SJ《电子工业工程建筑信息化模型应用标准》

ICS

点击此处添加中国标准文献分类号SJ

中华人民共和国电子行业标准

XX/TXXXXX—XXXX

电子工业工程建筑信息化模型应用标准

Standardforbuildinginformationmodelingofelectronicsindustryproject

点击此处添加与国际标准一致性程度的标识

文稿版次选择

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

发布

XX/TXXXXX—XXXX

1总则

1.0.1为了明确电子工业工程信息模型应用的目标定位，为模型

的交付提供参考性的实现路径与解决方案、关键及指导性的技术指

标，为模型应用的发展奠定良好基础，推动电子工业工程数字化的

发展，制定本标准。

1.0.2本标准适用于新建、改建、扩建电子工业工程在设计、施

工及运维中的信息模型的建立和应用。

1.0.3电子工业工程信息模型的建立及应用，除应符合本标准外，

还应符合国家现行有关标准的规定。

4

XX/TXXXXX—XXXX

2术语和缩略语

2.1术语

2.1.1电子工业工程建筑信息化模型

电子工业工程数字化交付过程中建立的以电子工厂对象为核心

的数据、文档和模型及其关联关系的信息组织。

注：在本标准条文中简称“信息模型”或“模型”。

2.1.2数字化

应用信息技术，将工程设计、采购、施工等信息转变为结构化

数据和非结构化数据，建立数据组织模型，并运用计算机进行表达、

传输和处理的过程。

2.1.3数字化交付

以工厂对象为核心，对工程项目建设阶段产生的静态信息进行

数字化创建直至移交的工作工程。涵盖信息交付策略制定、信息交

付基础制定、信息交付方案制定、信息整合与校验、信息移交和信

息验收。

2.1.4设计信息模型

设计阶段创建的满足设计阶段应用及交付的信息模型。

2.1.5施工信息模型

施工阶段创建的满足施工阶段应用及交付的信息模型。

2.1.6运维信息模型

运维阶段创建的满足运维阶段应用及交付的信息模型。

5

XX/TXXXXX—XXXX

2.1.7信息模型数据

信息模型中各专业构件的几何及属性信息。

2.1.8竣工模型

项目实施过程中形成的，附加或关联了项目验收等相关资料及

信息的，各专业构件的信息与竣工后实际情况相符的信息模型。

2.1.9资产管理

在工厂运维阶段，利用信息模型对工厂的工艺机台、厂务设备

等设施，进行数字化管理。

2.1.10管道应力分析

对管道在内压、自重和其他外载作用下所产生的一次应力和在

热膨胀、冷缩、位移受约束时所产生的二次应力,以及管道对设备的

推力和力矩进行的验算。

2.1.11工艺排气

电子厂房内部在生产过程中产生的酸性、碱性、有机等废气，

通过管路系统收集处理，满足排放标准再排放的大气中的过程。

2.1.12大宗气体

电子产品生产过程中广泛使用的氢气、氧气、氮气、氦气、氩

气等气体。

2.1.13特种气体

6

XX/TXXXXX—XXXX

电子产品生产过程中，使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、四

氯化硅、氯气等气体。这些气体具有可燃、有毒、腐蚀或窒息等特

性。

2.1.14时间戳

一个能表示一份数据在某个特定时间之前已经存在的、完整的、

可验证的数据,通常是一个字符序列，唯一地标识某一刻的时间。使

用数字签名技术产生的数据，签名的对象包括了原始文件信息、签

名参数、签名时间等信息。

2.1.15几何信息

模型元素尺寸、定位以及相互关系的信息。

2.1.16属性信息

除几何信息之外的所有信息的集合。

2.1.17协同平台

多专业、多参与方协同工作的软硬件环境。

2.1.18模型深度

模型中信息的详细程度，包括几何信息深度和属性信息深度。

2.1.19交付平台

用于承载和管理数字化交付信息，可与多种工程软件集成并兼

容多种文件格式的信息管理系统。

2.1.20运维平台

基于信息模型的设施设备信息化管理平台。

7

XX/TXXXXX—XXXX

2.1.21数据库

用于建立信息模型的数据来源的集成。

2.2缩略语

2.2.1HOOK-UP

将厂务提供的动力系统（如水、电、气、化学品等），从预留的

连接点由管路、电缆等连接至机台及其附属设备，使机台达到预期

的功能。

2.2.2P&ID

P&ID（PipingandInstrumentationDiagram）即管道及仪表

流程图。借助统一规定的图形符号和文字代号，用图示的方法把系

统所需的全部设备、仪表、管道、阀门及主要管件，按其各自功能

以及工艺要求组合起来，以起到描述该系统的结构和功能的作用。

2.2.3ISO

国际标准化组织（InternationalOrganizationfor

Standardization，ISO）简称ISO，是一个全球性的非政府组织，

是国际标准化领域中一个十分重要的组织。

2.2.4HEPA

高效空气过滤器,主要用于捕集0.5μm以下的颗粒灰尘及各种

悬浮物。空气净化器主要由滤芯和壳体两部分组成。

2.2.5FFU

8

XX/TXXXXX—XXXX

全称FanFilterUnit，风机过滤机组，是一种自带动力且加

装过滤模块的末端送风装置，风机过滤机组自顶部将空气吸入并经

HEPA过滤后送出。

2.2.6CFD

CFD，英语全称(ComputationalFluidDynamics），即计算流体

动力学,是流体力学的一个分支，简称CFD。CFD是近代流体力学，

数值数学和计算机科学结合的产物，是一门具有强大生命力的交叉

科学。它以电子计算机为工具，应用各种离散化的数学方法，对流

体力学的各类问题进行数值实验、计算机模拟和分析研究，以解决

各种实际问题。

2.2.7FMCS

FMCS(FacilityMonitoringControlSystem厂务监控系统)，

是将厂务设施各系统的监控资料利用以太网、控制器、通讯设备等

集成至中央监控设备，形成全厂监控系统，以达到以下目的：互通

全厂信息、提升整体管理绩效、简化运转维护困难度、降低管理成

本等。

2.2.8WBS

工作分解结构（WorkBreakdownStructure），创建WBS是把项

目工作按阶段可交付成果分解成较小的，更易于管理的组成部分的

过程。

9

XX/TXXXXX—XXXX

WBS是项目管理重要的专业术语之一。WBS的基本定义：以可

交付成果为导向对项目要素进行的分组，它归纳和定义了项目的整

个工作范围每下降一层代表对项目工作的更详细定义。无论在项目

管理实践中，还是在PMP，IPMP考试中，工作分解结构（WBS）都是

最重要的内容之一。WBS总是处于计划过程的中心，也是制定进度

计划、资源需求、成本预算、风险管理计划和采购计划等的重要基

础。WBS同时也是控制项目变更的重要基础。项目范围是由WBS定

义的，所以WBS也是一个项目的综合工具。

2.2.9NFC

近场通信（NearFieldCommunication，简称NFC），是一种新

兴的技术，使用了NFC技术的设备（例如移动电话）可以在彼此靠

近的情况下进行数据交换，是由非接触式射频识别（RFID）及互连

互通技术整合演变而来的，通过在单一芯片上集成感应式读卡器、

感应式卡片和点对点通信的功能，利用移动终端实现移动支付、电

子票务、门禁、移动身份识别、防伪等应用。

2.2.10EDI

EDI（Electrodeionization）又称连续电除盐技术，将电渗析

技术和离子交换技术融为一体，通过阳、阴离子膜对阳、阴离子的

选择透过作用以及离子交换树脂对水中离子的交换作用，在电场的

作用下实现水中离子的定向迁移，从而达到水的深度净化除盐，并

通过水电解产生的氢离子和氢氧根离子对装填树脂进行连续再生，

10

XX/TXXXXX—XXXX

因此EDI制水过程不需酸、碱化学药品再生即可连续制取高品质超

纯水，它具有技术先进、结构紧凑、操作简便的优点，可广泛应用

于电力、电子、医药、化工、食品和实验室领域，是水处理技术的

绿色革命。

2.2.11GMS

全称GasMonitorSystem，气体监控系统

2.2.12VMB

全称ValveManifoldBox，阀门分流箱，主要用于SiH4、Cl2、

NH3、H2等有毒有害、腐蚀性、易燃易爆气体。VMB特点是所有阀门

接点均在箱内，VMB本体上端接入排气系统，排气管道上安装相应

气体侦测器接入GMS，万一发生气体泄漏，气体侦测器检测到气体

泄漏触发警示装置(声光报警)并连锁控制从源头切断气体供应，减

少气体外漏及危险。

2.2.13VMP

（ValveManifoldPanel阀门分流盘）主要用于N2、He等惰

性气体。VMP的特点是所有阀门接点和焊道均在盘面。

11

XX/TXXXXX—XXXX

3基本规定

3.1一般规定

3.1.1模型应用应贯穿电子工业工程项目全生命期。

3.1.2模型应用应满足建设工程各参与方之间的协同工作的需要，

便于获取、更新和管理信息。

3.1.3模型数据应以通用的数据格式传递，各阶段、各项任务和

各相关方之间的数据格式应具有良好的兼容性。

3.1.4模型数据的安全性要求应符合现行国家标准《制造工业工

程设计信息模型应用标准》GB/T51362的有关规定，模型数据应确

保在模型创建工具权限被限制的情况下仍能被读取。

3.1.5电子工业工程涉及专业多，BIM软件解决方案应涵盖所有

专业，同一项目各专业宜使用数据相互兼容的软件。

3.2专业及系统分类

3.2.1本标准根据电子工业工程的特点，在现行国家相关标准的

基础上，对专业分类作相应的补充和调整，以及根据电子工业工程

的特点对机电系统的分类作补充说明。

3.2.2电子工业工程专业分类宜符合表3.2.2的规定，当涉及多

专业时可并列所涉及的专业。

表3.2.2专业代码

专业（中文）专业（英文）专业代码

总图、场地Site、GeneralGE

12

XX/TXXXXX—XXXX

建筑ArchitectureAR

结构StructuralST

给排水WaterWA

暖通HVACHA

气体GasGA

动力UtilityUT

化学品ChemicalsCH

电气ElectricalEL

智能化TelecommunicationsTE

工艺ProcessPR

其他专业OtherDisciplinesXD

3.2.3电子工业工程各专业系统分类见附录A。

3.3数字化交付

3.3.1工程数字化交付工作宜与工程建设同步进行。

3.3.2数字化交付宜采用交付平台移交形式，也可采用信息模型

移交形式。

3.3.3交付信息应满足完整性、准确性和一致性的质量要求，其

内容应与交工资料所对应的部分一致。

3.3.4交付信息应作为整体知识产权进行保护。

3.3.5接收方应提供数字化交付策略和交付基础，协调和管理工

程数字化交付工作，验收交付方所移交的交付信息。

13

XX/TXXXXX—XXXX

3.3.6交付方应按照交付基础的要求收集、整合交付信息，并应

按交付物规定移交。

3.3.7交付内容宜包含信息来源、专业类别和文档类别等信息。

信息来源宜符合表3.3.7-1的要求，文档类别宜符合表3.3.7-2的

要求。

表3.3.7-1信息来源

代码内容代码内容

O建设单位C施工单位

E工程设计单位S监理单位

P采购和供应单位T检测单位

表3.3.7-2文档类别

代码内容代码内容

DP说明类SP规格书

CL计算书ID索引表

DS数据表DW图纸类

BM材料表IM模型类

3.3.8交付的文件应满足以下基本要求：

1交付的模型应符合与接收方约定的交付范围和内容深度的

要求。

2交付的模型不应包含临时信息、测试信息以及与交付无关

的信息。

14

XX/TXXXXX—XXXX

3交付的三维模型应使用统一的坐标系和坐标原点。

4交付的数据应包含构件属性的值和计量单位等信息。

5交付的文档应按交付基础和交付策略的要求进行编号及命

名。

6交付的电子文件不应包含任何指向其他文件的链接。

7交付的电子文件不应包含影响读取的密码保护。

8交付的电子文件应安全可靠，不含计算机病毒及木马程序。

15

XX/TXXXXX—XXXX

4信息模型协同标准

4.0.1信息模型协同应基于统一的管理平台，简称协同平台。

4.0.2信息模型协同应考虑项目各参与方在全生命期内各阶段的

协同。

4.0.3协同平台应能支持异地协同。

4.0.4协同平台应能兼容不同格式的信息模型。

4.0.5协同平台应能对模型进行轻量化输出及浏览。

4.0.6协同平台上的信息模型应按要求形成有组织的管理结构。

4.0.7协同平台上的信息模型应按要求制定统一的命名或编号规

则。

4.0.8协同平台上的信息模型应按要求进行统一的版本管理。

4.0.9信息模型的流转过程应能在协同平台上进行管理。

4.0.10协同平台应能对信息模型的操作进行记录和查询。

4.0.11协同平台应能对信息模型进行数据加密及权限控制。

16

XX/TXXXXX—XXXX

5设计阶段

5.1一般规定

5.1.1设计信息模型应包含二维模型及三维模型。

注：二维模型是指基于数据库建立的包含设备、管线及仪表等构件信息

的动力系统及工艺流程图，在本标准条文中简称“智能化P&ID”。

5.1.2设计各阶段模型的信息应根据项目的实际进度不断完善及

调整，下阶段的信息要求应在满足上阶段的要求上完善补充；各阶

段的模型信息的基本要求宜根据设计范围、建设方的具体需求以及

现行相关标准中对于模型交付的信息要求建立。

5.1.3设计各阶段应根据工程技术要求及建设方的需求建立仿真

分析模型，并按接收方的要求提交仿真分析报告。

5.1.4施工图设计交付模型应根据建设项目要求进行分类。

5.1.5智能化P&ID中的管道线型应根据隔热管、保温管、伴热管、

夹套管等类型进行区分，不同类型的设备、阀门、管路附件、特殊

管件等应采用不同的图例表示。

5.1.6三维模型中各机电系统应按不同的颜色进行区分，机电系

统模型颜色宜按表5.1.6-1的规定执行，表中未列出的专业系统颜

色规定应根据实际应用需求，协调各参与方统一制定，同一专业不

同系统宜采用不同的颜色。

表5.1.6-1机电系统模型颜色设置表

生活、一般生产给排水及消防水系统

17

XX/TXXXXX—XXXX

序号系统名称（中文）系统代号颜色（RGB）显示效果

1市政直供水CIW0.128.128

2生活加压供水DPW191.255.0

3生产加压供水IPW0.255.127

4生活热水（供）HWS255.0.128

5生活热水（回）HWR255104180

6直饮水DDW153.255.153

7雨水RW128.128.255

8空调冷凝水ACW149.255.255

9生活污水SW153.153.0

10一般生产排水DRW248.246.162

11通气管VP204.255.255

12含油排水DoW50.128.255

13消火栓FH255.0.0

14自动水喷淋FS255.0.255

15消防水炮FP255.100.153

16泡沫供给FO255.153.255

17消防排水DWF255.200.100

18二氧化碳灭火CO2180.250.250

19七氟丙烷灭火FM200204.204.255

20工艺循环冷却水（供）PCWS0.111.111

21工艺循环冷却水（回）PCWR0.174.174

22超纯水（供）UPWS0.255.255

23超纯水（回）UPWR0.191.255

24去离子水（供）DIS（DIW）255.255.0

25去离子水（回）DIR（DIW）255.255.153

26软化水SFW113.230.207

27反渗透水（初级纯水）RO99.207.239

28RO浓水回用水ROR255.160.160

29回用水RCW230.50.60

30洗涤塔补水LS204.255.204

31洗涤塔回收水LSR204.204.255

工艺废水系统

序号系统名称（中文）系统代号颜色（RGB）显示效果

1一般酸性废水ACWW204.197.143

2一般碱性废水AKWW150.220.240

3有机废水OWW150.50.50

4氢氟酸废水HFWW100.200.230

18

XX/TXXXXX—XXXX

5含氟废水FWW247.186.11

6研磨废水GWW226.176.7

7含砷废水AsWW250.191.143

8含磷废水PWW221.121.7

9含氰废水CWW196.215.155

10含氨废水AWW100.230.240

11含氮废水NWW155.213.143.

12重金属废水HMW218.150.148

13含镉废水CdWW216.143.121

14含铬废水CrWW150.100.52

15含铅废水PbWW90.90.90

16含镍废水NiWW0.90.90

17含银废水AgWW90.0.90

18含铜废水CuWW25.150.200

19含锌废水ZnWW235.241.222

20双氧水废水HOWW200.255.200

21无机（一般酸碱）废水IWW200.200.200

22草酸废水OAWW200.200.0

23一般清洗回收水RCWW0.200.153

24低浓度有机回收水LOWW60.255.218

25高浓度有机回收水HOWW60.255.153

26TMAH废水TMAHWW80.100.50

27高浓度废硫酸H2SO4W148.166.142

28高浓度废磷酸H3PO4W148.166.250

29高浓度废氢氟酸HFWH148.250.166

30高浓度废铜液CuWH148.250.0

31硫酸铜废液Cu2SO4W102.102.153

32BOE（刻蚀液废液）BOEW153.255.255

33EKC（一种去胶液）EKCW149.179.215

34IPA废液（有机溶剂）IPAW0.112.192

35NMP废液NMPW0.176.240

36NTD（显影）废液NTDW146.208.80

37PIX废液(光阻液废液)PIXW128.128.128

38去光阻废液STW220.230.255

39TMAH废液TMAHW255.189.255

动力系统

序号系统名称（中文）系统代号颜色（RGB）显示效果

1压缩空气CDA0.255.0

19

XX/TXXXXX—XXXX

2工艺真空PV166.0.83

3吹扫真空HV0.128.0

4柴油（闪点不小于60℃）DS255.0.128

5柴油（闪点小于60℃）DS0.128.128

6煤油KE0.191.255

7天然气NG230.100.120

8导热油HTO25.160.150

9蒸汽SMA90.230.220

10蒸汽冷凝水SMF198.64.0

11冷冻机冷却循环供水CCWS0.0.128

12冷冻机冷却循环回水CCWR128.128.255

13空压机冷却循环供水ACWS209.188．138

14空压机冷却循环回水ACWR150.230.150

15低温冷冻水（供LCHS221.121.7

16低温冷冻水（回）LCHR110.110.170

17中温冷冻水（供）MCHS128.128.0

18中温冷冻水（回）MCHR255.0.255

19热水（供）HTWS50.250.250

20热水（回）HTWR50.200.50

21热回收水RHWW250.0.50

暖通系统

序号系统名称（中文）系统代号颜色（RGB）显示效果

1送风SA255.0.0

2室外新风OA255.255.0

3室内回风RA0.255.0

4全室排风的补风系统SGEX0.255.255

5机械加压送风CSA0.0.255

6消防排烟SMX255.0.255

7消防排烟补风SSMX255.127.127

8气体灭火后的排风GEEX223.255.127

9一般全室排风GEX127.255.223

一般工艺排风PGEX153.0.204

10酸性排风SEX204.0.102

11碱性排风AEX204.102.178

12有机排风SOX102.204.178

13事故排风EEX178.204.102

14砷排气风管XAS102.102.204

15工艺一般排风回用系统PRGEX204.102.102

20

XX/TXXXXX—XXXX

16工艺一般湿排风PWGEX102.204.102

17工艺一般高温排风PHGEX95.76.153

18剥离液排风STX153.76.95

19挥发性有机废气处理系统VOC127.159.255

20鼓风OAA204.0.0

5.2设计信息模型数据要求

5.2.1设计各阶段信息模型数据宜根据设计范围、建设方的具体

需要以及现行相关标准中对于模型交付的信息要求建立。

5.2.2对于外形尺寸有相关标准明确规定的构件，三维模型中有

实体表现的对应构件的外形尺寸应与标准中规定的数据保持一致。

5.2.3工艺机台、动力设备、特殊管件及管路附件、阀门及仪表

等外形较复杂的构件的几何图形宜表达主要构件的外形尺寸，在满

足设计应用要求、易识别的前提下，细部结构应简化表达，不宜过

度建模。

5.2.4智能化P&ID主要构件类别的划分宜符合表5.2.4-1的要求。

表5.2.4-1智能化P&ID构件类别的划分

类别名称类别描述表号

包括建筑各区域或房间，比如刻蚀灰区、清

建筑空间--

洗间等

构筑物池包括储水池、反应池等-

生产设备工艺机台包括清洗机、光刻机等5.2.5-1

过滤器包括袋式过滤器、滤芯式过滤器、砂滤器等5.2.5-2

搅拌器包括各类搅拌功能容器5.2.5-3

动力设备

储罐水箱、水罐、气罐、桶槽等容器5.2.5-4

反应器包括反应釜、干燥器、吸附器、固定床反应5.2.5-5

21

XX/TXXXXX—XXXX

器、移动床反应器等

冷却塔-5.2.5-6

冷水机组-5.2.5-7

风冷热泵-5.2.5-8

锅炉包括各类燃气锅炉、电锅炉等5.2.5-9

热交换器包括板式、管壳式等热交换器5.2.5-10

泵包括各类动力泵、容积泵5.2.5-11

空压机-5.2.5-12

冷干机-5.2.5-13

空调箱-5.2.5-14

风机-5.2.5-15

FFU-5.2.5-16

干盘管-5.2.5-17

风机盘管-5.2.5-18

填料塔包括活性炭吸附塔等5.2.5-19

喷淋塔包括各类处理酸碱废气的洗涤塔5.2.5-20

除尘塔-5.2.5-21

蓄热式焚烧炉-5.2.5-22

管道--5.2.5-23

安全泄放原件包括安全阀、爆破片等

管道组成件特殊管件包括视镜、喷嘴、疏水阀、呼吸阀等。

管道附件包括消音器、阻火器、分离器等

就地温度仪表包括金属温度计、压力式温度计等

远程测量温度包括热电偶/热电阻（带或不带温度变送器）、

仪表非接触式温度计等

仪表控制

包括弹簧管压力表、膜片压力表、膜盒压力

压力表

表等

压力开关包括机械式、电子式等-

22

XX/TXXXXX—XXXX

压差式流量元包括标准节流装置及非标准节流装置

-

件

包括电磁流量计、超声波流量计、容积式流

流量计-

量计等

就地物位仪表包括玻璃板液位计、磁浮子液位计等-

远传测量物位包括浮筒式液位变送器、超声波液位计、雷

-

仪表达液位计、伺服液位计等

压力/压差变包括气动变送器、电动变送器

-

送器

调节阀包括电动、气动执行机构

开关阀包括电动、气动执行机构

包括自力式温度调节阀、自力式压力调节阀、

自力式调节阀自力式压差调节阀、自力式液位调节阀、自

力式流量调节阀等

包括生产过程监控用分析仪表及安全监测仪

过程分析仪

表，如可燃气体、有毒气体监测等

5.2.5智能化P&ID中描述各类构件的属性宜符合以下要求：

1描述工艺机台类的属性宜符合表5.2.5-1的要求。

表5.2.5-1工艺机台类属性

序号名称类别描述或示例数据类型计量类信息来源

1名称设备的名称，如：光刻机字符型-O

2编号如：MOCVD-01字符型-O

3型号由制造商制定字符型-O

4供应商-字符型-O

5制造商-字符型-O

6防微振等级字符型-O

7运行重量如：3000Kg数值型重量O

23

XX/TXXXXX—XXXX

电

1电压如：380V数值型电压O

2相数如：三相四线制字符型-O

3电流如：60A数值型电流O

4频率如：50HZ数值型频率O

5额定功率如：7.5kW数值型功率O

6功率因素有功功率和视在功率比值，数值型-O

如：0.6

7平均功率如：5.5kW数值型功率O

8接地电阻要求是否需要接地及接地电阻字符型-O

要求是什么，如：R＜1Ω

9谐波含量要求本设备谐波含量是否符合

国标GB/T14549-1993,对

谐波不符合国标GB/T

14549-1993是否敏感

10其他用电要求如：ATS或UPS字符型-O

工艺循环冷却水

1供水温度冷却水进机台的温度数值型温度O

2回水温度冷却水出机台的温度数值型温度O

3峰值流量机台最高用冷却水量数值型流量O

4平均流量机台平均用冷却水量数值型流量O

5供水压力如：0.5MPa数值型压力O

6水质要求-字符型-O

纯水

1峰值流量机台最高用纯水量数值型流量O

2平均流量机台平均用纯水量数值型流量O

3供水压力如：0.5MPa数值型压力O

4水质要求-字符型-O

24

XX/TXXXXX—XXXX

5供水温度纯水进机台的温度数值型温度O

RO

1峰值流量机台最高用RO水量数值型流量O

2平均流量机台平均用RO水量数值型流量O

3供水温度RO水进机台的温度数值型温度O

4供水压力如：0.5MPa数值型压力O

5水质要求-字符型-O

自来水

1峰值流量机台最高用自来水量数值型流量O

2平均流量机台平均用自来水量数值型流量O

3供水压力如：0.5MPa数值型压力O

废水废液

1主要成分主要组成的名称字符型-O

2排放量正常流量数值型流量O

3温度如：50℃数值型温度O

4排放方式重力排或压力排字符型-O

排气

1主要成分主要组成的名称字符型-O

2排气量正常流量数值型流量O

3排放压力如：0.1MPa数值型压力O

4排放温度如：50℃数值型温度O

5是否含水气-字符型-O

6排气方式正压排气或被动排气字符型-O

工艺真空

1真空度如：-0.1MPa数值型压力O

2流量正常流量数值型流量O

压缩空气

1供气压力如：0.5MPa数值型压力O

25

XX/TXXXXX—XXXX

2露点温度-数值型温度O

3品质要求-字符型-O

4流量-数值型流量O

化学品

1介质名称组成名称字符型-O

2流量设计流量数值型流量O

3工作压力如：0.5MPa数值型压力O

4工作温度如：50℃数值型温度O

气体

1气体种类组成名称字符型-O

2流量设计流量