半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物（PFA）阀门技术规范（征求意见稿）_第1页
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文档简介

1划GB/T10610产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法评定GB/T17213.9工业过程控制SEMIF57-2001用于超纯水和液体化学分配系统的聚合物组件的临时规范（Provisional3.1PFA阀门在5℃~120℃温度下应能正常工作。5.2壁厚及公差232436486815.4压力5.5流通能力24695.7耐振性5.8耐腐蚀性337%28%49%69%40%40%5.9制造5.10启闭性能6.2壁厚及公差6.3长度及偏差6.4压力6.5流通能力6.6气密性在-1℃~1℃下对阀门进行预处理后，在水平1m处使阀门自由下落，目视检查。6.8耐腐蚀性46.9制造6.10启闭性能7.3.3抽样方式按GB/T2828.水平为Ⅱ,接收质量限（AQL）取6.5。58.2.1应单个包装，内包装用聚乙烯薄膜袋封装，外包装为纸盒或木制小盒，内外包装之间应有填充8.3.1PFA阀门两端应用盲板保护法兰密封8.4贮存8.4.1隔膜阀的启闭件应处于关闭状态，但不可关闭过紧，以防隔膜因长时间受压而失去弹性以致影

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