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光学功能薄膜微结构厚度测试方法(ISO9220:2022,Metalliccoatings—MeasurementofcoaScanningelectronmi国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会I1GB/T27788微束分析扫描电镜图像放大倍率校准导则2生1.5%的误差。3超薄切片在与刀刃平行的方向上产生的有规律的波纹痕迹。切片机周围环境现为规则均匀的形态变化。切削挤压也会在切片上形成皱褶，测试结果与横刀痕是指超薄切片在与刀刃垂直的方向上产生的划痕。切了几a)横截面应垂直于涂层表面；c)应去掉由于切割和制备横截面时所引起的形变材质；d)横截面的边界应明确。48.1通则按照GB/T27788进行SEM的放大倍数的标定(校准)。经常检查校准值的稳定性。宜注意影响测定准确度的因素(见第6章)、测量方法(见第9章)和测量值不确定度(见第10章)。在试样上至少应间隔3mm,在3个以上不同部分进行重复测试，确定平均值。在标度图象上利用金属标准微刻度尺刻线之间测定的平均距离除以刻线标定距离，以计算图象的 (1)r——放大倍率；9测量方法9.1每一个设备均应根据出厂说明进行操作，适当地注意影响测定准确度的因素(见第6章)和测量值不确定度(见第10章)。b)扫描一个横截面微观图像，调入图像测量软件中，选择适当位置获取试样横截面厚度测量值10测量值的不确定度由设备、设备校准和设备操作引起测量值的不确定度，三者的保留3位有效数字。5a)本文件编号b)样品的编号6完全浸在润滑剂中打磨或在打磨时使用大量的润滑剂以将此影响降到最低。如果打磨颗粒确实嵌A.4.1

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