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文档简介
ICS83.140.10
G33
团体标准
T/CPPIAXXXX-202X
光致抗蚀干膜用聚酯薄膜
Polyesterfilmforphotoresistdryfilm
(征求意见稿)
202X-XX-XX发布202X-XX-XX实施
中国塑料加工工业协会发布
T/CPPIAXXXX-202X
光致抗蚀干膜用聚酯薄膜
1范围
本文件规定了光致抗蚀干膜用聚酯薄膜(以下简称“薄膜”)的要求、试验方法、检验规则
、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于以聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂为主要原料,经双向拉伸工艺制得,用于光致
抗蚀干膜用途的薄膜材料。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用
于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T191包装储运图示标志
GB/T1040.3塑料拉伸性能的测定第3部分:薄膜和薄片的试验条件
GB/T2035塑料术语及其定义
GB/T2410透明塑料透光率和雾度的测定
GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T2918塑料试样状态调节和试验的标准环境
GB/T6672塑料薄膜和薄片厚度测定机械测定法
GB/T6673塑料薄膜和薄片长度和宽度的测定
GB/T8807塑料镜面光泽试验方法
GB/T10006塑料薄膜和薄片摩擦系数测定方法
GB/T14216塑料膜和片润湿张力的测定
GB/T16958包装用双向拉伸聚酯薄膜
3术语和定义
GB/T2035界定的以及下列术语和定义适应于本文件。
3.1
光致抗蚀干膜用聚酯薄膜Polyesterfilmforphotoresistdryfilm
2
T/CPPIAXXXX-202X
采用聚酯树脂为主要原料,经熔融挤出铸片,然后在一定的工艺条件下经过纵、横两个方向
的拉伸、取向、定型及冷却等处理(无电晕处理)而制得的可以用于光致抗蚀干膜载膜的透明塑
料薄膜。
[来源GB/T16958-2008,3.1,有修改]
4要求
4.1外观
外观要求见表1.
表1外观要求
项目要求
卷芯端面蹿边不齐≤2mm,无影响实际使用的皱纹,无收卷松紧不一,无切口毛边脏污。
单层膜面无未熔料、糊料、杂质、晶点、气泡点、油污、划痕及任何影响实际使用的异物和表观缺陷。
备注客户如有特殊要求由供需双方议定
4.2尺寸及规格
4.2.1厚度偏差要求见表2。
表2厚度偏差
平均厚度偏差,%厚度偏差,%
优等品合格品优等品合格品
±2±3±3±5
4.2.2宽度和长度偏差要求见表3。
表3宽度和长度偏差
项目要求
宽度偏差,mm-1~2
长度偏差,%0~2
注:客户如有特殊要求有供需双方议定。
4.3物理机械性能
物理机械性能要求见表4。
3
T/CPPIAXXXX-202X
表4物理机械性能
项目要求
纵向≥220
拉伸强度,MPa
横向≥220
纵向≥100
断裂伸长率,%
横向≥80
纵向1.0~2.5
热收缩率,%
(150℃/30min)
横向0.0~1.5
雾度,%≤2.8
光泽度,%≥126
摩擦系数(静/动)≤0.55/0.50
润湿张力,mN/m38~42
注:客户如有特殊要求由供需双方商定。
5试验方法
5.1试验环境
样品状态调节和试验的标准环境按GB/T2918规定进行。试验环境条件为23℃±2℃,相对湿
度50%±10%,并在此条件样品预处理1h以上。
5.2取样(Sampling)
先去掉被测卷膜外表面3~5层,然后按检验项目的要求取足样品。沿膜卷的横向切割超过10
层做外观及物理性能测试,小心存放,防止试样受污染。
5.3外观(Appearance)
在自然光线或40W日光灯下目测,观察膜卷及单层膜面表观,单层膜面取样面积不小于1㎡。
单层膜面的进一步检查在偏光镜下进行,必要时参考在线表面缺陷检测系统(如有)检出情况。
5.4尺寸及规格(Specifications)
5.4.1厚度的测量
按GB/T6672的规定进行。仪器测量精度0.1μm,按GB/T16958规定的取样层数在膜卷横向上
截取约100mm宽的试样。
平均厚度偏差及厚度偏差的计算按GB/T16958的规定进行。
5.4.2宽度和长度的测量
4
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宽度和长度的测量及计算按GB/T6673的规定进行。
5.5物理机械性能(Physicalandmechanicalproperties)
5.5.1拉伸强度和断裂伸长率
按GB/T1040.3的规定进行试验,试样采用2型试样,长150mm,宽10mm~25mm的长条形,夹
具初始间距为100mm,试验速度为100mm/min。分别测试纵、横向试样各5条,取平均值。
5.5.3热收缩率
5.5.2.1实验仪器
a)烘箱,温度精度±1℃;
b)钢直尺,分度0.5mm;
c)记时表
5.5.2.2试样
取长、宽各为10mm的试样5片,在试样上表明纵横向。
5.5.2.3试样
调节烘箱温度,恒温至150℃±3℃,迅速放入试样并开始计时,试样采用平放法,保持30min
后取出冷却至试验环境温度,测量试样纵横向长度,计算试样的热收缩率,取算术平均值为测量
结果,精确到小数点后一位。
5.5.2.4计算
热收缩率计算按GB/T16958的规定进行。
5.5.4雾度
按GB/T2410的规定进行。
5.5.5光泽度
按GB/T8807的规定进行,测试45°角光泽度。
5.5.6摩擦系数
按GB/T10006的规定进行。
5.5.7润湿张力
按GB/T14216的规定进行。
6检验规则
6.1检验项目
5
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光致抗蚀干膜用聚酯薄膜的检验分为出厂检验和型式检验。
出厂检验包含外观和尺寸及规格和要求按4.1、4.2的要求进行,型式检验项目包含4.1-4.3中的
所有检验项目,检验按照本文件规定的检验方法进行。
6.2组批和抽样
6.2.1组批
产品以相同原材料、相同工艺、相同结构生产的为一批,最大批量不超过50t。
6.2.2抽样
外观和尺寸及规格的抽样按GB/T2828.1的规定进行,抽样方案采用GB/T16958中的抽样方
案。
物理机械性能应在合格品中随机抽取一卷。
6.3判定及复验规则
外观、尺寸及规格检验结果按4.1、4.2中的规定进行单项判定,若有不合格项,则判定为该卷
不合格。
合格批的判定按表5进行。
表5抽样数和合格判定数
批量范围样本数接收数Ac拒收数Re
1~150501
151~500812
物理机械性能指标结果的判定按表3中的规定进行单项判定,若有一项不合格,应在原批中对
不合格项目进行加倍抽样复验,复验结果仍不合格,则该批为不合格。
6.4型式检验
型式检验正常生产时每年进行一次,项目为第4章中规定的全部项目,当有下列情况之一时,
应进行型式检验:
a)新产品试制定型鉴定时;
b)
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