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文档简介

传感器应用技术

电容式传感器电容式传感器电容式传感器应用

41.差动式电容差压传感器2.电容式加速度传感器3.电容式液位传感器差动式电容差压传感器电容差压传感器广泛应用于液体、气体的压力、液体位置及密度等的检测，通常采用差动式结构1一弹性平膜片(动极)；2一凹玻璃圆片；3一金属镀层(定极)；4一低压侧进气孔；5一输出端子；6一空腔；7—过滤器；8—壳体；9一高压侧进气孔工作原理：当被测压力p1及p2通过过滤器进入空腔时，由于弹性膜片两侧压力差，使膜片凸向压力小的一侧，这一位移改变了两个镀金玻璃圆片与弹性膜片之间的电容量特点：1、差动式电容差压传感器分辨力高，适合测量较小的压力差；2、测量响应速度快，可达数十毫秒注意事项：若测量含有杂质的液体，须在两个进气孔前设置波纹隔离膜片，并在两侧空腔中充满导压硅油，使得弹性平膜片感受到的压力之差仍等于p1—p2电容式加速度传感器电容式加速度传感器采用差动式结构，有两个固定电极，两极板之间有一个用弹簧片支撑的质量块，此质量块的两个端面经过磨平抛光后作为可动极板1一绝缘体；2—固定电极；3一质量块；4一弹簧片工作原理：传感器测量垂直方向的微小振动时，由于质量块的惯性作用，使两固定极板相对质量块产生位移，此时，上下两个固定电极与质量块端面之间的电容量产生变化而使传感器有一个差动的电容变化量输出，其值与被测加速度的大小成正比特点：1、频率响应快，量程范围大2、传感器还可做得很小，与测量电路一起封装在一个厚膜集成电路的壳体中注意事项：在结构上大多以空气或其他气体作阻尼物质电容式液位传感器电容式液位传感器主要利用被测介质液面变化转换为电容变化的工作原理工作原理：在忽略边缘效应情况下传感器电容量C与被测液位高

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