SJ-T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范

I本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(TC203)提出并归口。本标准起草单位：北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、秦皇岛视听机械研究所、上海微电子装备有限公司、北京京仪自动化装备技术有限公司、中微半导体设备(上海)有限公司。1半导体制造设备人机界面规范本标准规定了半导体制造设备人机界面的术语和要求。本标准适用于半导体制造设备。其他领域如平板显示器制造设备也可参考本标准，但不在本标准适用范围之内。下列术语和定义适用于本文件。显示对象displayobjects显示在屏幕上的用户界面元素称为显示对象，例如功能选择按钮、键盘输入按钮队及表示设备的图图标icon图标是一种位图或其他格式图像，可以使用在视窗系统等图形用户界面环境下表示不同类型的对象，提高可操作性，帮助用户更好的理解按钮功能。导航模型navigationmodel在与系统交互过程中，引导用户完成功能操作和信息获取。场景condition显示对象的属性或值(文本或数字)的一种可视化表示方式。如果显示对象的当前状态或值超出了规定的正常操作状态或参数的边界，无论这种异常是轻微的(提醒)或者严重的(警告)都需要使用可视化表示，如无异常发生则不需要使用可视化表示。根据呈现给用户的信息和控制性能，把一个或多个视图划分为一组称之为功能区。突出显示区salience突出显示区是在显示对象周围使用纯色(或纹理)图案以及不同颜色填充的边界区域，可以表示显示对象的警告、提醒等场景，也可以用来吸引用户关注显示对象。23.1说明3.2.2.3.1一种按钮行为是瞬间的，用户对按钮的选择导致按钮呈现短暂的按下状态(被选择),紧3和未完成的任务，以中绿色突出显示要求或请求用户注意(例如“准备加载”或者“准备卸载”)。3.2.4.1对话框是辅助窗口(见图1),用以显赤补充信息，来自用户的请求信息或报告错误。的详细信息。3.2.5对话框【应执行的要求】3.2.5.1对话框(总是暂时出现)因响应用户触发的某些行动而出现。当对话框显示时，将覆盖信息3.2.5.2对话框包含一个在上端的标题栏，一个信息显示区(自由使用),一个或多个在底部水平排6设置系级设置系级论是采用可以选择切换视窗的标签选项卡控件(见图6),还是采用各自独立的视窗使用视窗子导航按信息模位x系结报您位x系结报您73.3.4显示布局【描述】3.3.5基本布局【应执行的要求】增强型布局(见3.3.6)。应允许左手用户调整命令面板位置至左手侧(见图9),以避免左手在位于右手侧的命令面板上进板83.3.7标题面板【描述】3.3.7.1标题面板位于信息面板和命令面板界面的最上方的水平区域，标题面板应保持始终显示并且包含主机通讯状态(如果支持主机通讯)、日期/时间、登陆/注销按钮(如果支持权限控制)、消息显示区域以及当前视图的名称。标题面板也可以包含公司标识或徽标、关键参数、可视的警铃静音按钮、定向图形、信号塔以及其他确保有效操作的显示项。3.3.8标题面板基本信息【应执行的要求】图10是带有强制性显示对象的标题面板。标题面板顶部的左侧为日期/时间，其右侧为当前视图的名称，信息区域位于顶部的下方，其相对位置是固定的。图10标题面板示意图3.3.9带有条件信息的标题面板【有条件的要求】图11是带有强制性显示对象，外加主机通信状态和登陆/注销按钮的标题面板。主机通信状态应位于最左侧，登录/注销按钮应位于右上角，其相对位置是固定的。图11标题面板示意图3.3.9.1标题面板主机通信状态【有条件的要求】如果设备支持主机通信，那么状态信息应显示在标题面板中。显示的信息包括通信状况(如通信是否有效)、通讯状态(如连接与否等)以及设备是处于本地模式还是远程模式。显示的详细信息依赖于主机通信协议，协议可能强制显示附加的详细具体信息。3.3.9.2标题面板登录/注销按钮【有条件的要求】用户登陆前，登陆/注销按钮的标签应是“登录”;在用户登录后，此按钮应一直显示登录的用户名直至该用户注销。用户点击“登陆/注销”按钮应弹出一个对话框供用户输入用户名和密码；已经登录后，点击此按钮将会注销。需要时，点击弹出登录对话框后，界面上包括导航面板在内的所有其他功能将被禁用。3.3.10带有附加信息的标题面板【建议】图12是一个包含推荐显示对象及其相对位置的标题面板布局示例。9日期/时间当前视图名称登录/注销3.4.3有条件的导航功能【有条件的要求】图13导航面板示意图3.4.5导航面板报警和帮助按钮【有条件的要求】报警按钮和帮助按钮的位置不遵循上述按钮排列规则(3.4.4.2),应分别置于近邻右边和最右边的位置。该位置可确保即使在界面更改或者增加新按钮时，报警按钮和帮助按钮的位置也不会改变。报警按钮与两侧按钮的间隔应该比一般间隔稍大，以便于准确迅速地选择。3.4.6导航按钮标识符【有条件的要求】每一个功能区域都有一个相应的导航按钮，该导航按钮可以通过文本标识(强制)和图标(推荐)来识别其功能性和信息。表1给出了导航按钮的文本标识符(根据条件选择外每个功能区域的描述以及推荐的供选择标识符。对于需要特殊实现的按钮，应当添加在配置和报警按钮之间。导航按钮标识置面、运行、服务、状态系统状态、维护数据记录，事件记录、统计分析功能(如支持此功能)无帮助无3.4.7导航面板突出显示区【有条件的要求】3.4.7.1在同一时间应只有六个导航按钮显示为按下状态。导航按钮可根据不同用途以不同的颜色突出显示：a)表示用户正在浏览一个功能区域(蓝色突出显示)b)表示功能区域有未完成的、未在当前显示的任务(典型的如打开的对话框)(蓝色突出显示)。c)通知用户存在新的或未确认的“警告”和“警示”(分别用深黄色突出显示或是深红色突出显示)。警告和警示突出显示仅在警示导航按钮上显示。例如，如果用户在任务功能区域已经打开一个对话框，然后选择配方导航按钮，那么配方导航按钮就会呈现为按下(向下)状态并以蓝色突出显示，任务导航按钮则显示为弹起(向上)状态并以蓝色突出显示(见图14),以提醒用户在任务功能区域有一个打开的对话框。可以有多个导航按钮显示为未完成任务的状态。3.4.7.2按钮也可显示绿色以通知用户设备“准备加载”、“准备卸载”、“准备运行”或者其他类似的状态以提醒用户至任务功能区域。当用户导航至界面其他功能区域时这是非常有效的。如果存在尚未完成的任务，即使用户已经注意到也会持续以蓝色突出显示。任务系统配方设置其他其他其他任务系统配方任务系统配方任务系统配方设置其他其他其他报警帮助3.4.8.1通则控制面板视图1规图2工视图3T视图4视图51现图6控制面板视图1规图2工视图3T视图4视图51现图6面板控制3.4.8.3子导航布局设计B——采用按钮的导航面板3.4.8.3.1图18是带有子导航的布局的两种方向的显示，子导航是在子导航面板中使用视图选择按钮表示的。图18给出了子导航面板可能的相对位置，但并没有对其进行限制，其他布局安排也是可以的。如果使用7大个子导航面板，那么它的尺寸和位置在每一功能区域内应与整个界面保持一致，即使在某一功能区内只有一个视窗，也即只有一个选项卡。图18采用按钮的子导航布局3.4.8.3.2在布局中把子导航从命令面板的全局命令中分离出来是很重要的。这限制了命令面板需求的按钮数，并且减少或者消除了对多列按钮的需要，多列按钮会改变信息面板的长宽比。如果一个信息面板和其他面板的长宽比不同，当导航和转换信息面板时，面板内容可能出现“跳”至一侧的情况。把子导航从命令分离实现了两个重要目的：a)用户不必在从命令中分辨子导航而迷惑。b)在所有的功能区域内的视窗在信息面板上长宽比保持一致。3.5信息面板【应执行的要求】3.5.1信息面板显示每一功能区域的一个或多个包含信息和图形的视窗。图形和其他的显示对象放置在此面板中以实现所需的控制和监控功能。如果必要，在同一功能区域内，信息面板上可以显示多重视窗，但在同一时间只能显示一个视窗。3.5.2在保持信息面板功能区域为当前功能区域的情况下，用户应能够在属于该功能区域的多个视窗要求项目要求章条号是否执行按钮大小基本布局标题面板基本信息导航面板导航面板布