表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法 编制说明_第1页
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2表面化学分析深度剖析AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法？？？），20240152-T-469，由北京师范大学、中国计量科学研究院负责起草，？？？），范，校准离子束、确定刻蚀速率的方法基础标准，获得正确结果。3AES和XPS离子溅射深度剖析是表面分析中应用较广泛的一项表时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法》2017年首次发4修订并发布了ISO16531：2020。为保持标准先进性，对现行验，结果分析等。报批稿及其他相关资料的起草修5二、国家标准编制原则、主要内容（如技术指标、参数、公式、性能要求、试验方法、检验规则等）及其确定依据（包括试验、统计数据），修订国家6本文件代替GB/T34326—2017《表面化学分析深度剖析AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法》,与GB/T34326—2017相比，除结构调整和编辑性改动外，主要7三、试验验证的分析、综述报告，技术经济论证，预期的经济效益、社会效益84.2与国际标准及国外同类标准水平的对比，或与测试的国外样品、样机的有9九、实施国家标准的要求，以及组织措施、技术措施、过渡期和实施日期的建凡涉及标准名称修改的（即计划库信息与报批稿名称及报批时系统信息不），中记

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