许凸起≤Φ0.2mm,凸起示意图如图17所示。
NGOK
图17凸起示意图
5.3.18切割错位
允许在图纸要求公差范围内的切割错位,切割错位如图18所示。
NGOK
图18切割错位示意图
5.3.19色差
允许在不影响打线和焊接的情况下,铜表面有色差,色差示意图如图19所示。
17
图19色差示意图
5.3.20表面花纹
允许在不影响打线和焊接的情况下,铜表面有花纹,花纹示意图如图20所示。
图20表面花纹示意图
5.3.21阻焊不良
允许在公差范围内油墨溢出到铜面,允许0.2mm以内的阻焊错位,允许0.2mm以内的阻焊针孔,阻
焊不良示意图如图21所示。
NGOK
18
NGOK
图21阻焊不良示意图
5.3.22镀层不良
不允许镀层露铜,如图22所示。
NGOK
图22镀层露铜图示
5.3.23二维码(适用时)
二维码应清晰且能扫描识别,二维码等级D级以上,如图23示。
NGOK
19
NGOK
图23二维码图示
5.3.24尺寸公差
尺寸公差(适用的铜厚范围≤0.300mm)应符合表4中的规定。
表4覆铜陶瓷印制板尺寸的公差
小枚尺寸公差+0.200/-0.050mm
母板尺寸138.00+/-1.50%*190.00+/-1.50%
图形尺寸公差0.1~0.3mm铜厚执行+/-0.15mm
铜边到瓷边距公差﹢/-0.15mm
产品总厚度公差﹢/-7%
激光切割孔径公差﹢/-0.1mm
激光切割深度公差﹢/-30μm
5.3.25性能指标
印制板应符合表5中的规定。
表5印制板的性能要求
项目单位要求备注
Ra≤3μm、
表面粗糙度(Surface
μmRz≤16μm、/
roughness)
Rmax≤50μm
晶粒尺寸(Grainsize)μmMax≤130μm/
覆铜烧结空洞率(Cavityrateof分辨率Res.X为1000
%<5%
coppercladsintering)
焊接润湿率(WeldingWettability)%>95%/
引线键合强度(Strengthofwire铝丝直径300μm,剪切力
gf≥1000gf
bonding)
电路区域绝缘耐压(漏电流)正反面测试电压4000VAC
(CircuitareainsulationwithstandmA≤2mA
voltage)
铜箔剥离强度(Peelstrengthof≥4N/mm@/
N/mm
copperfoil)0.3mmCu
测试后陶瓷无开450±10℃,维持5分钟
高温耐温特性(Hightemperature裂、铜瓷无剥
℃
resistance)离,且满足电性
能要求
20
表5印制板的性能要求(续)
项目单位要求备注
AL2O3≥35次印制板铜箔厚度0.2mm~0.3mm,瓷片
@0.38白板&0.3厚度0.38mm,推荐印制板尺寸
铜50mm×60mm,测试温度-55℃/+150℃
高低温冲击(Highandlow
循环次数ZTA≥60次@0.32(液态冲击)
temperatureimpact)
白板&0.3铜
AlN≥30次@0.32
白板&0.3铜
AL2O3≥35次印制板铜箔厚度0.2mm~0.3mm,瓷片
@0.38白板&0.3厚度0.38mm,推荐印制板尺寸
铜50mm×60mm,测试温度-55℃/+150℃
热循环(Thermalcycling)循环次数ZTA≥60次@0.32(气态冲击)
白板&0.3铜
AlN≥30次@0.32
白板&0.3铜
镀镍层3-8μm,
镀层厚度(Coatingthickness)um/
其他按合同要求
铜表面离子污染(Coppersurface
见表6见表6不带OSP抗氧化层的裸铜工艺
ionpollution)
表6铜表面离子污染(裸铜工艺)
离子最大体积浓度(mg/kg)最大表面浓度(µg/cm²)
锂Lithium(Li+)<5<0.002
钠Sodium(Na+)<10<0.005
+
铵根Ammonium(NH4)<20<0.01
钾Potassium(K-)<10<0.005
镁Magnesium(Mg2+)<100<0.05
钙Calcium(Ca2+)<100<0.05
氟Fluoride(F-)<10<0.005
乙酸根Acetate(CH3COO-)<20<0.02
甲酸根Formate(HCOO-)<20<0.01
氯Chloride(Cl-)<10<0.005
-
亚硝酸根Nitrite(NO2)<20<0.02
溴Bromide(Br-)<5<0.002
-
硝酸根Nitrate(NO3)<20<0.01
2-
硫酸根Sulfate(SO4)<20<0.01
3-
磷酸根Phosphate(PO4)<20<0.01
6检测方法
6.1外观检测方法
外观在正常光线和正常视线下目测。
21
6.2尺寸检测方法
长度和宽度使用精确度为0.02mm的游标卡尺或其他能够保证测量准确度的测量仪器测量。
厚度使用准确度为0.01mm的千分尺或其他能够保证测量准确度的测量仪器测量,测量点最少应距
基片边缘1mm。
电路区尺寸使用二维投影仪测量,测量电路区尺寸时,电路区线测底部,焊盘测顶部,具体见下图
24示。
图24电路区尺寸测量图示
6.3热传导率
热传导率按照GB/T22588-2008中第6部分来测量。
6.4三点抗弯强度
抗弯强度按照GB/T6569-2006中第7章来测量。
6.5击穿(绝缘)强度
击穿(绝缘)强度按照GB/T1408.1-2016中的第10章来测量。
6.6翘曲度
按GB/T4677-2002中7.3.2试验12b方法执行,可以使用计算法,也可以使用塞规法。
6.7表面粗糙度
表面粗糙度按照GB/T13841-1992中的要求测量,取样区域应距铜层边缘1mm以上。
6.8晶粒尺寸
晶粒尺寸按照GB/T6394-2017中第8部分实验方法8.3.2测量。
6.9覆铜烧结空洞率
a)试验目的:检测印制板覆铜层与瓷片的结合情况;
b)试验设备:超声波扫描电镜;
c)操作:将印制板放入水中的试样槽内,按照GJB548C-2021中的方法2030.1要求进行C模式
成像扫描;
d)试验后,扫描显示空洞的尺寸<Φ2mm(线路面)/Φ3mm(非线路面),空洞率小于5%。
6.10焊接浸润性
焊接润湿率按照GB/T4677-2002中第8部分试验14a方法来测量。
22
6.11引线键合强度
a)试验目的:检测芯片与印制板间引线键合的强度。
b)试验设备:推拉力测试机。
c)操作:按GJB548C-2021的方法2011.2要求测量,将焊完引线的印制板固定在测试仪器上,调
整推刀高度,使得推刀最低不接触印制板表面,剪切高度≤30μm,推刀速度0.5mm/s。
d)试验后,引线键合失效时的推力应符合表5中的要求。
6.12电路区域绝缘耐压
按照GB/T4677-2002中的第6部分试验7要求测量。在绝缘油中对正反面施加交流电压4kV,升压速
率1000V/s,持续60s,不应击穿,且漏电流值<2mA。
6.13铜箔剥离强度
铜箔剥离强度按照GB/T4677-2017中第7章试验10方法来测量。
6.14高温耐温特性
a)试验目的:验证印制板在高温下的强度;
b)试验设备:带恒温功能的电加热炉;
c)操作:按GJB548C-2021的方法1012.1要求测量,将GJB362C-2021印制板放置在电加热炉的
加热板上,升温至450℃±10℃,保持恒温5min;
d)试验后,印制板不应开裂或铜瓷剥离,且应通过烧结空洞率、高低温冲击、热循环规定的试验。
6.15高低温冲击
a)试验目的:检测印制板对极端温度的耐受性;
b)试验设备:冷热冲击试验箱;
c)操作:按照GJB548C-2021的方法1011.1要求测量,液态冲击,试验温度为-55℃/150℃,每
循环高低温各保温15min,转换时间15s;
d)试验后,试样的外观应符合5.3的规定,绝缘耐压应符合表4中的规定,超声检查试样内部新
增空洞不得超过3%。
6.16热循环
a)试验目的:检测印制板对极端温度的耐受性;
b)试验设备:高低温试验箱;
c)操作:按照GJB362C-2021的第4部分要求测量,气态冲击,试验温度为-55℃/150℃,每循
环高低温各保温15min,转换时间15s;
d)试验后,试样的外观应符合5.3的规定,绝缘耐压应符合表4中的规定,超声检查试样内部新
增空洞不得超过3%。
6.17镀层厚度
镀层厚度按照GB/T16921-2005中的第3部分要求测量。
6.18铜表面离子污染
23
裸铜工艺产品,按照GB/T4677-2002的第10部分试验22a要求测量。其他等效方法可代替规定
的方法,但是应当证明替代方法具有相同或更佳的灵敏度,且使用的溶剂应当具有与上述规定溶剂一
样的溶解助焊剂残留物或其他污染物的能力。
7检验规则
7.1检验与测试条件
除另有规定外,根据GB/4677-2002中4.1规定检验和测试在标准大气条件下进行:
a)温度:15℃~35℃;
b)相对湿度:45%~75%;
c)气压:86kPa~106kPa。
7.2检验分类
产品的检验分为鉴定检验、逐批检验以及周期检验。
7.3检验项目及抽样方案
7.3.1总则
按本文件提供的覆铜陶瓷印制板,应按表7的规定进行鉴定检验,鉴定应该由能分析评估及计划
用于生产覆铜陶瓷印制板的相同设备和工艺生产的试生产件、生产件或附连测试板组成。鉴定也可以
经与用户协商确定后采用包括供应商已成功出产类似产品的文件或规范组成。
7.3.2鉴定检验
产品定型投产鉴定时,应按表7做完全部试验。已定型的正常批量产品,每三年至少应做一批按表
7的全部试验。
表7鉴定检验
抽样方案
项目检验方法合格判据可接受数
样本数n
Ac
尺寸6.2表450
热传导率6.3表150
三点抗弯强度(D)6.4表150
击穿(绝缘)强度(D)6.5表150
表面粗糙度6.7表550
焊接浸润性(D)6.10表550
引线键合强度(D)6.11表550
电路区域绝缘耐压(D)6.12表550
铜箔剥离强度(D)6.13表550
高温耐温特性(D)6.14表550
高低温冲击(D)6.15表550
热循环(D)6.16表550
铜表面离子污染6.18表550
镀层厚度6.17表550
注1:抽样方案栏中,n、Ac分别为样本数和可接收数。
注2:检验方法与合格判据采用的是章节号
7.3.3逐批检验
24
同一批次号、同一产线生产的产品为一批,逐批检验应按表8的规定进行。检验合格并发放合格
证后方可出厂。
表10中,AQL的具体抽样方案见附录表A.1。如果初次提交不合格,应加严一级重新提交再次检
验,但只能重新提交一次。抽样如果初次检验不合格,应按附录表A.2追加抽样再次检验,但只能追
加一次。其中,项目栏标有(D)的是破坏性试验。
表8逐批检验
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