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文档简介

信息产生机理

（光电子）信息的产生是基于能量为h

的光子与物质原子中的电子产生非弹性散射过程。当一个h

光子把其能量传递给原子中某一壳层上受束缚电子，且当h

大于克服该电子结合能Eb(bindingenergy,BE)，则可将其激发电离为二次电子，并以一定动能EK(kineticenergy,KE)逸出，可见信息产生是基于爱因斯坦光电效应光电发射可归纳为以下三个过程：某一壳层电子因光吸收而激发成自由电子（二次电子）释放出电子向固体表面移动（与电子能量及逸出深度有关）和在移动过程中的吸收衰减克服表面势场而出射，脱离固体光电作用过程弛豫过程激发过程X-rayX-raye-e-基于这种光电效应，可能有三种信息：1.光电子（二次电子）信息（XPS、UPS）2.光激发荧光特征X光信息（电子探针显微分析，EPMA）3.光激发俄歇电子信息（AES）电子的能级结构决定于原子，是特征的。因此，辐射的波长或能量也是特征的，具有指纹性

信息产生（俄歇电子）入射电子对试样内电子发生非弹性散射碰撞，内电子被激发到真空能级产生电离，在内电子能级上形成空穴离子处于亚稳定的激发状态

1s2s2p亚稳激发状态弛豫后，被较外层电子填充并引起内光电效应，即产生无辐射跃迁，其弛豫释放的能量通过原子内部转换，传递给较外层的另一个电子，使之克服结合能而向外发射成自由电子（即Auger电子）：Auger发射过程与X射线发射是受激离子弛豫时伴随的两个不同过程：前者是无辐射跃迁过程，并通过内光电效应发射出Auger电子；后者是辐射跃迁过程，并伴随产生特征X射线VacuunlevelVacuunlevelAugerelectronX-ray

信息特征

指纹特性━━可作成分鉴定受激原子在W能级产生空穴，处于不稳定的激发状态，随后，X能级上的电子跃迁到W能级，释放能量传递给Y能级上的电子，使之产生Auger发射。发射出的Auger电子的动能EWXY为：EW、EX、EY为各能级电子结合能，Z为产生Auger电子的原子的原子序数，

为电子逸出功。若不考虑能量分析器逸出功的影响，

可不考虑。即有：EWXY是原子序数的函数，是特征的，即具有“指纹”特征，可作为成分鉴

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