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文档简介

ICS83.140.10

G33

团体标准

T/CPPIAXXXX-202X

光致抗蚀干膜用聚酯薄膜

Polyesterfilmforphotoresistdryfilm

(征求意见稿)

202X-XX-XX发布202X-XX-XX实施

中国塑料加工工业协会发布

T/CPPIAXXXX-202X

光致抗蚀干膜用聚酯薄膜

1范围

本文件规定了光致抗蚀干膜用聚酯薄膜(以下简称“薄膜”)的要求、试验方法、检验规则

、标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于以聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂为主要原料,经双向拉伸工艺制得,用于光致

抗蚀干膜用途的薄膜材料。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用

于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T1040.3塑料拉伸性能的测定第3部分:薄膜和薄片的试验条件

GB/T2035塑料术语及其定义

GB/T2410透明塑料透光率和雾度的测定

GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划

GB/T2918塑料试样状态调节和试验的标准环境

GB/T6672塑料薄膜和薄片厚度测定机械测定法

GB/T6673塑料薄膜和薄片长度和宽度的测定

GB/T8807塑料镜面光泽试验方法

GB/T10006塑料薄膜和薄片摩擦系数测定方法

GB/T14216塑料膜和片润湿张力的测定

GB/T16958包装用双向拉伸聚酯薄膜

3术语和定义

GB/T2035界定的以及下列术语和定义适应于本文件。

3.1

光致抗蚀干膜用聚酯薄膜Polyesterfilmforphotoresistdryfilm

2

T/CPPIAXXXX-202X

采用聚酯树脂为主要原料,经熔融挤出铸片,然后在一定的工艺条件下经过纵、横两个方向

的拉伸、取向、定型及冷却等处理(无电晕处理)而制得的可以用于光致抗蚀干膜载膜的透明塑

料薄膜。

[来源GB/T16958-2008,3.1,有修改]

4要求

4.1外观

外观要求见表1.

表1外观要求

项目要求

卷芯端面蹿边不齐≤2mm,无影响实际使用的皱纹,无收卷松紧不一,无切口毛边脏污。

单层膜面无未熔料、糊料、杂质、晶点、气泡点、油污、划痕及任何影响实际使用的异物和表观缺陷。

备注客户如有特殊要求由供需双方议定

4.2尺寸及规格

4.2.1厚度偏差要求见表2。

表2厚度偏差

平均厚度偏差,%厚度偏差,%

优等品合格品优等品合格品

±2±3±3±5

4.2.2宽度和长度偏差要求见表3。

表3宽度和长度偏差

项目要求

宽度偏差,mm-1~2

长度偏差,%0~2

注:客户如有特殊要求有供需双方议定。

4.3物理机械性能

物理机械性能要求见表4。

3

T/CPPIAXXXX-202X

表4物理机械性能

项目要求

纵向≥220

拉伸强度,MPa

横向≥220

纵向≥100

断裂伸长率,%

横向≥80

纵向1.0~2.5

热收缩率,%

(150℃/30min)

横向0.0~1.5

雾度,%≤2.8

光泽度,%≥126

摩擦系数(静/动)≤0.55/0.50

润湿张力,mN/m38~42

注:客户如有特殊要求由供需双方商定。

5试验方法

5.1试验环境

样品状态调节和试验的标准环境按GB/T2918规定进行。试验环境条件为23℃±2℃,相对湿

度50%±10%,并在此条件样品预处理1h以上。

5.2取样(Sampling)

先去掉被测卷膜外表面3~5层,然后按检验项目的要求取足样品。沿膜卷的横向切割超过10

层做外观及物理性能测试,小心存放,防止试样受污染。

5.3外观(Appearance)

在自然光线或40W日光灯下目测,观察膜卷及单层膜面表观,单层膜面取样面积不小于1㎡。

单层膜面的进一步检查在偏光镜下进行,必要时参考在线表面缺陷检测系统(如有)检出情况。

5.4尺寸及规格(Specifications)

5.4.1厚度的测量

按GB/T6672的规定进行。仪器测量精度0.1μm,按GB/T16958规定的取样层数在膜卷横向上

截取约100mm宽的试样。

平均厚度偏差及厚度偏差的计算按GB/T16958的规定进行。

5.4.2宽度和长度的测量

4

T/CPPIAXXXX-202X

宽度和长度的测量及计算按GB/T6673的规定进行。

5.5物理机械性能(Physicalandmechanicalproperties)

5.5.1拉伸强度和断裂伸长率

按GB/T1040.3的规定进行试验,试样采用2型试样,长150mm,宽10mm~25mm的长条形,夹

具初始间距为100mm,试验速度为100mm/min。分别测试纵、横向试样各5条,取平均值。

5.5.3热收缩率

5.5.2.1实验仪器

a)烘箱,温度精度±1℃;

b)钢直尺,分度0.5mm;

c)记时表

5.5.2.2试样

取长、宽各为10mm的试样5片,在试样上表明纵横向。

5.5.2.3试样

调节烘箱温度,恒温至150℃±3℃,迅速放入试样并开始计时,试样采用平放法,保持30min

后取出冷却至试验环境温度,测量试样纵横向长度,计算试样的热收缩率,取算术平均值为测量

结果,精确到小数点后一位。

5.5.2.4计算

热收缩率计算按GB/T16958的规定进行。

5.5.4雾度

按GB/T2410的规定进行。

5.5.5光泽度

按GB/T8807的规定进行,测试45°角光泽度。

5.5.6摩擦系数

按GB/T10006的规定进行。

5.5.7润湿张力

按GB/T14216的规定进行。

6检验规则

6.1检验项目

5

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光致抗蚀干膜用聚酯薄膜的检验分为出厂检验和型式检验。

出厂检验包含外观和尺寸及规格和要求按4.1、4.2的要求进行,型式检验项目包含4.1-4.3中的

所有检验项目,检验按照本文件规定的检验方法进行。

6.2组批和抽样

6.2.1组批

产品以相同原材料、相同工艺、相同结构生产的为一批,最大批量不超过50t。

6.2.2抽样

外观和尺寸及规格的抽样按GB/T2828.1的规定进行,抽样方案采用GB/T16958中的抽样方

案。

物理机械性能应在合格品中随机抽取一卷。

6.3判定及复验规则

外观、尺寸及规格检验结果按4.1、4.2中的规定进行单项判定,若有不合格项,则判定为该卷

不合格。

合格批的判定按表5进行。

表5抽样数和合格判定数

批量范围样本数接收数Ac拒收数Re

1~150501

151~500812

物理机械性能指标结果的判定按表3中的规定进行单项判定,若有一项不合格,应在原批中对

不合格项目进行加倍抽样复验,复验结果仍不合格,则该批为不合格。

6.4型式检验

型式检验正常生产时每年进行一次,项目为第4章中规定的全部项目,当有下列情况之一时,

应进行型式检验:

a)新产品试制定型鉴定时;

b)

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