《微机电系统半导体气体传感器性能检测方法（报批稿）》编制说明

1《微机电系统半导体气体传感器性能检测方法》编制说明江苏省是全国MEMS智能传感器产业基地之一，聚集了大量MEMS23限公司、翼捷安全设备（昆山）有限公司等7位专家参加了审查，专家听为规范微机电系统半导体气体传感器性能检测方法，提升产品质量，本标准主要包括微机电系统半导体气体传感器性能检测条件和检测方法，2．第二章列出了规范引用文件。主要包括GB/T34004-2017《家用和4箱内利用静态配气原理充满试验气体，以检测传感器在试验气体中的信号输出。因静态配气能更好的模拟传感器的实际使用环境，且传感器体积非常小，易受气流冲击影响，利用动态配气原理配制的试验气体气流较大，才能测试，且不同的传感器预热时间不同，因此明确了待试验的样品应在规定的环境条件下通电预热后方可进行检测，预热时间以产品使用说明书为准；又因传感器需要配套的检测装置才能正常工作以及读取输出信号，因此传感器送检同时提供检测装置，在测试传感器信号输出时把传感器安MEMS半导体气体传感器的优点有功耗低、检出限低、灵敏度高等。针对以上特点，标准中设置了功率、最低检测浓度、灵敏度参数，以体现在功率的检测方法中，因传感器体积非常小，不便于接入功率计进行传感器最低检测浓度主要针对传感器标识的最低检测浓度进行验证，s-V0s-V0s-5r灵敏度采用了气体传感器灵敏度通用检测方法，主要参照JB/T此3项参数为气体传感器的常规检测参数，反映的是气体传感器的基本性能。因标准中测试时读取的是传感器的原始输出信号值（电压、电阻等），因此示值误差计算时需要借助传感器响应曲线（制造商提供），将输出信号值转化为浓度值，才能计算示值误差。响应时间与恢复时间采用MEMS半导体气体传感器的缺点主要有选择性差，易中毒等。标准中通过将传感器暴露在已知或使用方要求的干扰气体中计算干扰影响因子，暴检验传感器的抗干扰气体性能、抗中毒性能，对制造商在传感器的性能改善方面具有重要的指导意义。检测方法主要参考GB/T34004-2017和GB4）耐温湿度性能、耐振动、跌落性能、长除了常规条件下的性能检测，标准还参考了GB/T34004-2017、JB/T了耐温湿度性能、耐振动、跌落性能、长期稳定性试验等，用以模拟实际7．附录部分主要给出了测试箱示意图及测试箱内气体浓度的计算方目前国内外针对微机电系统半导体气体传感器的检测没有相关的标准，文件编制格式严格遵循GB/T1.1—2020的要求，主要参考了GB/T6气体传感器》、GB12358-2006《作业场所环境气体检测报警仪通用技术型可燃气体探测器》等标准，结合本团队试验结果，针对性的编制了微机本标准编制过程中无重大分歧意见。标准编制组与行业专家经过多次全防护的各类气体传感器、室内外环境监测用低浓度气体传感器、氢燃料电池汽车用氢气传感器、电子洁净厂房内痕量气体传感器等。前期选择省本标准承担单位为苏州市计量测试院，参与单位为苏州慧闻纳米科技史苏娟苏州市计量测试院研究员级高级工程师标准起草负责人，组织标准起草工作，总体负责标准审定撰写，组织标准审查、报批等工作方丹苏州市计量测试院高级工程师组织推进标准制定程序和进度，负责协调标准定制过程中所需资源，协助标准审查、报批等工作耿彦红苏州市计量测试院高级工程师组织讨论标准编写思路，确定标准制定框架，开展标准的实验验证王瑞苏州市计量测试院工程师协助讨论标准编写思路，协助开展标准的实验验证董亮华苏州市计量测试院工程师参与标准制定相关文献调研，协助整理标准相关技术文档。7徐春苏州市计量测试院工程师参与标准制定相关文献调研，协助